特許 5677448 有機発光パネルとその製造方法、および有機表示装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5677448

(24)【登録日】2015年1月9日

(45)【発行日】2015年2月25日

(54)【発明の名称】有機発光パネルとその製造方法、および有機表示装置

(51)【国際特許分類】

   H05B 33/22 20060101AFI20150205BHJP

   H01L 51/50 20060101ALI20150205BHJP

   H05B 33/12 20060101ALI20150205BHJP

   H05B 33/10 20060101ALI20150205BHJP

   G09F 9/30 20060101ALI20150205BHJP

   H01L 27/32 20060101ALI20150205BHJP

【ＦＩ】

   H05B33/22 Z

   H05B33/14 A

   H05B33/12 B

   H05B33/10

   G09F9/30 365

【請求項の数】19

【全頁数】34

(21)【出願番号】特願2012-538479(P2012-538479)

(86)(22)【出願日】2010年10月15日

(86)【国際出願番号】JP2010006125

(87)【国際公開番号】WO2012049712

(87)【国際公開日】20120419

【審査請求日】2013年7月23日

(73)【特許権者】

【識別番号】000005821

【氏名又は名称】パナソニック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001900

【氏名又は名称】特許業務法人 ナカジマ知的財産綜合事務所

(74)【代理人】

【識別番号】100090446

【弁理士】

【氏名又は名称】中島 司朗

(74)【代理人】

【識別番号】100125597

【弁理士】

【氏名又は名称】小林 国人

(74)【代理人】

【識別番号】100146798

【弁理士】

【氏名又は名称】川畑 孝二

(74)【代理人】

【識別番号】100121027

【弁理士】

【氏名又は名称】木村 公一

(74)【代理人】

【識別番号】100175411

【弁理士】

【氏名又は名称】土田 幸雄

(74)【代理人】

【識別番号】100174861

【弁理士】

【氏名又は名称】中島 安洋

(74)【代理人】

【識別番号】100148194

【弁理士】

【氏名又は名称】小林 義周

(72)【発明者】

【氏名】松島 英晃

【審査官】 小西 隆

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００９−２７７５７８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−３１０１５６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００２−２２２６９５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ５１／５０ − ５１／５６

Ｈ０１Ｌ ２７／３２

Ｈ０５Ｂ ３３／００ − ３３／２８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の画素部が配列されてなる有機発光パネルであって、
前記複数の画素部の各画素部は、互いに発光色が異なり、順に配列された複数の発光部を有し、
各発光部は、第１電極を含む下地層と、前記下地層に対向して設けられ、発光色ごとに対応した有機発光材料を含むインクが塗布されて形成された有機発光層と、前記有機発光層に対して前記下地層と反対側に形成された第２電極とを含み、
同一画素部内における前記複数の発光部は、一方側から他方側に向け、各発光色に対応する前記インクが順番に塗布され、前記有機発光層が形成されてなり、一方側に位置し，対応するインクが第１巡目に塗布される第１発光部と、中央側に位置し，対応するインクが第２巡目に塗布される第２発光部と、他方側に位置し，対応するインクが第３巡目に塗布される第３発光部とを少なくとも有し、
前記下地層の上方には、前記複数の発光部のうちの隣り合う発光部を区画し、各発光部を規定する複数の隔壁が設けられ、
前記複数の画素部は、
前記第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度が等しく、
前記第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度が異なり、かつ、前記第３発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度が、前記第１発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きい、
画素部を含む
ことを特徴とする有機発光パネル。

【請求項2】

前記複数の画素部は、連続して隣り合うように形成されており、
前記第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度が等しい、
請求項１記載の有機発光パネル。

【請求項3】

前記第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、前記第１発光部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度は、前記第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度と等しい、
請求項２記載の有機発光パネル。

【請求項4】

前記第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、前記第１発光部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度は、前記第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度と等しい、
請求項３記載の有機発光パネル。

【請求項5】

前記第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、前記第３発光部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度は、３５度以上４５度以下であり、
前記第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、前記第１発光部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度は、２５度以上３５度以下であり、
前記第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度は、２５度以上３５度以下であり、
前記第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度は、２５度以上３５度以下である、
ことを特徴とする請求項４記載の有機発光パネル。

【請求項6】

前記複数の画素部の隣り合う画素部の各間には、非画素部が形成され、
前記画素部と前記非画素部との間には、画素部と非画素部を区画する隔壁が形成されており、
各画素部では、
前記第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度が異なり、前記非画素部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度が、前記第２発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きい、
請求項１記載の有機発光パネル。

【請求項7】

前記非画素部は、前記有機発光層を含むことなく、前記第２電極と、前記第１電極と同じ材料を以って構成された第３電極とを含み、前記第２電極と前記第３電極とが電気的に接続される、
請求項６記載の有機発光パネル。

【請求項8】

前記第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、前記第３発光部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度が、前記第１発光部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度よりも大きく、
前記第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、前記非画素部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度が、前記第２発光部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度よりも大きい、
請求項６記載の有機発光パネル。

【請求項9】

前記第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、前記第３発光部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度と、
前記第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、前記非画素部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度とが等しい、
請求項８記載の有機発光パネル。

【請求項10】

前記第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、前記第１発光部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度は、前記第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度と等しい、
請求項６記載の有機発光パネル。

【請求項11】

前記第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、前記第２発光部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度は、前記第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度と等しい、
請求項１０記載の有機発光パネル。

【請求項12】

前記第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、前記第３発光部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度は、３５度以上４５度以下であり、
前記第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、前記非画素部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度は、３５度以上４５度以下であり、
前記第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、前記第１発光部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度は、２５度以上３５度以下であり、
前記第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、前記第２発光部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度は、２５度以上３５度以下であり、
前記第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度は、２５度以上３５度以下である、
請求項１１記載の有機発光パネル。

【請求項13】

前記傾斜角度は、前記隔壁における前記対向する各面部と、前記隔壁が形成されている前記下地層の上面とがなす角度である、
請求項１記載の有機発光パネル。

【請求項14】

請求項１から請求項１３の何れかに記載の有機発光パネルを備えた有機表示装置。

【請求項15】

複数の画素部が配列されてなる有機発光パネルの製造方法であって、
基板上に、第１電極を含む下地層を形成する第１工程と、
前記下地層の上に、感光性レジスト材料を積層する第２工程と、
前記積層された感光性レジスト材料をマスク露光してパターニングすることにより、各画素部ごとに複数の発光部に対応する複数の開口を形成するとともに、隣接する前記発光部を区画して各発光部を規定する複数の隔壁を形成する第３工程と、
前記複数の開口のそれぞれに対して、有機発光材料を含むインクを滴下して乾燥させ、有機発光層を形成する第４工程と、
前記有機発光層の上方に、第２電極を形成する第５工程と、
を有し、
前記第３工程では、
各画素部ごとに、一方側に位置する第１発光部に対応する第１開口と、中央側に位置する第２発光部に対応する第２開口と、他方側に位置する第３発光部に対応する第３開口とを形成し、
さらに、
前記第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度を等しく形成するとともに、
前記第２発光部および前記第３発光部のうち、少なくとも前記第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度を異ならせ、且つ、前記第３発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度を前記第１発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きくなるように形成し、
前記第４工程では、
各画素部ごとに、各発光色に対応する前記インクを、前記第１開口、前記第２開口、前記第３開口の順番に滴下し、前記有機発光層を形成する、
ことを特徴とする有機発光パネルの製造方法。

【請求項16】

前記第３工程では、
前記感光性レジスト材料の露光に関し、前記第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、前記第３発光部側に位置する隔壁の面部に相当する部分への露光量を、前記第１発光部側に位置する隔壁の面部に相当する部分への露光量よりも大きくすることにより、
前記第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、前記第３発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度を、前記第１発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きくする、
請求項１５記載の有機発光パネルの製造方法。

【請求項17】

前記第３工程では、
前記感光性レジスト材料の露光に関し、前記第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、前記第３発光部側に位置する隔壁の面部に相当する部分への光の透過率が、前記第１発光部側に位置する隔壁の面部に相当する部分への光の透過率よりも大きくなるように、それぞれの面部に相当する部分に対して互いに異なるマスクを用いることにより、
前記第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、前記第３発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度を、前記第１発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きくする、
請求項１５記載の有機発光パネルの製造方法。

【請求項18】

前記第３工程では、
前記感光性レジスト材料を露光して現像した後、前記第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、前記第３発光部側に位置する隔壁の面部に相当する部分に対し、露光処理を追加して行うことにより、
前記第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、前記第３発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度を、前記第１発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きくする、
請求項１５記載の有機発光パネルの製造方法。

【請求項19】

請求項１５から請求項１８の何れかに記載の製造方法により得られた有機発光パネルを備えた有機表示装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、有機発光パネルとその製造方法、および有機表示装置に関する。

【背景技術】

【0002】

近年、有機材料の電界発光現象を利用した表示装置の研究・開発が進められている。この表示装置では、各画素部が、アノード電極およびカソード電極と、その間に介挿された有機発光層とを有し構成されている。そして、表示装置の駆動においては、アノード電極からホール注入し、カソード電極から電子注入し、有機発光層内でホールと電子とが再結合することにより発光する。

【0003】

隣接する画素部の有機発光層同士の間は、絶縁材料から構成された隔壁（バンク）により区画されている。有機発光層の形成は、例えば、隔壁で区画された領域ごとに、有機発光材料を含むインクを滴下し、これを乾燥させることによりなされる。

【0004】

ところで、上記のとおり形成された有機発光層の膜厚は、均一にすることが困難であるという問題がある。

【0005】

ここで、有機発光層の膜厚を均一にするため、例えば、特許文献１では、隔壁の面部に凸状部を設け、これにより隔壁の面部に対するインクのピンニング位置を制御するという技術が記載されている。即ち、特許文献１で提案されている技術を採用することにより、一の画素部におけるインクを滴下した際のピンニング位置を、面部に形成した凸状部にピンニングすることができ、これにより、ある程度の膜厚均一性を確保することができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２００７−３１１２３５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

ところで、表示装置における有機発光パネルについて、上記特許文献１により提案された技術を採用し、予め有機発光層の膜厚の偏りを把握し、これに基づいて領域毎、あるいは隔壁の対応面部毎に高い精度で微細な凸状部を形成することは、困難と考えられる。このため、有機発光パネルの領域全体において、有機発光層の膜厚を均一にすることは容易ではない。

