特許 5673806 自動倉庫

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5673806

(24)【登録日】2015年1月9日

(45)【発行日】2015年2月18日

(54)【発明の名称】自動倉庫

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20150129BHJP

   H01L 21/673 20060101ALI20150129BHJP

   B65G 1/00 20060101ALI20150129BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 A

   H01L21/68 T

   B65G1/00 521D

【請求項の数】4

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2013-513063(P2013-513063)

(86)(22)【出願日】2012年3月13日

(86)【国際出願番号】JP2012001733

(87)【国際公開番号】WO2012150644

(87)【国際公開日】20121108

【審査請求日】2013年9月6日

(31)【優先権主張番号】特願2011-103242(P2011-103242)

(32)【優先日】2011年5月2日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000006297

【氏名又は名称】村田機械株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100109210

【弁理士】

【氏名又は名称】新居 広守

(72)【発明者】

【氏名】雁部 政彦

【審査官】 杉山 悟史

(56)【参考文献】

【文献】 特表２０１０−５０９７８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−２６５９４７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０７−０５０３３４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１０−１５７８４７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−０３０９１４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２００６／０４６５８０（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特表２００４−５３７８６７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−０２４７５０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７ − ２１／６８７

Ｂ６５Ｇ １／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

荷物をケースに収納して入出庫する自動倉庫であって、
複数の前記荷物を保管する保管棚と、
前記ケースを保持し、保持された前記ケースに対して前記荷物を出し入れするための出し入れ空間を有するロードポートと、
前記荷物を保持するための空間であって、清浄状態に保たれている保持空間を有し、前記保持空間と前記保管棚及び前記出し入れ空間に保持された前記ケースとの間で前記荷物を移載する移載装置と、
前記保持空間を閉鎖し、前記移載装置と一体となって移動する第１のシールドとを備え、
前記ロードポートは、前記移載装置の前記保持空間と前記出し入れ空間とが連通するように、前記移載装置と一体となって移動し、
前記第１のシールドは、連通する前記保持空間及び前記出し入れ空間を閉鎖することによって、連通する前記保持空間及び前記出し入れ空間を清浄状態に保つ
自動倉庫。

【請求項2】

荷物をケースに収納して入出庫する自動倉庫であって、
複数の前記荷物を保管する保管棚と、
前記ケースを保持し、保持された前記ケースに対して前記荷物を出し入れするための出し入れ空間を有するロードポートと、
前記荷物を保持するための空間であって、清浄状態に保たれている保持空間を有し、前記保持空間と前記保管棚及び前記出し入れ空間に保持された前記ケースとの間で前記荷物を移載する移載装置と、
前記保持空間を閉鎖し、前記移載装置と一体となって移動する第１のシールドとを備え、
前記第１のシールドは、内部に前記移載装置を旋回可能な状態で収容する円筒部と、前記円筒部の側面の前記ロードポートに対面する位置に第１の開口部と、前記円筒部の側面の前記保管棚に対面する位置に第２の開口部とを備え、
前記移載装置は、
前記保持空間の開口部と前記第１の開口部とが対面する位置まで旋回した状態で、前記保持空間と前記ロードポートとの間で前記荷物を移載し、
前記保持空間の開口部と前記第２の開口部とが対面する位置まで旋回した状態で、前記保持空間と前記保管棚との間で前記荷物を移載し、
前記保持空間の開口部と前記円筒部の内側壁面とが対面する位置まで旋回し、前記保持空間が閉鎖された状態で前記第１のシールドと一体となって移動する
自動倉庫。

【請求項3】

前記移載装置は、さらに、前記円筒部の内部で上下方向に移動可能であり、
前記円筒部の内部で旋回するのに先立って、前記保持空間の開口部と前記第１及び第２の開口部とが対面しない位置まで上昇又は降下する
請求項２に記載の自動倉庫。

