特許5666749冷却板、その製法及び半導体製造装置用部材

発明の名称　冷却板、その製法及び半導体製造装置用部材

出願人　日本碍子株式会社　（識別番号 4064）

　　　　特許公開件数ランキング 222 位（143件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 73 位（305件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5666749

公報発行日　2015年2月12

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5666749

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