特許第5670072号(P5670072)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許5670072真空蒸発器用ルーツブロワの軸シール構造及び軸シール方法、並びに真空蒸発装置
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  • 特許5670072-真空蒸発器用ルーツブロワの軸シール構造及び軸シール方法、並びに真空蒸発装置 図000002
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  • 特許5670072-真空蒸発器用ルーツブロワの軸シール構造及び軸シール方法、並びに真空蒸発装置 図000006
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