【0008】

本発明は、上記課題の解決を図ろうとなされたものであって、パネル全面での有機発光層の膜厚の均一化を図り、面内における輝度ムラの少ない表示装置およびその製造方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

そこで、本発明の一態様に係る有機発光パネルは、次の構成を採用することを特徴とする。

【0010】

本発明の一態様に係る有機発光パネルは、複数の画素部が配列されてなる有機発光パネルであって、複数の画素部の各画素部が、互いに発光色が異なり、順に配列された複数の発光部を有する。各発光部は、第１電極を含む下地層と、下地層に対向して設けられ、発光色ごとに対応した有機発光材料を含むインクが塗布されて形成された有機発光層と、有機発光層に対して下地層と反対側に形成された第２電極とを含む。

【0011】

また、本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、同一画素部内における複数の発光部が、一方側から他方側に向け、各発光色に対応するインクが順番に塗布され、これにより有機発光層が形成されてなり、一方側に位置し、対応するインクが第１巡目に塗布される第１発光部と、中央側に位置し，対応するインクが第２巡目に塗布される第２発光部と、他方側に位置し、対応するインクが第３巡目に塗布される第３発光部とを少なくとも有し、また、下地層の上方には、複数の発光部のうちの隣り合う発光部を区画し、各発光部を規定する複数の隔壁が設けられている。そして、本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、複数の画素部の内に、第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度が等しく、第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度が異なり、且つ、第３発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度が、第１発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きい、という関係を満たす画素部を含むことを特徴とする。

【発明の効果】

【0012】

本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、第１発光部が、対応するインクが第１巡目に塗布されて有機発光層が形成されるため、第１発光部の形成の際、第１発光部に隣り合う領域において、インクが塗布されておらず、第１発光部の一端側と他端側においてインクの蒸気濃度は“０”であって等しく、有機発光層の膜厚が偏ることがない。よって、第１発光部について、隣り合う隔壁における対向する面部の傾斜角度を等しくすることにより、膜厚の偏りを防止でき、良好な発光特性が得られる。

【0013】

一方、第２発光部は、対応するインクが第２巡目に塗布されて有機発光層が形成されるため、第２発光部の形成の際、第２発光部に隣り合う領域において、インクの蒸気濃度が異なることになる。即ち、第２発光部において、インクの蒸気濃度は、第１発光部側である一端側が第３発光部側である他端側よりも高くなっている。このため、第２発光部は、有機発光層における第３発光部側である他端側における発光層の膜厚が、第１発光部側である一端側における発光層の膜厚よりも大きくなって、膜厚に偏りが生じようとする。

【0014】

しかし、本発明の一態様に係る上記構成によれば、第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の第３発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度が、第１発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きいため、第３発光部側に位置する隔壁におけるインクのピンニング位置が、第１発光部側に位置する隔壁におけるインクのピンニング位置よりも相対的に高くなる。これより、第３発光部側における有機発光層の膜厚を抑えることができ、第２発光部の一端部と他端部における膜厚の偏りを防止できる。

【0015】

以上の通り、本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、同一の画素部における発光部に関して、有機発光層の膜厚の偏りを防止でき、同一画素部における良好な発光特性が得られる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】実施の形態１に係る有機表示装置１の概略構成を示すブロック図である。

【図2】表示パネル１０における一部のサブピクセル１００を示す模式断面図である。

【図3】表示パネル１０におけるバンク１０５を示す模式平面図である。

【図4】表示パネル１０におけるサブピクセル１００ａ〜１００ｃと、各サブピクセル１００ａ〜１００ｃ間を区画するバンク１０５ａ〜１０５ｄの構成を示す模式断面図である。

【図5】（ａ）は、バンク側面部のテーパ角が小さい場合のピンニング位置を示す模式断面図であり、（ｂ）は、バンク側面部のテーパ角が大きい場合のピンニング位置を示す模式断面図であり、（ｃ）は、バンク側面部のテーパ角が小さい場合における乾燥後の有機発光層の状態を示す模式断面図であり、（ｄ）は、バンク側面部のテーパ角が大きい場合における乾燥後の有機発光層の状態を示す模式断面図である。

【図6】バンクの面部における傾斜角度（テーパ角）θと、ピンニング位置の高さＨおよび有機発光層の膜厚Ｔとの関係を纏めて示す図である。

【図7】サンプル１〜３における有機発光層の膜厚分布を示す図である。

【図8】サンプル４，５における有機発光層の膜厚分布を示す図である。

【図9】（ａ）〜（ｃ）は、表示パネル１０の製造方法における要部工程を順に示す模式断面図である。

【図10】（ａ）〜（ｃ）は、表示パネル１０の製造方法における要部工程を順に示す模式断面図である。

【図11】（ａ），（ｂ）は、表示パネル１０の製造方法における要部工程を順に示す模式断面図である。

【図12】（ａ）は、インク１０６０ａ〜１０６０ｃの塗布および乾燥に係る工程順を示す模式フロー図であり、（ｂ）は、インク１０６０ａ〜１０６０ｃの塗布および乾燥に係る別の工程順を示す模式フロー図である。

【図13】変形例１に係る製造方法における要部工程を示す模式断面図である。

【図14】（ａ），（ｂ）は、変形例２に係る製造方法における要部工程を順に示す模式断面図である。

【図15】（ａ），（ｂ）は、変形例２に係る製造方法における要部工程を順に示す模式断面図である。

【図16】（ａ）は、露光・現像処理とバンクのテーパ角との関係を示す図であり、（ｂ）は、形成されたバンクの形状を示すＡＦＭである。

【図17】実施の形態２に係る有機表示装置が備える表示パネルにおけるサブピクセル３００ａ〜３００ｃおよび非画素部３００ｄ，３００ｅと、バンク３０５ａ〜３０５ｅの構成を示す模式断面図である。

【図18】（ａ）〜（ｃ）は、インク３０６０ａ〜３０６０ｃを順に塗布する工程を示す模式断面図である。

【図19】（ａ），（ｂ）は、テーパ角の定義を説明するための模式断面図である。

【図20】表示パネル１０における領域１０ａ１，１０ａ２，１０ｂを説明するための模式平面図である。

【図21】有機表示装置１を含むセットの外観の一例を示す外観斜視図である。

【図22】変形例３に係る表示パネル８０が備えるバンク８０５の構成を示す模式平面図である。

【図23】（ａ），（ｂ）は、表示パネルにおける隣接サブピクセル毎の有機発光層の膜厚分布の偏り状態を示す模式断面図である。

【図24】（ａ）〜（ｃ）は、有機発光層の形成時における蒸気濃度分布と、インク乾燥工程での膜形状の偏りの状態を示す模式断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

[本発明の一態様の概要]
本発明の一態様に係る有機発光パネルは、複数の画素部が配列されてなる有機発光パネルであって、複数の画素部の各画素部が、互いに発光色が異なり、順に配列された複数の発光部を有する。各発光部は、第１電極を含む下地層と、下地層に対向して設けられ、発光色ごとに対応した有機発光材料を含むインクが塗布されて形成された有機発光層と、有機発光層に対して下地層と反対側に形成された第２電極とを含む。

【0018】

また、本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、同一画素部内における複数の発光部が、一方側から他方側に向け、各発光色に対応するインクが順番に塗布され、これにより有機発光層が形成されてなり、一方側に位置し、対応するインクが第１巡目に塗布される第１発光部と、中央側に位置し，対応するインクが第２巡目に塗布される第２発光部と、他方側に位置し、対応するインクが第３巡目に塗布される第３発光部とを少なくとも有し、また、下地層の上方には、複数の発光部のうちの隣り合う発光部を区画し、各発光部を規定する複数の隔壁が設けられている。そして、本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、複数の画素部の内に、第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度が等しく、第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度が異なり、且つ、第３発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度が、第１発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きい、という関係を満たす画素部を含むことを特徴とする。

【0019】

本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、第１発光部が、対応するインクが第１巡目に塗布されて有機発光層が形成されるため、第１発光部の形成の際、第１発光部に隣り合う領域において、インクが塗布されておらず、第１発光部の一端側と他端側においてインクの蒸気濃度は“０”であって等しく、有機発光層の膜厚が偏ることがない。よって、第１発光部について、隣り合う隔壁における対向する面部の傾斜角度を等しくすることにより、膜厚の偏りを防止でき、良好な発光特性が得られる。

【0020】

一方、第２発光部は、対応するインクが第２巡目に塗布されて有機発光層が形成されるため、第２発光部の形成の際、第２発光部に隣り合う領域において、インクの蒸気濃度が異なることになる。即ち、第２発光部において、インクの蒸気濃度は、第１発光部側である一端側が第３発光部側である他端側よりも高くなっている。このため、第２発光部は、有機発光層における第３発光部側である他端側における発光層の膜厚が、第１発光部側である一端側における発光層の膜厚よりも大きくなって、膜厚に偏りが生じようとする。

【0021】

しかし、本発明の一態様に係る上記構成によれば、第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の第３発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度が、第１発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きいため、第３発光部側に位置する隔壁におけるインクのピンニング位置が、第１発光部側に位置する隔壁におけるインクのピンニング位置よりも相対的に高くなる。これより、第３発光部側における有機発光層の膜厚を抑えることができ、第２発光部の一端部と他端部における膜厚の偏りを防止できる。

【0022】

以上の通り、本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、同一の画素部における発光部に関して、有機発光層の膜厚の偏りを防止でき、同一画素部における良好な発光特性が得られる。

【0023】

なお、上記において、「傾斜角度」とは、バンクにおける各側面部と、バンクが設けられている下地層（第１電極あるいはホール注入層やホール輸送層、さらにはホール注入輸送層がこれに該当する。）の上面と、がなす角度である。

【0024】

本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、上記構成において、複数の画素部が連続して隣り合うように形成されており、第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度が等しい、という構成を採用することができる。

【0025】

上記構成を採用する場合には、上記効果に加えて、第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度を等しくすることにより、製造時に膜厚の偏りが発生しない第３発光部について、有機発光層の膜厚の偏りを防止することができ、良好な発光特性を得ることができる。これより、複数の画素部において、良好な発光特性が得られる。