【請求項4】

該自動倉庫は、さらに、前記円筒部の外側壁面に取り付けられて、前記移載装置及び前記第１のシールドと一体となって移動すると共に、前記保管棚に対面する位置に移動したときに、前記保管棚の前記荷物の出し入れ口を閉鎖する第２のシールドを備え、
前記第２のシールドは、前記第１のシールドの前記第２の開口部と、前記保管棚の出し入れ口のうち前記荷物を移載する部分のみとを選択的に連通させる連通孔を備える
請求項２又は３に記載の自動倉庫。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、自動倉庫に関し、特に、清浄空間内で荷物を保持する自動倉庫に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来から電子部品の製造等に用いられるレチクルは、クリーンルーム内に設置されたクリーンストッカに保管されている（例えば、特許文献１参照）。このようなクリーンストッカでは、レチクルをポッドから取り出した状態で保管するので、筐体の内部を揮発性不純物を除去した雰囲気に保っておく必要がある。

【0003】

そこで、特許文献１に開示されているクリーンストッカは、筐体の内部への揮発性不純物の侵入を防止するために、筐体の上部に設置されたクリーンガス供給部からクリーンガスを供給している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００８−３０９１４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、上記従来の構成では、ポッドから取り出されたレチクルを保持又は搬送するための空間、すなわち、ポッドオープナー内部、回転棚内部、及びポッドオープナーと回転棚との間の空間（レチクルの搬送経路）の全てにクリーンガスを供給する必要が生じる。

【0006】

ここで、上記のクリーンガス供給部に用いられるケミカルフィルタは、非常に高額な消耗品であり、その寿命は、送風量が多い程短くなる。すなわち、上記の全ての空間にクリーンガスを供給しようとすると、短期間でケミカルフィルタを交換せねばならず、結果として、保管コストが増大する。また、筐体の内部を、揮発性不純物に加えてさらに水分をも除去した雰囲気（以下、「清浄空間」と標記する）に保とうとすると、さらに保管コストが増大する。

【0007】

本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、荷物を清浄空間内で効率よく保管することのできる自動倉庫を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明の一形態に係る自動倉庫は、荷物をケースに収納して入出庫する。具体的には、複数の前記荷物を保管する保管棚と、前記ケースを保持し、保持された前記ケースに対して前記荷物を出し入れするための出し入れ空間を有するロードポートと、前記荷物を保持するための空間であって、清浄状態に保たれている保持空間を有し、前記保持空間と前記保管棚及び前記出し入れ空間に保持された前記ケースとの間で前記荷物を移載する移載装置と、前記保持空間を閉鎖し、前記移載装置と一体となって移動する第１のシールドとを備える。

【0009】

上記構成によれば、荷物の搬送経路全体ではなく、保持空間のみを清浄状態に保っておけばよい。その結果、清浄化容積を小さくすることができるので、保管コストを抑制し、効率良く荷物を保管することができる。

【0010】

なお、本明細書中の「閉鎖」とは、不純物が空間内に侵入するのを防止できる状態であれば、必ずしも空間を密閉していなくてもよい。例えば、上記の例では、第１のシールドが保持空間の開口部を密閉して、不純物の侵入を防止してもよい。又は、第１のシールドが保持空間の開口部と僅かな隙間を隔てて配置され、その隙間から保持空間内のクリーンガスを常時流出させることによって、不純物の侵入を防止するものであってもよい。

【0011】

一形態として、前記ロードポートは、前記移載装置の前記保持空間と前記出し入れ空間とが連通するように、前記移載装置と一体となって移動してもよい。前記第１のシールドは、連通する前記保持空間及び前記出し入れ空間を閉鎖することによって、連通する前記保持空間及び前記出し入れ空間を清浄状態に保ってもよい。

【0012】

上記構成によれば、ロードポートでケースから取り出された荷物を、清浄空間から取り出すことなく保管棚まで搬送することが可能となる。その結果、清浄化容積を小さくすることができると共に、荷物の汚染を有効に防止することができる。

