特許5676449光近接効果補正、設計およびキャラクタプロジェクションリソグラフィを用いたレチクルの製造のための方法

発明の名称　光近接効果補正、設計およびキャラクタプロジェクションリソグラフィを用いたレチクルの製造のための方法

出願人　ディー・ツー・エス・インコーポレイテッド　（識別番号 509142184）

　　　　特許公開件数ランキング 2471 位（7件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 3264 位（4件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5676449

公報発行日　2015年2月25

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5676449

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