【0026】

なお、上記における「等しい」とは、必ずしも数値面で完全に等しいことを意味するのではなく、有機発光パネルの製造における寸法誤差などを考慮したものである。具体的には、パネルの中央部と外周部とにおいて、それぞれに属する画素部の発光効率の差異（輝度ムラ）が実用上許容できる範囲で、傾斜角度を等しくするということを意味する。

【0027】

本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、上記構成において、第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、第１発光部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度が、第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度と等しい、という構成を採用することができる。

【0028】

上記構成を採用する場合には、インクが第２巡目に塗布される第２発光部において、既に第１巡目で第１発光部に対してインク塗布が行われていることに起因して、第１発光部側である一端側でのインクの蒸気濃度が、第３発光部側である他端側よりも高くなっているが、第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、第１発光部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度を、第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度と等しくすることにより、形成される有機発光層の膜厚の偏りを抑えることができる。

【0029】

本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、上記構成において、第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、第１発光部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度が、第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度と等しい、という構成を採用することができる。

【0030】

上記構成を採用する場合には、インクが第２巡目に塗布される第２発光部において、既に第１巡目で第１発光部に対してインク塗布が行われていることに起因して、第１発光部側である一端側でのインクの蒸気濃度が、第３発光部側である他端側よりも高くなっているが、第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、第１発光部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度を、第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度と等しくすることにより、形成される有機発光層の膜厚の偏りを抑えることができる。

【0031】

なお、上記構成においては、隣り合う画素部と画素部とが連続して形成されており、その間にバスバーを配設するための非画素部が設けられていないので、第３発光部にインクを塗布する場合には、両側の蒸気濃度に差異がなく、このため、第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度は、互いに等しく設定されている。

【0032】

本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、上記画素部同士が連続して隣り合う構成において、各隔壁の面部の傾斜角度を、具体的に次の範囲内で設定することができる。

【0033】

（ａ１） 第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、第３発光部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度を、３５［°］以上４５［°］以下とすることができる。

【0034】

（ａ２） 第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、第１発光部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度を、２５［°］以上３５［°］以下とすることができる。

【0035】

（ａ３） 第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度を、２５［°］以上３５［°］以下とすることができる。

【0036】

（ａ４） 第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度を、２５［°］以上３５［°］以下とすることができる。

【0037】

本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、上記構成において、複数の画素部の隣り合う画素部の各間に非画素部が形成され、画素部と非画素部との間に、画素部と非画素部を区画する隔壁が形成されており、各画素部において、第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度が異なり、非画素部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度が、第２発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きい、という構成を採用することができる。

【0038】

このように隣り合う画素部の各間に非画素部が形成されている構成の場合、第３巡目にインクが塗布される第３発光部においては、蒸気濃度が第２発光部側と非画素部側とで相違することになるが、上記に様に、第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度が異なり、非画素部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度が、第２発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きい、という構成を採用することにより、インクのピンニング位置の相対的調整により有機発光層の膜厚の偏りを抑えることができる。

【0039】

本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、上記構成において、非画素部が、有機発光層を含むことなく、第２電極と、上記第１電極と同じ材料を以って構成された第３電極とを含み、第２電極と第３電極とが電気的に接続される、という構成を採用することができる。

【0040】

例えば、トップエミッション型の有機発光パネルでは、有機発光層よりも上方（光取出し側）に配される第２電極として、光透過性を有する材料（例えば、ＩＴＯやＩＺＯなど）が用いられることが通常であるが、これらの材料は電気抵抗が大きい。このため、非画素部において、第２電極と第３電極とを接続して電気抵抗の低減を図り、パネルサイズの大きな場合にも電圧降下を生じ難い、高い発光特性を確保することができる。第３電極は、例えば、バスバーである。

【0041】

本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、上記構成において、第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、第３発光部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度が、第１発光部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度よりも大きく、また、第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、非画素部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度が、第２発光部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度よりも大きい、という構成を採用することができる。

【0042】

この構成を採用する場合には、第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁の対向する面部の内、第３発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度を、第１発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きくすることにより、第２発光部に対して塗布されるインクのピンニング位置を、第３発光部側の隔壁の該当面部に対する方が、第１発光部側の隔壁の該当面部に対する方より相対的に高くすることができ、形成される有機発光層の膜厚の偏りを抑えることができる。

【0043】

本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、上記構成において、第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、第３発光部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度と、第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、非画素部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度とが等しい、という構成を採用することができる。

【0044】

この構成を採用する場合には、第３発光部に対して非画素部が隣り合って配置されていることに起因して、第３発光部へのインク塗布に際しては、第２発光部側よりも非画素部側で蒸気濃度が低くなるが、上記のように第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、非画素部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度を、第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、第３発光部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度と等しくすることにより、第２発光部と同様に、第３発光部における有機発光層の膜厚の偏りを抑えることができる。

【0045】

本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、上記構成において、第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、第１発光部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度が、第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度と等しい、という構成を採用することができる。

【0046】

第２発光部へのインク塗布に際しては、第２発光部に対して隣り合う第１発光部へのインク塗布がすでになされている状態であるので、第１発光部側の蒸気濃度が第３発光部側の蒸気濃度よりも高い状態にあり、有機発光層の膜厚が第３発光部側の方が厚くなろうとする傾向にあるが、第１発光部側については、そのような傾向が少ない。よって、上記構成を採用する場合には、隔壁の面部における傾斜角度を、上記関係で規定することによって、第２発光部の有機発光層の相対的な膜厚の偏りを抑えることができる。

【0047】

本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、上記構成において、第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、第２発光部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度が、第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度と等しい、という構成を採用することができる。

【0048】

第３発光部へのインク塗布に際しても、蒸気濃度の偏りに起因して、有機発光層の膜厚について、非画素部側で厚くなろうとする傾向にあるが、第２発光部側では、そのような傾向が少ない。よって、上記構成を採用する場合には、隔壁の面部における傾斜角度を、上記関係で規定することによって、第３発光部の有機発光層の相対的な膜厚の偏りを抑えることができる。

【0049】

本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、上記隣り合う画素部間に非画素部が配される構成において、各隔壁の面部の傾斜角度を、具体的に次の範囲内で設定することができる。

【0050】

（ｂ１） 第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、第３発光部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度を、３５［°］以上４５［°］以下とすることができる。

【0051】

（ｂ２） 第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、非画素部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度を、３５［°］以上４５［°］以下とすることができる。

【0052】

（ｂ３） 第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、第１発光部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度を、２５［°］以上３５［°］以下とすることができる。

【0053】

（ｂ４） 第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、第２発光部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度を、２５［°］以上３５［°］以下とすることができる。

【0054】

（ｂ５） 第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度を、２５［°］以上３５［°］以下とすることができる。

【0055】

本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、上記構成において、傾斜角度を、隔壁における上記対向する各面部と、隔壁が形成されている下地層の上面とがなす角度である、と定義することができる。

【0056】

なお、本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、下地層の中に、第１電極よりも下方に形成されたＴＦＴ（薄膜トランジスタ）層が含まれ、各画素部においては、第１電極がＴＦＴ層に対して電気的に接続されている、という構成を採用することができる。

【0057】

本発明に係る有機表示装置は、上記の何れかに記載の有機発光パネルを備えた、ことを特徴とする。このため、本発明の一態様に係る有機表示装置は、上記本発明の一態様に係る有機表示パネルが有する効果をそのまま有する。

【0058】

本発明の一態様に係る有機発光パネルの製造方法は、複数の画素部が配列されてなる有機発光パネルを製造する方法であって、以下の工程を有する。

【0059】

（第１工程） 基板上に、第１電極を含む下地層を形成する。

【0060】

（第２工程） 下地層の上に、感光性レジスト材料を積層する。

【0061】

（第３工程） 積層された感光性レジスト材料をマスク露光してパターニングすることにより、各画素部ごとに複数の発光部に対応する複数の開口を形成するとともに、隣接する発光部を区画して各発光部を規定する複数の隔壁を形成する。

【0062】

（第４工程） 複数の開口のそれぞれに対して、有機発光材料を含むインクを滴下して乾燥させ、有機発光層を形成する。

【0063】

（第５工程） 有機発光層の上方に、第２電極を形成する。

【0064】

本発明の一態様に係る有機発光パネルの製造方法では、上記第３工程において、各画素部ごとに、一方側に位置する第１発光部に対応する第１開口と、中央側に位置する第２発光部に対応する第２開口と、他方側に位置する第３発光部に対応する第３開口とを形成し、さらに、第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度を等しく形成する。

【0065】

また、本発明の一態様に係る有機発光パネルの製造方法では、上記第３工程において、第２発光部および第３発光部のうち、少なくとも第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度を異ならせ、且つ、第３発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度を第１発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きくなるように形成する。

【0066】

さらに、本発明の一態様に係る有機発光パネルの製造方法では、上記第４工程において、画素部ごとに、各発光色に対応する前記インクを、第１開口、第２開口、第３開口の順番に滴下し、有機発光層を形成する、ことを特徴とする。

【0067】

本発明の一態様に係る製造方法を採用すれば、少なくとも第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度を異ならせ、且つ、第３発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度を第１発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きくなるように形成する、という構成を実現することができ、インクの滴下（塗布）から乾燥までにおける蒸気濃度の偏りに起因する有機発光層の膜厚の偏りを抑えることができる。よって、本発明の一態様に係る製造方法を採用すれば、良好な発光特性を有する有機発光パネルを製造することができる。

【0068】

本発明の一態様に係る有機発光パネルの製造方法では、上記構成において、第３工程では、感光性レジスト材料の露光に関し、第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、第３発光部側に位置する隔壁の面部に相当する部分への露光量を、第１発光部側に位置する隔壁の面部に相当する部分への露光量よりも大きくすることにより、第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、第３発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度を、第１発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きくする、という構成を採用することができる。

【0069】

この構成を採用する場合には、露光量の調整により、隔壁の面部における傾斜角度を箇所に応じて変えることができ、これによりインク滴下時におけるピンニング位置を調整することができる。よって、良好な発光特性を有する有機発光パネルを製造することができる。