【0013】

他の形態として、前記第１のシールドは、内部に前記移載装置を旋回可能な状態で収容する円筒部と、前記円筒部の側面の前記ロードポートに対面する位置に第１の開口部と、前記円筒部の側面の前記保管棚に対面する位置に第２の開口部とを備えてもよい。そして、前記移載装置は、前記保持空間の開口部と前記第１の開口部とが対面する位置まで旋回した状態で、前記保持空間と前記ロードポートとの間で前記荷物を移載し、前記保持空間の開口部と前記第２の開口部とが対面する位置まで旋回した状態で、前記保持空間と前記保管棚との間で前記荷物を移載し、前記保持空間の開口部と前記円筒部の内側壁面とが対面する位置まで旋回し、前記保持空間が閉鎖された状態で前記第１のシールドと一体となって移動してもよい。

【0014】

上記構成によれば、移載装置を第１のシールドの内部で旋回させることにより、移載時のみ保持空間の開口部を露出させ、移動時には保持空間を閉鎖することができる。その結果、清浄化容積を小さくすることができると共に、荷物の汚染を有効に防止することができる。

【0015】

さらに、前記移載装置は、前記円筒部の内部で上下方向に移動可能であり、前記円筒部の内部で旋回するのに先立って、前記保持空間の開口部と前記第１及び第２の開口部とが対面しない位置まで上昇又は降下してもよい。これにより、移載装置を旋回させている最中に、開口部が露出するのを防止できる。

【0016】

さらに、該自動倉庫は、前記円筒部の外側壁面に取り付けられて、前記移載装置及び前記第１のシールドと一体となって移動すると共に、前記保管棚に対面する位置に移動したときに、前記保管棚の前記荷物の出し入れ口を閉鎖する第２のシールドを備えてもよい。そして、前記第２のシールドは、前記第１のシールドの前記第２の開口部と、前記保管棚の出し入れ口のうち前記荷物を移載する部分のみとを選択的に連通させる連通孔を備えてもよい。これにより、保管棚の出し入れ口の開口面積を必要最小限に留めることができるので、荷物の汚染をさらに有効に防止することができる。

【発明の効果】

【0017】

本発明によれば、荷物の搬送経路全体ではなく、保持空間のみを清浄状態に保てばよいので、清浄化容積を小さくすることができると共に、荷物の汚染を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】図１は、本発明の実施の形態１に係るクリーンストッカの概略構成図である。

【図2】図２は、レチクルチャンバーの一例を示す図である。

【図3】図３は、ロードポートにレチクル入りのポッドが搬入された状態を示す図である。

【図4】図４は、ポッドが上下に分離した状態を示す図である。

【図5】図５は、ポッドからレチクルが取り出された直後の状態を示す図である。

【図6】図６は、ポッドが再度結合された状態を示す図である。

【図7】図７は、移載装置の概略構成を示す図である。

【図8A】図８Ａは、シールド内部における移載装置の動作例を示す図である。

【図8B】図８Ｂは、シールド内部における移載装置の動作例を示す図である。

【図8C】図８Ｃは、シールド内部における移載装置の動作例を示す図である。

【図8D】図８Ｄは、シールド内部における移載装置の動作例を示す図である。

【図9】図９は、移載装置とロードポートとが対面した状態を示す図である。

【図10】図１０は、移載装置とレチクルチャンバーとが対面した状態を示す図である。

【図11】図１１は、図１０の状態からレチクルチャンバーの出し入れ口が開放された状態を示す図である。

【図12】図１２は、本発明の実施の形態２に係るクリーンストッカの概略構成図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。

【0020】

（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１に係る自動倉庫の一例であるクリーンストッカ１００の概略構成図である。クリーンストッカ１００は、図１に示されるように、保管棚１１０と、ロードポート１２０と、移載装置１３０と、第１及び第２のシールド１４０、１５０と、昇降ガイド１６０と、清浄処理部（ファンフィルタユニット：ＦＦＵ）１７０とを主に備える。このクリーンストッカ１００は、半導体工場又は液晶工場などのクリーンルーム内に設置されるものであり、半導体又は液晶基板の露光用のレチクル（荷物）と、レチクルを収納するポッド（ケース）とが別々に保管される。

