特許第5674468号(P5674468)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許5674468ターボ分子ポンプのための多段ポンプロータ
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  • 特許5674468-ターボ分子ポンプのための多段ポンプロータ 図000002
  • 特許5674468-ターボ分子ポンプのための多段ポンプロータ 図000003
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