【0070】

本発明の一態様に係る有機発光パネルの製造方法では、上記構成において、第３工程では、感光性レジスト材料の露光に関し、第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、第３発光部側に位置する隔壁の面部に相当する部分への光の透過率が、前記第１発光部側に位置する隔壁の面部に相当する部分への光の透過率よりも小さくなるように、それぞれの面部に相当する部分に対して互いに異なるマスクを用いることにより、第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、第３発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度を、第１発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きくする、という構成を採用することができる。

【0071】

この構成を採用する場合には、マスクにおける光の透過率を調整することにより、隔壁の面部における傾斜角度を箇所に応じて変えることができ、これによりインク滴下時におけるピンニング位置を調整することができる。よって、良好な発光特性を有する有機発光パネルを製造することができる。

【0072】

本発明の一態様に係る有機発光パネルの製造方法では、上記構成において、第３工程では、感光性レジスト材料を露光して現像した後、第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、第３発光部側に位置する隔壁の面部に相当する部分に対し、露光処理を追加して行うことにより、第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、第３発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度を、第１発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きくする、という構成を採用することができる。

【0073】

この構成を採用する場合には、露光処理を追加して実行する箇所と追加しない箇所とを設けることにより、隔壁の面部における傾斜角度を箇所に応じて変えることができ、これによりインク滴下時におけるピンニング位置を調整することができる。よって、良好な発光特性を有する有機発光パネルを製造することができる。

【0074】

本発明の一態様に係る有機表示装置は、上記の何れかに記載の製造方法により得られた有機発光パネルを備えた、ことを特徴とする。

【0075】

このように得られた有機表示装置では、上記製造方法により得られる有機発光パネルが有する効果をそのまま有する。

【0076】

[実施の形態]
以下では、本発明を実施するための形態の一例について、図面を参酌しながら説明する。

【0077】

なお、以下の説明で用いる形態は、本発明の構成および作用・効果を分かりやすく説明するために用いる例であって、本発明は、その本質的な特徴部分以外に何ら以下の形態に限定を受けるものではない。

【0078】

（本発明に係る実施の形態を得るに至った経緯）
本発明者は、［背景技術］において記載した有機発光パネルおよびこれを備える有機表示装置に関し、鋭意研究の結果、次のような知見を得た。

【0079】

通常、図２３（ａ）に示すように、基板９０１の上に、アノード電極９０２およびこれを覆う電極被覆層９０３が、サブピクセル９００ａ，９００ｂ，９００ｃ毎に設けられている。そして、電極被覆層９０２および基板９０１の表面を覆うように、ホール注入層９０４が形成され、ホール注入層９０４の上に、サブピクセル９００ａ，９００ｂ，９００ｃ毎に発光色が異なる有機発光層９０６ａ，９０６ｂ，９０６ｃが積層形成されている。有機発光層９０６ａ，９０６ｂ，９０６ｃは、ホール注入層９０４の上に立設されたバンク９０５ａ〜９０５ｄにより区画されている。

【0080】

図２３（ａ）に示すように、従来技術に係る有機発光パネルでは、配列順で中央部に配されているサブピクセル９００ｂの有機発光層９０６ｂが、膜厚に偏りを生じてしまうことがある。具体的には、有機発光層９０６ｂのバンク９０５ｃでの箇所Ｃ₃の高さが、バンク９０５ｂでの箇所Ｃ₂の高さ、およびサブピクセル９００ａにおける有機発光層９０６ａのバンク９０５ｂ側での箇所Ｃ₁の高さよりも、高くなるという現象が生じる。

【0081】

また、別の例として、図２３（ｂ）に示すように、サブピクセル９５０ｂ，９５０ｃにおける各有機発光層９５６ｂ，９５６ｃのバンク９５５ｃ，９５５ｄ側のそれぞれの箇所Ｃ₁₂，Ｃ₁₄の高さが、各有機発光層９５６ｂ，９５６ｃのバンク９５５ｂ，９５５ｃ側のそれぞれの箇所Ｃ₁₁，Ｃ₁₃の高さよりも高くなるという現象が生じる。なお、図２３（ｂ）に示すように、サブピクセル９５０ａにおける有機発光層９５６ａは、バンク９５５ａ側の箇所の高さとバンク９５５ｂ側の箇所の高さとが略等しく、膜厚に大きな偏りを生じていない。

【0082】

上記現象に関し、本発明者は検討を重ねた末、有機発光層における膜厚の均一性の低下は、以下に説明するように、インク乾燥時における蒸気濃度分布の不均一に起因するものと推定した。具体的には、図２４（ａ）に示すように、バンク９０５ｂとバンク９０５ｃとの間に規定される領域に、有機発光層形成のためのインク９０６０ｂを塗布した状態を想定し、その際の蒸気濃度分布が、二点鎖線で示すように、図２４（ａ）の左側に比べて右側で低いとしたときに、次のような関係で有機発光層の膜厚に偏りを生じると考えられる。

【0083】

図２４（ａ）に示すように、インク９０６０ｂの滴下直後において、インク９０６０ｂの表面プロファイルＬ₉₀は、サブピクセルの中央部分が盛り上がった形状となっている。これを乾燥させる場合には、上記のような蒸気濃度の分布に起因して、蒸気濃度の低い側で蒸発速度が速く、蒸気濃度の高い側で遅くなるので、表面プロファイルＬ₉₁へと変化すると形式的には考えられる。

【0084】

しかし、図２４（ｂ）に示すように、乾燥途中のインク９０６１ｂの内部では、破線矢印Ｌ₉₂で示すような溶剤の移動を生じる。これは、蒸発した分を補うように溶剤が移動する（表面自由エネルギを最小にするように移動する）ものであり、溶剤の移動に伴い溶質（有機発光材料）も移動する。このため、図２４（ｃ）に示すように、蒸気濃度分布に偏りを有する場合には、表面プロファイルＬ₉₃が右側ほど盛り上がった有機発光層９０６ｂが形成されることになる。

【0085】

以上のようにして、本発明者は、有機発光パネルに関し、インク乾燥時の蒸気濃度分布の不均一に起因し、形成された有機発光層の膜厚の均一性が低下するという推論を得た。

【0086】

そして、本発明者は、パネル面内において、バンクにおける面部の傾斜角度を異ならせることにより、インクのバンク側面部におけるピンニング位置を異ならせ、この結果、有機発光層の膜厚の均一化を図るという技術的特徴を見出した。

【0087】

［実施の形態１］
１．表示装置１の概略構成
本実施の形態に係る表示装置１の全体構成について、図１を用い説明する。

【0088】

図１に示すように、表示装置（有機表示装置）１は、表示パネル（有機発光パネル）部１０と、これに接続された駆動制御部２０とを有し構成されている。表示パネル部１０は、有機材料の電界発光現象を利用した有機発光パネルであり、複数の画素部がＸ−Ｙ面方向に２次元配列されている。

【0089】

また、駆動制御部２０は、４つの駆動回路２１〜２４と制御回路２５とから構成されている。

【0090】

なお、実際の表示装置１では、表示パネル部１０に対する駆動制御部２０の配置については、これに限られない。

【0091】

２．表示パネル１０の構成
表示パネル１０の構成について、図２を用い説明する。なお、本実施の形態に係る表示パネル１０は、一例として、トップエミッション型の有機発光パネルを採用し、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れか発光色を有する有機発光層を備える複数の画素部がマトリクス状に配置され構成されているが、図２では、一の画素部における一つのサブピクセル１００を抜き出して描いている。

【0092】

図２に示すように、表示パネル１０は、ＴＦＴ基板（以下では、単に「基板」と記載する。）１０１上には、アノード電極１０２が形成されており、アノード電極１０２上に、電極被覆層１０３およびホール注入輸送層１０４が順に積層形成されている。なお、アノード電極１０２および電極被覆層１０３は、サブピクセル１００毎に分離された状態で形成されている。

【0093】

ホール注入輸送層１０４の上には、絶縁材料からなり、サブピクセル１００同士の間を区画するバンク（隔壁）１０５が立設されている。各サブピクセル１００におけるバンク１０５で区画された領域には、有機発光層１０６が形成され、その上には、電子注入層１０７、カソード電極１０８、および封止層１０９が、順に積層形成されている。

【0094】

ａ）基板１０１
基板１０１は、例えば、無アルカリガラス、ソーダガラス、無蛍光ガラス、燐酸系ガラス、硼酸系ガラス、石英、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリエチレン、ポリエステル、シリコーン系樹脂、又はアルミナ等の絶縁性材料をベースとして形成されている。そして、基板１０１には、図示を省略しているが、ＴＦＴ層およびパッシベーション膜、さらには、層間絶縁膜などが積層形成されている。

【0095】

ｂ）アノード電極１０２
アノード電極１０２は、導電性材料からなる単層、あるいは複数の層が積層されてなる積層体から構成されており、例えば、Ａｌ（アルミニウム）やこれを含む合金、Ａｇ（銀）、ＡＰＣ（銀、パラジウム、銅の合金）、ＡＲＡ（銀、ルビジウム、金の合金）、ＭｏＣｒ（モリブデンとクロムの合金）、ＮｉＣｒ（ニッケルとクロムの合金）などを用い形成されている。なお、本実施の形態のように、トップエミッション型の場合には、高反射性の材料で形成されていることが好ましい。

【0096】

ｃ）電極被覆層１０３
電極被覆層１０３は、例えば、ＩＴＯ（酸化インジウムスズ）を用い形成されており、アノード電極１０２のＺ軸方向上部の表面の少なくとも一部を被覆する。

【0097】

ｄ）ホール注入輸送層１０４
ホール注入輸送層１０４は、例えば、銀（Ａｇ）、モリブデン（Ｍｏ）、クロム（Ｃｒ）、バナジウム（Ｖ）、タングステン（Ｗ）、ニッケル（Ｎｉ）、イリジウム（Ｉｒ）などの酸化物、あるいは、ＰＥＤＯＴ（ポリチオフェンとポリスチレンスルホン酸との混合物）などの導電性ポリマー材料からなる層である。上記の内、酸化金属からなるホール注入輸送層１０４は、ホールを安定的に、またはホールの生成を補助して、有機発光層１０６に対しホールを注入および輸送する機能を有し、大きな仕事関数を有する。

【0098】

ここで、ホール注入輸送層１０４を遷移金属の酸化物から構成する場合には、複数の酸化数をとるためこれにより複数の準位をとることができ、その結果、ホール注入が容易になり駆動電圧を低減することができる。