【0021】

保管棚１１０は、ポッドから取り出されたレチクルを保管する。保管棚１１０の具体的な構成は特に限定されないが、図１の例における保管棚１１０は、複数のレチクルチャンバー１１０ａによって構成されている。より具体的には、複数（図１では４個）のレチクルチャンバー１１０ａを縦方向に並べて構成される第１列（図１の左側）と第２列（図１の右側）とが、移載装置１３０を囲むように配置されている。

【0022】

図２は、レチクルチャンバー１１０ａの一例を示す図である。レチクルチャンバー１１０ａは、図２に示されるように、円筒形状の内側カバー１１１と、内側カバー１１１より僅かに大きい円筒形状の外側カバー１１２とで構成される。内側カバー１１１及び外側カバー１１２の側面には、それぞれ開口部１１１ａ、１１２ａが形成されている。

【0023】

内側カバー１１１は、複数のレチクルを収納する棚を内部に備え、開口部１１１ａを移載装置１３０の方向に向けて固定されている。そして、内側カバー１１１の内部は、清浄処理部１７０によって清浄状態に保たれている。外側カバー１１２は、内側カバー１１１を覆うように配置され、内側カバー１１１の周りを回転する。

【0024】

そして、開口部１１１ａ、１１２ａがずれた位置関係となるように外側カバー１１２を回転させると（図２の左側の状態）、レチクルの出し入れが不可能な状態（閉鎖状態）となる。一方、開口部１１１ａ、１１２ａが一致するように外側カバー１１２を回転させると（図２の右側の状態）、レチクルの出し入れが可能な状態（開放状態）となる。つまり、開口部１１１ａ、１１２ａを一致させることによって、レチクルチャンバー１１０ａの出し入れ口１１３が形成される。

【0025】

ロードポート１２０は、ポッドに収納された状態のレチクルを入出庫するインタフェースとして機能すると共に、ポッドに対してレチクルを出し入れするポッドオープナー（出し入れ装置）としても機能する。

【0026】

図３〜図６は、出し入れ装置として機能するロードポート１２０の動作を説明するための図である。図３〜図６を参照して、ロードポート１２０の構成、及びポッドからレチクルを取り出す動作を説明する。なお、下記の手順を反対に実行すれば、レチクルをポッドに収納することができるので、説明は省略する。

【0027】

まず、ロードポート１２０の内部には、ポッドからレチクルを取り出す処理、及びポッドにレチクルを収納する処理が行われる出し入れ空間１２１が形成されている。また、この出し入れ空間１２１は、清浄処理部１７０によって清浄状態に保たれている。

【0028】

ポッド２００は、図３に示されるように、上下に分離可能なカバー２１０及びドア２２０で構成される。また、ドア２２０の上面には、レチクル２３０を支持するための複数の突起２２１が設けられている。

【0029】

一方、ロードポート１２０には、カバー２１０を係止する係止部１２２と、ドア２２０を載置する載置部１２３とが設置されている。なお、載置部１２３は、ドア２２０が載置されている状態で上下に昇降する昇降装置として機能する。

【0030】

ロードポート１２０の上面には、開口が設けられている。そして、係止部１２２は、開口の周縁部に設けられる。また、載置部１２３は、ロードポート１２０の内部（すなわち、出し入れ空間１２１）で、且つ上面に設けられた開口に対面する位置に設けられている。ロードポート１２０の上面と載置部１２３の載置面（上面）とは、載置部１２３が最も上昇したときに、同一平面上に位置するようになる。

【0031】

そして、ポッド２００は、最も上昇した状態の載置部１２３に載置される。これにより、ロードポート１２０の開口がポッド２００によって閉鎖される。すなわち、出し入れ空間１２１とは、厳密には、ロードポート１２０とポッド２００のカバー２１０とで区画される空間を指す。

