特許第5666227号(P5666227)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許5666227色収差補正ビーム偏向器、色収差補正ビーム分離器、荷電粒子デバイス、色収差補正ビーム偏向器を動作させる方法、及び色収差補正ビーム分離器を動作させる方法