【0099】

ｅ）バンク１０５
バンク（隔壁）１０５は、樹脂等の有機材料で形成されており絶縁性を有する。バンク１０５の形成に用いる有機材料の例としては、アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ノボラック型フェノール樹脂等があげられる。そして、バンク１０５は、有機溶剤耐性を有することが好ましい。

【0100】

さらに、バンク１０５の形成においては、エッチング処理およびベーク処理などが施されるので、それらの処理に対して過度に変形、変質などをしないような耐性の高い材料で形成されることが好ましい。また、撥水性をもたせるために、側面部をフッ素処理することもできる。

【0101】

なお、バンク１０５の形成に用いる絶縁材料については、上記の各材料をはじめ、特に抵抗率が１０⁵［Ω・ｃｍ］以上であって、撥水性を有する材料を用いることができる。これは、抵抗率が１０⁵［Ω・ｃｍ］以下の材料を用いた場合には、アノード電極１０２とカソード電極１０８との間でのリーク電流、あるいは隣接サブピクセル１００間でのリーク電流の発生の原因となり、消費電力の増加などの種々の問題を生じることになるためである。

【0102】

また、バンク１０５を親水性の材料を用い形成した場合には、バンク１０５の側面部とホール注入輸送層１０４の表面との親液性／撥液性の差異が小さくなり、有機発光層１０６を形成するために有機物質を含んだインクを、バンク１０５の開口部に選択的に保持させることが困難となってしまうためである。

【0103】

さらに、バンク１０５の構造については、図２に示すような一層構造だけでなく、二層以上の多層構造を採用することもできる。この場合には、層毎に上記材料を組み合わせることもできるし、層毎に無機材料と有機材料とを用いることもできる。

【0104】

ｆ）有機発光層１０６
有機発光層１０６は、アノード電極１０２から注入されたホールと、カソード電極１０８から注入された電子とが再結合されることにより励起状態が生成され発光する機能を有する。有機発光層１０６の形成に用いる材料は、湿式印刷法を用い製膜できる発光性の有機材料を用いることが必要である。

【0105】

具体的には、例えば、特許公開公報（特開平５−１６３４８８号公報）に記載のオキシノイド化合物、ペリレン化合物、クマリン化合物、アザクマリン化合物、オキサゾール化合物、オキサジアゾール化合物、ペリノン化合物、ピロロピロール化合物、ナフタレン化合物、アントラセン化合物、フルオレン化合物、フルオランテン化合物、テトラセン化合物、ピレン化合物、コロネン化合物、キノロン化合物及びアザキノロン化合物、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、ローダミン化合物、クリセン化合物、フェナントレン化合物、シクロペンタジエン化合物、スチルベン化合物、ジフェニルキノン化合物、スチリル化合物、ブタジエン化合物、ジシアノメチレンピラン化合物、ジシアノメチレンチオピラン化合物、フルオレセイン化合物、ピリリウム化合物、チアピリリウム化合物、セレナピリリウム化合物、テルロピリリウム化合物、芳香族アルダジエン化合物、オリゴフェニレン化合物、チオキサンテン化合物、アンスラセン化合物、シアニン化合物、アクリジン化合物、８−ヒドロキシキノリン化合物の金属錯体、２−ビピリジン化合物の金属錯体、シッフ塩とＩＩＩ族金属との錯体、オキシン金属錯体、希土類錯体などの蛍光物質で形成されることが好ましい。

【0106】

ｇ）電子注入層１０７
電子注入層１０７は、カソード電極１０８から注入された電子を有機発光層１０６へ輸送する機能を有し、例えば、バリウム、フタロシアニン、フッ化リチウム、あるいはこれらの組み合わせで形成されることが好ましい。

【0107】

ｈ）カソード電極１０８
カソード電極１０８は、例えば、ＩＴＯ、ＩＺＯ（酸化インジウム亜鉛）などで形成される。トップエミッション型の表示パネル１０の場合においては、光透過性の材料で形成されることが好ましい。光透過性については、透過率が８０［％］以上とすることが好ましい。

【0108】

カソード電極１０８の形成に用いる材料としては、上記の他に、例えば、アルカリ金属、アルカリ土類金属、またはそれらのハロゲン化物を含む層と銀を含む層とをこの順で積層した構造を用いることもできる。上記において、銀を含む層は、銀単独で形成されていてもよいし、銀合金で形成されていてもよい。また、光取出し効率の向上を図るためには、当該銀を含む層の上から透明度の高い屈折率調整層を設けることもできる。

【0109】

ｉ）封止層１０９
封止層１０９は、有機発光層１０６などが水分に晒されたり、空気に晒されたりすることを抑制する機能を有し、例えば、ＳｉＮ（窒化シリコン）、ＳｉＯＮ（酸窒化シリコン）などの材料を用い形成される。トップエミッション型の表示パネル１０の場合においては、光透過性の材料で形成されることが好ましい。

【0110】

３．バンク１０５の構成
図３に示すように、本実施の形態に係る表示パネル１０では、一例としてライン状のバンク１０５を採用している。具体的には、バンク１０５は、各々がＹ軸方向に延伸形成され、Ｘ軸方向において隣接する画素部１００間を区画している。そして、サブピクセル１００は、バンク１０５により区画された領域ごとに、発光色が異なるように形成されており、例えば、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の各発光色の３つのサブピクセルの組み合わせを以って、一つの画素部が構成されている。

【0111】

４．領域ごとのバンク１０５の構成
領域ごとのバンク１０５の構成について、図４を用い説明する。なお、図４は、図１における表示パネル１０をＡ−Ａ'断面で切断し、その一部を模式化した断面端面図である。

【0112】

図４に示すように、画素部において、Ｘ軸方向左側から順に、サブピクセル１００ａ、サブピクセル１００ｂ、サブピクセル１００ｃが連続して配置されている。なお、本実施の形態に係る表示パネル１０では、画素部と画素部とが連続して隣り合うように配されている。

【0113】

サブピクセル１００ａは、バンク１０５ａとバンク１０５ｂとにより規定され、サブピクセル１００ｂは、バンク１０５ｂとバンク１０５ｃとにより規定され、サブピクセル１００ｃは、バンク１０５ｂとバンク１０５ｄとにより規定されている。バンク１０５ａ，１０５ｂ，１０５ｃ，１０５ｄの各々では、その面部１０５ａａ，１０５ｂａ，１０５ｂｂ，１０５ｃｂ，１０５ｃｃ，１０５ｄｃと下地層であるホール注入輸送層１０４の表面とが、それぞれ角度θａａ，θｂａ，θｂｂ，θｃｂ，θｃｃ，θｄｃをなす。

【0114】

ここで、本実施の形態において、角度θａａ，θｂａ，θｂｂ，θｃｂ，θｃｃ，θｄｃは、次の各式で示す関係を満足する。

【0115】

[数１] θｃｂ＞θａａ＝θｂａ＝θｂｂ＝θｃｃ＝θｄｃ
なお、本実施の形態では、それぞれの角度θａａ，θｂａ，θｂｂ，θｃｂ，θｃｃ，θｄｃを、上記［数１]の関係を満たし、且つ、次のような範囲で設定することが望ましい。

【0116】

［数２］ ２５［°］＜θａａ＝θｂａ＝θｂｂ＝θｃｃ＝θｄｃ＜３５［°］
［数３］ ３５［°］＜θｃｂ＜４５［°］
５．バンク１０５における側面部の傾斜角度θと有機発光層１０６の膜厚との関係
バンク１０５における面部の傾斜角度θと有機発光層１０６の膜厚との関係について、図５および図６を用い説明する。なお、図５では、一つのサブピクセルの構造を模式的に描いている。

【0117】

図５（ａ）に示すように、バンク１０５ｘの面部の傾斜角度（バンク１０５ｘの面部とホール注入輸送層１０４の表面とがなす角度）が角度θｘであり、図５（ｂ）に示すように、バンク１０５ｙの面部の傾斜角度（バンク１０５ｙの面部とホール注入輸送層１０４の表面とがなす角度）が角度θｙである。角度θｘと角度θｙとは、次の関係を満たす。

【0118】

［数４］ θｙ＞θｘ
各バンク１０５ｘ，１０５ｙで区画された開口部に有機発光材料を含むインク１０６０ｘ，１０６０ｙを滴下（塗布）すると、各ピンニング位置Ｐｘ，Ｐｙの高さＨｘ，Ｈｙが次のような関係となる。

【0119】

［数５］ Ｈｙ＞Ｈｘ
図５（ｃ）に示すように、インク１０６０ｘを乾燥させると、ピンニング位置Ｐｘの高さＨｘが相対的に低いことに起因して、形成される有機発光層１０６ｘでは、サブピクセルの中央部分が盛り上がり、その膜厚が厚みＴｘとなる。

【0120】

一方、図５（ｄ）に示すように、インク１０６０ｙを乾燥させると、ピンニング位置Ｐｙの高さＨｙが相対的に高いことに起因して、形成される有機発光層１０６ｙでは、サブピクセルの中央部分が凹み、その膜厚が厚みＴｙとなる。

【0121】

厚みＴｘと厚みＴｙとは、次の関係を満たす。

【0122】

［数６］ Ｔｘ＞Ｔｙ
上記の関係を図６に纏めて示す。図６に示すように、バンク１０５の面部における傾斜角度（テーパ角）θを小さくすれば、ピンニング位置の高さＨが低くなり、結果的に得られる有機発光層１０６の膜厚Ｔが厚くなる。逆に、バンク１０５の面部における傾斜角度（テーパ角）θを大きくすれば、ピンニング位置の高さＨが高くなり、結果的に得られる有機発光層１０６の膜厚Ｔが薄くなる。

【0123】

以上の事項について、５つのサンプルを作成して評価した。結果を図７および図８に示す。

【0124】

図７および図８に示すように、サンプル２の膜厚分布に対し、テーパ角を大きくしたサンプル３およびサンプル４では、ピンニング位置が高くなっている。なお、図７および図８では、横軸が横方向を示し、縦軸が高さ方向を示す。

【0125】

ただし、バンクの面部におけるテーパ角（傾斜角度）を５０［°］まで大きくしたサンプル５では、サンプル２よりも膜厚の均一性が低下した。

【0126】

６．表示パネル１０の製造方法
本実施の形態に係る表示パネル１０の製造方法について、図９、図１０および図１１を用い、特徴となる部分を説明する。なお、以下で説明を省略する製造工程については、従来技術として提案されている種々の工程を採用することが可能である。