【0032】

そして、ロードポート１２０の開口は、ドア２２０より僅かに大きく、且つカバー２１０より小さい。そのため、ポッド２００を載置した状態の載置部１２３が降下すると、ドア２２０は載置部１２３と共に降下し、カバー２１０は係止部１２２に係止されて、図４に示されるように、カバー２１０とドア２２０とが上下に分離する。

【0033】

次に、ドア２２０に載置されたレチクル２３０が移載装置１３０によって取り出され、図５の状態となる。そして、載置部１２３がドア２２０を載置した状態で上昇することにより、図６に示されるように、カバー２１０とドア２２０とが再び結合される。図６に示される空のポッド２００は、ポッド搬送装置（図示省略）によってロードポート１２０から搬出され、ポッド保管棚（図示省略）に保管される。

【0034】

移載装置１３０は、保管棚１１０とロードポート１２０との間でレチクルを移載する。図７は、移載装置１３０の構成の一例を示す図である。移載装置１３０は、図７に示されるように、内部にレチクル２３０を保持するための保持空間１３１を有し、開口部１３２を通じて保持空間１３１から出退するスライドフォーク１３３によって、保管棚１１０と保持空間１３１との間、及びロードポート１２０の出し入れ空間１２１に保持されているポッド２００と保持空間１３１との間でレチクル２３０を移載する。また、保持空間１３１は、清浄処理部１７０によって清浄状態に保たれている。

【0035】

そして、この移載装置１３０は、図８Ａ〜図８Ｄに示されるように、第１のシールド１４０の内部に収容されている。第１のシールド１４０は、移載装置１３０を収容する円筒部１４１と、円筒部１４１の側面に設けられた第１〜第３の開口部１４２、１４３、１４４とで構成される。

【0036】

第１の開口部１４２は、ロードポート１２０に対面する位置に設けられている。第２の開口部１４３は、保管棚１１０の第１列に属する各レチクルチャンバー１１０ａに対面する位置に設けられている。第３の開口部１４４は、保管棚１１０の第２列に属する各レチクルチャンバー１１０ａに対面する位置に設けられている。なお、図８Ａ〜図８Ｄの例では、第２の開口部１４３は第１の開口部１４２に対して時計回りに９０°の位置に、第３の開口部１４４は第１の開口部１４２に対して時計回りに１８０°の位置に、それぞれ設けられている。

【0037】

移載装置１３０は、円筒部１４１の内部で旋回することができる共に、円筒部１４１の内部で上下に移動することができる状態で、円筒部１４１に収容されている。また、第１のシールド１４０は、移載装置１３０と一体となって、図１に示される昇降ガイド１６０に沿って上下に移動することができる。

【0038】

第２のシールド１５０は、図９に示されるように、第１のシールド１４０の円筒部１４１の外側壁面に取り付けられて、移載装置１３０及び第１のシールド１４０と一体となって移動する。この第２のシールド１５０は、図１１に示されるように、レチクルチャンバー１１０ａに対面する位置に移動したときに、レチクルの出し入れ口１１３を閉鎖すると共に、第１のシールド１４０の第２及び第３の開口部１４３、１４４と、レチクルチャンバー１１０ａの出し入れ口１１３のうちレチクルを移載する部分のみとを選択的に連通させる連通孔１５１を備える。

【0039】

清浄処理部１７０は、例えば、ファンフィルタユニット（ＦＦＵ）である。この清浄処理部１７０は、外部に設置されたＣＤＡ（Ｃｌｅａｎ Ｄｒｙ Ａｉｒ）精製機で精製されたＣＤＡをチューブ等を介して保管棚１１０の内部、及びロードポート１２０の出し入れ空間１２１等に供給する。これによって、保管棚１１０の内部及出し入れ空間１２１が清浄状態に保たれる。また、移載装置１３０の保持空間には、清浄処理部１７０から直接ＣＤＡが供給されるわけではないが、保管棚１１０又は出し入れ空間１２１と連通する際に、これらからＣＤＡが供給されて清浄状態に保たれる。すなわち、本実施の形態に係る「清浄処理部１７０によって清浄状態に保たれている」とは、外部から供給されるＣＤＡが、ＦＦＵである清浄処理部１７０を通じて、直接又は間接的に各部に供給されることを指す。

