特許5662032マスクブランクス及びハーフトーンマスク

発明の名称　マスクブランクス及びハーフトーンマスク

出願人　アルバック成膜株式会社　（識別番号 101710）

　　　　特許公開件数ランキング 1219 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1250 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5662032

公報発行日　2015年1月28

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5662032

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-5662032「マスクブランクス及びハーフトーンマスク」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録