【0127】

先ず、図９（ａ）に示すように、基板１０１におけるＺ軸方向上面に、各サブピクセル予定領域１０００ａ，１０００ｂ，１０００ｃに対応して、アノード電極１０２と電極被覆層１０３とを順に積層形成する。そして、その上から、表面全体を覆うように、ホール注入輸送層１０４を積層形成する。アノード電極１０２の形成は、例えば、スパッタリング法や真空蒸着法を用いＡｌ若しくはその合金からなる薄膜、あるいは、Ａｇ薄膜を製膜した後、当該薄膜をフォトリソグラフィ法を用いパターニングすることによりなされる。

【0128】

また、電極被覆層１０３の形成は、例えば、アノード電極１０２の表面に対し、スパッタリング法などを用いＩＴＯ薄膜を製膜し、当該ＩＴＯ薄膜をフォトリソグラフィ法などを用いパターニングすることでなされる。そして、ホール注入輸送層１０４の形成では、先ず、電極被覆層１０３の表面を含む基板１０１の表面に対し、スパッタリング法などを用い金属膜を製膜する。その後、形成された金属膜を酸化し、ホール注入輸送層１０４が形成される。

【0129】

次に、図９（ｂ）に示すように、例えば、スピンコート法などを用い、ホール注入輸送層１０４の上を覆うように、バンク材料層１０５０を形成する。バンク材料層１０５０の形成には、感光性レジスト材料を用い、具体的には、上述のように、アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ノボラック型フェノール樹脂などの絶縁性を有する有機材料を用いることができる。

【0130】

次に、図９（ｃ）に示すように、バンク材料層１０５０の上方に、バンクを形成しようとする箇所に開口５０１ａ，５０１ｂ，５０１ｃ，５０１ｄが設けられたマスク５０１を配する。この状態でマスク５０１の開口５０１ａ，５０１ｂ，５０１ｃ，５０１ｄを通して、露光を実行する。

【0131】

なお、図９（ｃ）に示すように、サブピクセル予定領域１０００ａに対して左側に位置するマスク５０１の開口５０１ａは、その幅Ｗａが、形成しようとするバンク１０５ａの面部１０５ａａ，・・（図４を参照）の下端のポイントＰａ１，Ｐａ２により規定されている。

【0132】

一方、サブピクセル１０００ｂとサブピクセル１０００ｃとの間に位置するマスク５０１の開口５０１ｃは、その幅Ｗｃ１が、形成しようとするバンク１０５ｃの面部１０５ｃｂ（図４を参照）の上端のポイントＰｃ１と面部１０５ｃｃ（図４を参照）の裾部分のポイントＰｃ２とにより規定されている。

【0133】

次に、図１０（ａ）に示すように、バンク材料層１０５０の上方に、バンク１０５ｃの面部１０５ｃｂ（図４を参照）に対応する箇所に開口５０２ｃが設けられたマスク５０２を配する。そして、この状態でマスク５０２の開口５０２ｃを通して、２回目の露光を実行する。

【0134】

なお、図１０（ａ）に示すように、マスク５０２における開口５０２ｃの幅Ｗｃ２は、形成しようとするバンク１０５ｃの面部１０５ｃｂの下端のポイントＰｃ３と上端のポイントＰｃ１とにより規定されている。

【0135】

次に、図１０（ｂ）に示すように、現像およびベークを施すことによって、バンク１０５ａ，１０５ｂ，１０５ｃ，１０５ｄが形成される。バンク１０５ｃにおけるサブピクセル予定領域１０００ｂ側の面部１０５ｃｂは、上述のように、バンク１０５ａ，１０５ｂ、１０５ｄの各面部１０５ａａ，１０５ｂａ，１０５ｂｂ，１０５ｄｃおよびバンク１０５ｃのサブピクセル予定領域１０００ｃ側の面部１０５ｃｃよりも傾斜角度が大きくなる。

【0136】

その後、図１０（ｃ）に示すように、インクジェット法などを用い、バンク１０５ａとバンク１０５ｂで区画された開口部（サブピクセル予定領域１０００ａ）に対し、有機発光材料を含むインク１０６０ａを塗布する。

【0137】

続いて、図１１（ａ）に示すように、同じくインクジェット法などを用い、バンク１０５ｂとバンク１０５ｃで区画された開口部（サブピクセル予定領域１０００ｂ）に対し、有機発光材料を含むインク１０６０ｂを塗布する。ここで、上述のように、バンク１０５ｃにおける面部１０５ｃｂの傾斜角度を、他の面部の傾斜角度よりも大きくしているので、バンク１０５ｃの面部１０５ｃｂに対するインク１０６０ｂのピンニング位置Ｑｃｂは、他のピンニング位置Ｑａａ，Ｑｂａ，Ｑｂｂよりも高い位置となる。

【0138】

そして、図１１（ｂ）に示すように、同じくインクジェット法などを用い、バンク１０５ｃとバンク１０５ｄで区画された開口部（サブピクセル予定領域１０００ｃ）に対し、有機発光材料を含むインク１０６０ｃを塗布する。ここで、バンク１０５ｄの右側に隣接するサブピクセル予定領域には、隣の画素部におけるサブピクセル予定領域へのインク塗布がすでになされているので、インク１０６０ｃについては、Ｘ軸方向において、両側での蒸気濃度に差異がなく、バンクの面部の傾斜角度の調整をしなくても、有機発光層の膜厚に偏りを生じない。これは、上述より明らかである。

【0139】

なお、図示を省略しているが、この後に、インクの乾燥を実行し、その後、電子注入層１０７，カソード電極１０８および封止層１０９などを順に積層形成することで表示パネル１０が形成される。

【0140】

７．インクの塗布工程と乾燥工程
インクの塗布工程と乾燥工程との関係について、図１２を用い説明する。

【0141】

図１２（ａ）に示すように、本実施の形態では、赤色インク（インク１０６０ａ）を塗布し（ステップＳ１）、続いて、緑色インク（インク１０６０ｂ）を塗布（ステップＳ２）、青色インク（インク１０６０ｃ）を塗布（ステップＳ３）した後、纏めてインク乾燥工程（ステップＳ４）を実行することとした。

【0142】

これに対して、図１２（ｂ）に示すように、赤色インク（インク１０６０ａ）の塗布（ステップＳ１１）とその乾燥（ステップＳ１２）とを実行し、続いて、緑色インク（インク１０６０ｂ）の塗布（ステップＳ２１）とその乾燥（ステップＳ２２）の実行、および青色インク（インク１０６０ｃ）の塗布（ステップＳ３１）とその乾燥（ステップＳ３２）の実行を順次行うこととすることもできる。この場合においても、バンク１０５ａ，１０５ｂ，１０５ｃ，１０５ｄの各面部１０５ａａ，１０５ｂａ，１０５ｂｂ，１０５ｃｂ，１０５ｃｃ，１０５ｄｃの各傾斜角度の関係は上記同様とすることができる。この場合にも、形成された有機発光層１０６の膜厚の偏りを抑えることができる。

【0143】

８．効果
図４に示すように、本実施の形態に係る表示装置１の表示パネル１０では、バンク１０５ｃにおけるサブピクセル１００ｃ側の面部１０５ｃｂの傾斜角度θｃｂが、他の面部１０５ａａ，１０５ｂａ，１０５ｂｂ，１０５ｃｃ，１０５ｄｃの各傾斜角度θａａ，θｂａ，θｂｂ，θｃｃ，θｄｃ大きく設定されている。このため、図１１（ａ）に示すように、サブピクセル予定領域１０００ｂにインク１０６０ｂを塗布した際に、そのピンニング位置Ｑｃｂが、他のピンニング位置Ｑａａ，Ｑｂａ，Ｑｂｂよりも高くなる。

【0144】

逆に、面部１０５ａａ，１０５ｂａ，１０５ｂｂ，１０５ｃｃ，１０５ｄｃの各傾斜角度θａａ，θｂａ，θｂｂ，θｃｃ，θｄｃは、互いに等しくなっている。

【0145】

従って、表示パネル１０では、乾燥後における有機発光層１０６の膜厚が、サブピクセル１００ａ，１００ｂ，１００ｃで均一となり、輝度ムラが小さいという効果を有する。

【0146】

なお、図９、図１０および図１１を用い説明した本実施の形態に係る表示装置１の製造方法を用いれば、上記効果を有する表示装置１の製造が可能である。

【0147】

また、上記のように、「等しく」とは、数値面で完全に等しくするということを意味するのではなく、表示装置１の製造における寸法誤差などを考慮したものである。具体的には、表示パネル１０において、それぞれに属するサブピクセル１００ａ，１００ｂ，１００ｃの発光効率の差異（輝度ムラ）が実用上許容できる範囲で、傾斜角度を等しくするということを意味する。

【0148】

［変形例１］
次に、図１３を用い、表示装置１の製造方法の変形例１について説明する。図１３は、図９（ｃ）から図１０（ａ）に示す工程に対応する工程を示す。

【0149】

図１３に示すように、ホール注入輸送層１０４の上にバンク材料層１０５０を積層形成した後、その上方にマスク５０３を配する。マスク５０３には、光透過部５０３ａ，５０３ｂ，５０３ｃ１，５０３ｃ２，５０３ｄが設けられている。各光透過部５０３ａ，５０３ｂ，５０３ｃ１，５０３ｃ２，５０３ｄは、バンク１０５ａ，１０５ｂ，１０５ｃ，１０５ｄを形成しようとする箇所に対応して設けられている。

【0150】

本変形例１に係る表示装置１の製造方法では、サブピクセル予定領域１０００ａの左側に対応した領域の光透過部５０３ａの幅Ｗａが、形成しようとするバンク１０５ａの面部１０５ａａ，・・（図４を参照。）の下端のポイントＰａ１，Ｐａ２により規定されている。

【0151】

一方、サブピクセル１０００ｂとサブピクセル１０００ｃとの間に対応した領域の光透過部５０３ｃ１の幅Ｗｃ２は、形成しようとするバンク１０５ｃ（図４を参照。）の下端のポイントＰｃ２および上端のポイントＰｃ１により規定されている。また、光透過部５０３ｃ２は、形成しようとするバンク１０５ｃの面部１０５ｃｂ（図４を参照。）の上端および下端のポイントＰｃ３，Ｐｃ１により規定されている。