【0040】

ここで、図８Ａ〜図８Ｄ、及び図９〜図１１を参照して、ロードポート１２０のレチクルを保管棚１１０に移載する際の移載装置１３０の動作の一例を説明する。図８Ａ〜図８Ｄは、第１のシールド１４０の内部における移載装置１３０の動作例を示す図である。図９〜図１１は、第１及び第２のシールド１４０、１５０とレチクルチャンバー１１０ａとの位置関係を示す図である。なお、下記の手順を反対に実行すれば、保管棚１１０のレチクルをロードポート１２０に移載することができるので、説明は省略する。

【0041】

まず、図９に示されるように、移載装置１３０と第１及び第２のシールド１４０、１５０（以下、「移載装置１３０等」と表記する。）とを、第１のシールド１４０の第１の開口部１４２とロードポート１２０（図９では図示省略）とが対面する位置まで昇降ガイド１６０に沿って移動させる。

【0042】

次に、図８Ａに示されるように、保持空間１３１の開口部１３２と第１のシールド１４０の第１の開口部１４２とが対面する位置まで、円筒部１４１の内部で移載装置１３０を旋回させる。これにより、第１の開口部１４２を通じて、ロードポート１２０の出し入れ空間１２１と移載装置１３０の保持空間１３１とが連通する。そして、移載装置１３０は、スライドフォーク１３３によってロードポート１２０内のレチクルを取得し、保持空間１３１内に収納する。

【0043】

次に、図８Ｂに示されるように、保持空間１３１の開口部１３２と第１〜第３の開口部１４２、１４３、１４４とが対面しない位置まで、円筒部１４１の内部で移載装置１３０を上方向に移動させる。これにより、保持空間１３１の開口部１３２は、第１のシールド１４０の内側壁面によって閉鎖された状態となる。

【0044】

次に、図８Ｃに示されるように、図８Ｂの状態から時計回りに９０°だけ、円筒部１４１の内部で移載装置１３０を旋回させる。なお、旋回に先立って移載装置１３０を上昇させておくことにより、保持空間１３１の開口部１３２を円筒部１４１の内側壁面で閉鎖したまま旋回させることができる。その結果、清浄処理部１７０から供給されているＣＤＡが保持空間１３１から流出するのを防止することができる。

【0045】

次に、図１０に示されるように、第１のシールド１４０の第２の開口部１４３とレチクルチャンバー１１０ａとが対面する位置まで、移載装置１３０等を昇降ガイド１６０に沿って移動させる。より具体的には、第２のシールド１５０の連通孔１５１と、これからレチクルを載置しようとしているレチクルチャンバー１１０ａの棚の位置とが対面するようにする。

【0046】

また、図１１に示されるように、開口部１１１ａ、１１２ａを一致させるようにレチクルチャンバー１１０ａの外側カバー１１２を回転させて、出し入れ口１１３を形成する。ここで、レチクルチャンバー１１０ａの出し入れ口１１３は、連通孔１５１の位置を除いて第２のシールド１５０によって閉鎖されているので、レチクルチャンバー１１０ａから流出するＣＤＡの量を少なくすることができる。

【0047】

そして、図８Ｄに示されるように、保持空間１３１の開口部１３２と第１のシールド１４０の第２の開口部１４３とが対面する位置まで、円筒部１４１の内部で移載装置１３０を下方向に移動させる。これにより、第１の開口部１４２及び連通孔１５１を通じて、レチクルチャンバー１１０ａと移載装置１３０の保持空間１３１とが連通する。そして、移載装置１３０は、スライドフォーク１３３によって、保持空間１３１内のレチクルを保管棚１１０に移載する。

