特許5671168半導体装置用エピタキシャル基板の製造方法

発明の名称　半導体装置用エピタキシャル基板の製造方法

出願人　日本碍子株式会社　（識別番号 4064）

　　　　特許公開件数ランキング 222 位（143件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 73 位（311件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5671168

公報発行日　2015年2月18

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5671168

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