特許5662140カーボン・ナノチューブ又は半導体ナノワイヤを包含する複合ダイアフラムを用いたセンサ

発明の名称　カーボン・ナノチューブ又は半導体ナノワイヤを包含する複合ダイアフラムを用いたセンサ

出願人　ローズマウント　インコーポレイテッド　（識別番号 597115727）

　　　　特許公開件数ランキング 2875 位（6件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1795 位（9件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5662140

公報発行日　2015年1月28

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5662140

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