【0152】

ここで、マスク５０３は、ハーフトーンなどのマスクを用い構成されており、光透過部５０３ａ，５０３ｂ，５０３ｃ１，５０３ｄと光透過部５０３ｃ２との光の透過率が異なっている。具体的には、光透過部５０３ｃ２の光の透過率は、光透過部５０３ａ，５０３ｂ，５０３ｃ１，５０３ｄの光の透過率よりも大きい。

【0153】

以上のような構成を有するマスク５０３を配した状態で、露光・現像を実行した後、ベークすることにより、図１０（ｂ）に示すような、バンク１０５ａ，１０５ｂ，１０５ｃ，１０５ｄを形成することができる。即ち、光の透過率が大きく設定された光透過部５０３ｃ２を通して露光された箇所では、他の光透過部５０３ａ，５０３ｂ，５０３ｃ１，５０３ｄを通して露光された箇所よりも、上記［数１］で示す関係のように、側壁面の傾斜角度が大きくなる。

【0154】

なお、この後の工程は、上記実施の形態などと同様である。

【0155】

以上のような製造方法によっても、表示装置１を製造することができる。

【0156】

［変形例２］
次に、図１４および図１５を用い、表示装置１の製造方法の変形例２について説明する。図１４および図１５は、図９（ｃ）から図１０（ｂ）に示す工程に対応する工程を示す。

【0157】

図１４（ａ）に示すように、ホール注入輸送層１０４の上にバンク材料層１０５０を積層形成した後、その上方にマスク５０４を配する。マスク５０４には、バンク１０５を形成しようとする各箇所に対応して、開口５０４ａ，５０４ｃ，５０４ｄが設けられている。

【0158】

開口５０４ａ，５０４ｂ，５０４ｄは、上記実施の形態の製造方法で用いたマスク５０１の開口５０１ａと同じ幅を以って形成されている。

【0159】

一方、サブピクセル予定領域１０００ｂとサブピクセル予定領域１０００ｃとの間に形成しようとするバンク１０５ｃ（図４を参照。）を形成しようとする箇所に設けられた開口５０４ｃの幅Ｗｃ３は、図１４（ａ）の二点鎖線で囲んだ部分に示すように、バンク１０５ｃの面部１０５ｃｂ（図４を参照）の上端および下端のポイントＰｃ２，Ｐｃ３で規定される幅よりも大きくなるように設定されている。具体的には、傾斜角度を大きくしようとする箇所で、幅を大きくしている。

【0160】

図１４（ａ）に示す形態のマスク５０４を配した状態で、１回目の露光・現像を実行する。これにより、図１４（ｂ）に示すように、開口５０４ａ，５０４ｂ，５０４ｃ，５０４ｄのそれぞれに対応する箇所にバンク材料層１０５１ａ，１０５１ｂ，１０５１ｃ，１０５１ｄが残る。

【0161】

なお、図１４（ｂ）に示すように、１回目の露光・現像を実行した状態では、バンク材料層１０５１ａ，１０５１ｂ，１０５１ｃ，１０５１ｄの各面部の傾斜角度は、均一である。また、本変形例２においては、この時点でのベークを行わない。

【0162】

図１５（ａ）に示すように、バンク材料層１０５１ａ，１０５１ｂ，１０５１ｃ，１０５１ｄが形成された状態で、その上方に、マスク５０５を配する。マスク５０５には、形成しようとするバンク１０５ａ，１０５ｂ，１０５ｃ，１０５ｄの面部に対応する箇所の内、傾斜角度を大きくしようとする箇所（バンク１０５ｃの面部１０５ｃｂ）にだけ開口５０５ｃが設けられている。

【0163】

マスク５０５を配した状態で、２回目の露光・現像を行った後、ベークをすることにより、図１５（ｂ）に示すようなバンク１０５ａ，１０５ｂ，１０５ｃ，１０５ｄが形成できる。

【0164】

この後、上記実施の形態などと同様の工程を実行することにより、表示装置１を製造することができる。

【0165】

［製造方法の検証］
上記実施の形態および変形例１，２に係る各製造方法について、具体例を以って形成後のバンク形状について検証を行った。その結果について、図１６を用い説明する。

【0166】

図１６（ａ）に示すように、露光量を増やすほど、形成されるバンク側面部の傾斜角度が大きくなる。具体的には、露光量を２００［ｍＪ］として露光・現像した場合に形成されるバンク側面部の傾斜角度は、２３［°］であるのに対して、露光量を３００［ｍＪ］として露光・現像した場合に形成されるバンク側面部の傾斜角度は、３８［°］である。この結果については、図１６（ｂ）に示すＡＦＭ（Ａｔｏｍｉｃ Ｆｏｒｃｅ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）にも示されている。

【0167】

さらに、図１６（ａ）および図１６（ｂ）に示すように、露光量を２００［ｍＪ］として１回目の露光・現像を行った後、露光量を１００［ｍＪ］として２回目の露光・現像を行った場合には、形成されるバンク側面部の傾斜角度が５０［°］となる。これは、上記変形例２に係る製造方法に対応するものであり、バンク側面部の傾斜角度を大きくするのに有効であると考えられる。

【0168】

なお、図１６（ｂ）において、横軸は横方向を示し、縦軸は高さ方向を示す。

【0169】

［実施の形態２］
実施の形態２に係る表示装置の構成について、図１７および図１８を用い説明する。

【0170】

１．表示パネル３０の構成
図１７に示すように、表示パネル３０は、上記実施の形態１に係る表示パネル１０と同様に、ＴＦＴ基板（以下では、単に「基板」と記載する。）１０１上に、サブピクセル３００ａ，３００ｂ，３００ｃの各々に対応して、アノード電極１０２が形成されており、アノード電極１０２上に、電極被覆層１０３およびホール注入輸送層１０４が順に積層形成されている。

【0171】

ホール注入輸送層１０４の上には、絶縁材料からなり、サブピクセル３００ａ，３００ｂ，３００ｃをそれぞれ規定するバンク３０５ａ，３０５ｂ，３０５ｃ，３０５ｄが立設されている。なお、各サブピクセル３００ａ，３００ｂ，３００ｃにおけるバンク３０５ａ，３０５ｂ，３０５ｃ，３０５ｄで区画された領域には、有機発光層、電子注入層、カソード電極、および封止層が、順に積層形成されている（図１７では、図示を省略）。

【0172】

本実施の形態に係る表示パネル３０では、サブピクセル３００ａ，３００ｂ，３００ｃの組み合わせを以って一の画素部が構成されている点は、上記実施の形態１に係る表示パネル１０と同じであるが、本実施の形態に係る表示パネル３０では、隣り合う画素部と画素部との間に非画素部３００ｄ，３００ｅが設けられている。

【0173】

具体的には、図１７に示すように、非画素部３００ｄ，３００ｅでは、アノード電極１０２と同じ材料から構成された電極（バスバー）３０２と、これを被覆する電極被覆層３０３が設けられている。そして、電極被覆層３０３の上には、ホール注入輸送層１０４が延設されており、図示を省略しているが、この上にカソード電極１０８が形成されて、電極３０２とカソード電極１０８が電気的に接続される。なお、非画素部３００ｄ，３００ｅでは、有機発光層１０６は形成されない。このような構成をとることにより、ＩＴＯなどからなるカソード電極１０８の電気抵抗の低減を図ることができ、電圧降下を抑えることが可能となる。

【0174】

図１７に示すように、本実施の形態に係る表示パネル３０では、バンク３０５ａ，３０５ｂ，３０５ｃ，３０５ｄの各々の面部３０５ａａ，３０５ｂａ，３０５ｂｂ，３０５ｃｂ，３０５ｃｃ，３０５ｄｃと下地層であるホール注入輸送層１０４の表面とが、それぞれ角度θ３ａａ，θ３ｂａ，θ３ｂｂ，θ３ｃｂ，θ３ｃｃ，θ３ｄｃをなす。

【0175】

ここで、本実施の形態において、角度θ３ａａ，θ３ｂａ，θ３ｂｂ，θ３ｃｂ，θ３ｃｃ，θ３ｄｃは、次の各式で示す関係を満足する。

【0176】

[数７] θ３ｃｂ＞θ３ａａ＝θ３ｂａ＝θ３ｂｂ＝θ３ｃｃ
［数８］ θ３ｄｃ＞θ３ａａ＝θ３ｂａ＝θ３ｂｂ＝θ３ｃｃ
なお、本実施の形態では、それぞれの角度θ３ａａ，θ３ｂａ，θ３ｂｂ，θ３ｃｂ，θ３ｃｃ，θ３ｄｃを次のような範囲で設定することが望ましい。

【0177】

［数９］ ２５［°］＜θ３ａａ＝θ３ｂａ＝θ３ｂｂ＝θ３ｃｃ＜３５［°］
［数１０］ ３５［°］＜θ３ｃｂ＜４５［°］
［数１１］ ３５［°］＜θ３ｄｃ＜４５［°］
上記［数７］、［数８］、［数９］、［数１０］、［数１１］の関係でバンク３０５ａ，３０５ｂ，３０５ｃ，３０５ｄの各々の面部３０５ａａ，３０５ｂａ，３０５ｂｂ，３０５ｃｂ，３０５ｃｃ，３０５ｄｃの傾斜角度θ３ａａ，θ３ｂａ，θ３ｂｂ，θ３ｃｂ，θ３ｃｃ，θ３ｄｃを規定するのは、隣り合う画素部と画素部との間に非画素部３００ｄ，３００ｅを配することによるものである。これについて、インク３０６０ａ，３０６０ｂ，３０６０ｃの塗布との関係を交えながら次に説明する。

【0178】

２．表示パネル３０の製造方法
表示パネル３０の製造方法について、特徴となる工程を抜き出して、図１８を用い説明する。なお、図１８に示す工程以外の工程については、上記実施の形態１と同様である。

【0179】

図１８（ａ）に示すように、インクジェット法などを用い、バンク３０５ａとバンク３０５ｂで区画された開口部（サブピクセル予定領域３０００ａ）に対し、有機発光材料を含むインク３０６０ａを塗布する。インク３０６０ａの塗布時においては、バンク３０５ａの左側、およびバンク３０５ｂの右側にはインクが未塗布であるため、蒸気濃度の分布は略一様である。