【0048】

上記構成によれば、清浄処理部１７０によって清浄状態に保たれる空間を、レチクルチャンバー１１０ａの内部、ロードポート１２０の出し入れ空間１２１、及び移載装置１３０の保持空間１３１に限定することができる。つまり、従来のクリーンストッカのように、レチクルの搬送経路全体を清浄状態に保っておく必要がなくなるので、清浄化容積を小さくすることができる。その結果、保管コストを低減し、レチクルの汚染を効率良く防止することができる。

【0049】

なお、上記の説明は一例であり、これに限定されるものではない。例えば、上記の各処理の順序を一部入れ替えてもよい。具体的には、移載装置１３０等をレチクルチャンバー１１０ａの位置まで上昇させてから、第１のシールド１４０内の移載装置１３０を、図８Ｂの状態から図８Ｃの状態まで旋回させてもよい。また、図８Ｂでは移載装置１３０を円筒部１４１の内部で上昇させ、図８Ｄでは移載装置１３０を円筒部１４１の内部で降下させる例を示したが、移載装置１３０を旋回させる前に降下させ、旋回させた後に上昇させてもよい。

【0050】

（実施の形態２）
図１２は、本発明の実施の形態１に係る自動倉庫の一例であるクリーンストッカ１００の概略構成図である。なお、実施の形態１との共通点の説明は省略し、相違点を中心に説明する。

【0051】

図１２に示されるクリーンストッカ１００においては、ロードポート１２０と移載装置１３０とが一体として移動する。また、ロードポート１２０の出し入れ空間１２１と、移載装置１３０の保持空間１３１とは、互いに連通している。また、第１のシールド１４０は、互いに連通する出し入れ空間１２１及び保持空間１３１を閉鎖するように、ロードポート１２０及び移載装置１３０全体を覆っている。そして、清浄処理部１７０（図１２では図示省略）は、連通する出し入れ空間１２１及び保持空間１３１にＣＤＡを供給することにより、これらの空間を清浄状態に保つ。

【0052】

上記構成によれば、ロードポート１２０でケースから取り出されたレチクルを、清浄空間から取り出すことなく保管棚１１０まで搬送することが可能となる。また、実施の形態１と比較して、各構成要素の構造を簡略化することができる。つまり、第１のシールド１４０を円筒形状とし、その内部で移載装置１３０を旋回させる必要もない。また、保管棚１１０は、従来と同様に回転棚であってもよい。

【0053】

なお、上記の各実施の形態１、２では、レチクルを保管するクリーンストッカ１００の例を示したが、本発明はこれに限定されない。つまり、本発明は、清浄空間内で保管する必要のあるあらゆる荷物を保管する自動倉庫に適用することができる。

【0054】

以上、図面を参照してこの発明の実施形態を説明したが、この発明は、図示した実施形態のものに限定されない。図示した実施形態に対して、この発明と同一の範囲内において、あるいは均等の範囲内において、種々の修正や変形を加えることが可能である。

【産業上の利用可能性】

【0055】

本発明は、清浄空間内で荷物を保持する自動倉庫に有利に利用される。

【符号の説明】

【0056】

１００ クリーンストッカ
１１０ 保管棚
１１０ａ レチクルチャンバー
１１１ 内側カバー
１１１ａ，１１２ａ，１３２ 開口部
１１２ 外側カバー
１１３ 出し入れ口
１２０ ロードポート
１２１ 出し入れ空間
１２２ 係止部
１２３ 載置部
１３０ 移載装置
１３１ 保持空間
１３３ スライドフォーク
１４０ 第１のシールド
１４１ 円筒部
１４２ 第１の開口部
１４３ 第２の開口部
１４４ 第３の開口部
１５０ 第２のシールド
１５１ 連通孔
１６０ 昇降ガイド
１７０ 清浄処理部
２００ ポッド
２１０ カバー
２２０ ドア
２２１ 突起
２３０ レチクル

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8A】

【図8B】

【図8C】

【図8D】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】