【0180】

続いて、図１８（ｂ）に示すように、同じくインクジェット法などを用い、バンク３０５ｂとバンク３０５ｃで区画された開口部（サブピクセル予定領域３０００ｂ）に対し、有機発光材料を含むインク３０６０ｂを塗布する。ここで、上述のように、バンク３０５ｃにおける面部３０５ｃｂの傾斜角度θ３ｃｂ（図１７を参照）を、上記［数７］の関係を満足するように設定している（相対的に大きくしている）ので、バンク３０５ｃの面部３０５ｃｂに対するインク３０６０ｂのピンニング位置Ｑ３ｃｂは、他のピンニング位置Ｑ３ａａ，Ｑ３ｂａ，Ｑ３ｂｂよりも高い位置となる。

【0181】

そして、図１８（ｃ）に示すように、同じくインクジェット法などを用い、バンク３０５ｃとバンク３０５ｄで区画された開口部（サブピクセル予定領域３０００ｃ）に対し、有機発光材料を含むインク３０６０ｃを塗布する。ここで、本実施の形態では、サブピクセル予定領域３０００ｃの右側にインク塗布のなされない非画素部３０００ｄが存するため、サブピクセル３０００ｃの右側の蒸気濃度が、左側に比べて低くなる。このため、バンク３０５ｄについても、そのサブピクセル予定領域３０００ｃ側の面部３０５ｄｃの傾斜角度θ３ｄｃ（図１７を参照）を、バンク３０５ｃの面部３０５ｃｂの傾斜角度θ３ｃｄと同様に、上記［数７］、［数８］の関係を満足するようにしている（相対的に大きくしている）。これより、バンク３０５ｄの面部３０５ｄｃに対するインク３０６０ｃのピンニング位置Ｑ３ｄｃも、インク３０６０ｂのピンニング位置Ｑ３ｃｂと同様に、高くなる。

【0182】

なお、図示を省略しているが、この後に、インクの乾燥を実行し、その後、電子注入層，カソード電極および封止層などを順に積層形成することで表示パネル３０が形成される。

【0183】

以上のような構成を採用することにより、隣り合う画素部と画素部との間に非画素部３００ｄ，３００ｅが設けられる場合においても、全てのサブピクセル３００ａ，３００ｂ，３００ｃでの有機発光層の膜厚の偏りを抑えることができ、高い発光特性の表示パネル３０とすることができる。

【0184】

なお、本実施の形態で説明を省略した事項については、上記実施の形態1と同様の構成を採用することができる。

【0185】

［その他の事項］
先ず、上記実施の形態１，２および変形例１，２では、バンク１０５，１０５ａ〜１０５ｄ，１０５ｘ，１０５ｙ，３０５ａ〜３０５ｅの各面部が平面であると模式的に示したが、バンクの面部については、必ずしも平面でなくてもよい。例えば、図１９（ａ）に示すように、バンク６０５の場合には、ポイントＰ₆₁からポイントＰ₆₂までの間の面と、ポイントＰ₆₂からポイントＰ₆₃までの間の面とが、交差することになる。この場合、インク塗布時におけるピンニング位置Ｑｙ１は、ポイントＰ₆₂からポイントＰ₆₃までの間の面に存する。そして、ポイントＰ₆₂を通る仮想直線Ｌ₁を引いたときに形成される面部の傾斜角度θｙ２が、ピンニング位置との関係で重要となる。

【0186】

しかし、バンク６０５の形成においては、下地層であるホール注入輸送層１０４とバンク６０５のポイントＰ₆₁からポイントＰ₆₂までの間の面とがなす角度θｙ１を制御することにより、角度θｙ２も制御されることになるので、実質的に、傾斜角度θｙ１を制御することで、上記のような効果を得ることが可能である。即ち、図１９（ａ）に示す角度θｙ１に対して、ポイントＰ₇₁からポイントＰ₇₂までの間の面の角度θｙ１１が大きいバンク７０５を形成した場合には（図１９（ｂ））、図１９（ｂ）に示すように、ポイントＰ₇₂からポイントＰ₇₃までの間の面が仮想直線Ｌ₂に対してなす角度θｙ１２も、図１９（ａ）の角度θｙ２に対して大きくなる。

【0187】

次に、上記実施の形態１，２および変形例１，２では、表示パネル１０，３０における上記構成の適用領域を限定しなかったが、表示パネルにおける全領域に対して上記構成を適用することもできる氏、一部の領域に限定して上記構成を適用することもできる。図２０に示すように、表示パネル１０を、その面に沿った方向において、形式的に、中央部に配された領域１０ａと、その周辺に配された領域１０ｂとに区分けすることができる。ここで、領域１０ａは、アノード電極がその下部に形成されたＴＦＴ層のソース電極またはドレイン電極に接続されており、発光に寄与する領域であり、対して、領域１０ｂは、アノード電極がその下部に形成されたＴＦＴ層のソース電極およびレイン電極の何れにも接続されておらず、発光に寄与しない領域である。そして、領域１０ａを、さらに中央領域１０ａ１と周辺領域１０ａ２とに形成期的に分けた場合、インク塗布時における蒸気濃度の分布状態から、周辺領域１０ａ２でサブピクセル内における有機発光層の膜厚の偏りが、より顕著に生ずるものと考えられる。

【0188】

なお、周辺領域１０ａ２と領域１０ｂとを合わせた領域は、パネルにおける外周部の０．５［％］〜数［％］程度（例えば、１［％］）の画素部とすることが考えられる。これは、バンクの面部における傾斜角度の調整を行わない場合における有機発光層の膜厚バラツキを考慮することによるものである。

【0189】

上記実施の形態１，２および変形例１，２では、本発明の構成および作用・効果を分かりやすく説明するために一例としての各構成を採用するものであり、本発明は、本質的な部分を除き、上記形態に限定されるものではない。例えば、上記実施の形態では、図２に示すように、有機発光層１０６に対し、そのＺ軸方向下側にアノード電極１０２が配されている構成を一例として採用したが、本発明は、これに限らず有機発光層１０６に対し、そのＺ軸方向下側にカソード電極１０８が配されているような構成を採用することもできる。

【0190】

有機発光層１０６に対し、そのＺ軸方向下側にカソード電極１０８を配する構成とする場合には、トップエミッション構造となるので、カソード電極１０８を反射電極層とし、その上に電極被覆層１０３を形成する構成を採用することになる。

【0191】

また、上記実施の形態１，２などでは、表示装置１の具体的な外観形状を示さなかったが、例えば、図２１に示すようなシステム一部とすることができる。なお、有機ＥＬ表示装置は、液晶表示装置のようなバックライトを必要としないので、薄型化に適しており、システムデザインという観点から優れた特性を発揮する。

【0192】

また、上記実施の形態１，２および変形例１，２では、バンク１０５，１０５ａ〜１０５ｄ，１０５ｘ，１０５ｙ，３０５ａ〜３０５ｅ，６０５，７０５の形態として、図３に示すような、所謂、ラインバンク構造を採用したが、図２２に示すような、Ｙ軸方向に延伸するバンク要素８０５ａとＸ軸方向に延伸するバンク要素８０５ｂとからなるピクセルバンク８０５を採用して表示パネル８０を構成することもできる。

【0193】

図２２に示すように、ピクセルバンク８０５を採用する場合には、各サブピクセル８００ａ，８００ｂ，８００ｃを規定するバンク８０５に対し、そのＸ軸方向およびＹ軸方向の各外側となる側壁部の傾斜角度を大きくすることで、上記同様の効果を得ることができる。具体的には、矢印Ｂ₁，Ｂ₂，Ｂ₃，Ｂ₄で指し示す面部の傾斜角度を、適宜調整することで上記効果を得ることが可能である。

【0194】

また、上記実施の形態１，２および変形例１，２で採用したバンクの面部の傾斜角度の調整は、製造時の有機発光層の形成に係るインク塗布工程および乾燥工程での蒸気濃度分布に個別的に応じて適宜変更することができる。例えば、乾燥装置の構造などで、インクの乾燥時における蒸気の流れが、パネル外周部からパネル中央部に向けた方向であるような場合には、有機発光層の膜厚が厚くなる箇所に対応して、バンク側面部の傾斜角度を大きくすればよい。これにより、有機発光層の膜厚を均一化することができ、パネル全体における輝度ムラを低減することができる。

【0195】

また、上記実施の形態１，２および変形例１，２では、発光色（赤色、緑色、青色）毎で、バンクの面部における傾斜角度の設定に区別はないが、発光色に応じて有機発光材料を含むインクの特性が変化することが考えられるので、この場合、各発光色のインク特性に応じて、対応するバンクの面部の傾斜角度を規定することができる。

【産業上の利用可能性】

【0196】

本発明は、輝度ムラが少なく、高い画質性能を有する有機発光パネルおよび有機表示装置を実現するに有用である。

【符号の説明】

【0197】

１．表示装置
１０，３０，８０．表示パネル
１０ａ１．発光中央領域
１０ａ２．発光周辺領域
１０ｂ．ダミー領域
２０．駆動制御部
２１〜２４．駆動回路
２５．制御回路
１００，１００ａ〜１００ｃ，３００ａ〜３００ｃ．サブピクセル
１０１．基板
１０２．アノード電極
１０３．電極被覆層
１０４．ホール注入層
１０５，１０５ａ〜１０５ｄ，１０５ｘ，１０５ｙ，３０５ａ〜３０５ｅ，６０５，７０５，８０５．バンク
１０６，１０６ａ，１０６ｃ，１０６ｘ，１０６ｙ．有機発光層
１０７．電子注入層
１０８．カソード電極
１０９．封止層
３００ｄ，３００ｅ．非画素部
５０１〜５０５．マスク
１０００ａ〜１０００ｃ，３０００ａ〜３０００ｃ．サブピクセル予定領域
１０５０，１０５１ａ，１０５１ｂ，１０５１ｅ，１０５１ｆ．バンク材料層
１０６０ａ〜１０６０ｃ，１０６０ｘ，１０６０ｙ，３０６０ａ〜３０６０ｃ．インク
３０００ｄ，３０００ｅ．非画素予定領域

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】