特許 5678168 鏡筒付きレンズ及び鏡筒付きレンズの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5678168

(24)【登録日】2015年1月9日

(45)【発行日】2015年2月25日

(54)【発明の名称】鏡筒付きレンズ及び鏡筒付きレンズの製造方法

(51)【国際特許分類】

   G02B 7/02 20060101AFI20150205BHJP

【ＦＩ】

   G02B7/02 B

   G02B7/02 D

【請求項の数】7

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2013-502209(P2013-502209)

(86)(22)【出願日】2012年1月16日

(86)【国際出願番号】JP2012050671

(87)【国際公開番号】WO2012117755

(87)【国際公開日】20120907

【審査請求日】2013年7月5日

(31)【優先権主張番号】特願2011-45880(P2011-45880)

(32)【優先日】2011年3月3日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000010098

【氏名又は名称】アルプス電気株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100123663

【弁理士】

【氏名又は名称】広川 浩司

(72)【発明者】

【氏名】松本 剛

(72)【発明者】

【氏名】今井 秀行

【審査官】 荒井 良子

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００９−０８６０７５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−１８８０４６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−２８７３２０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−１５６９０５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０２Ｂ ７／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

筒状の鏡筒と、前記鏡筒に保持されるレンズとからなる鏡筒付きレンズにおいて、
前記鏡筒は前記レンズの外周面に当接するレンズ保持部を備え、
前記レンズ保持部は、螺旋状に連続して形成されてなる第１の溝部と、螺旋状に連続して形成されてなる第２の溝部と、前記第１の溝部と前記第２の溝部とを分断する中間領域と、を有し、
前記中間領域は突起部と第３の溝部とからなり、
前記鏡筒の外径の中心軸を含む断面において、前記第１の溝部及び前記第２の溝部は複数の凸部と複数の凹部からなる凹凸形状のうちの前記複数の凹部を有し、前記突起部は前記凸部よりも前記中心軸方向に突出していることを特徴とする鏡筒付きレンズ。

【請求項2】

筒状の鏡筒と、前記鏡筒に保持されるレンズとからなる鏡筒付きレンズにおいて、
前記鏡筒は前記レンズの外周面に当接するレンズ保持部を備え、
前記レンズ保持部は、螺旋状に連続して形成されてなる第１の溝部と、螺旋状に連続して形成されてなる第２の溝部と、前記第１の溝部と前記第２の溝部とを分断する中間領域と、を有し、
前記中間領域は突起部と第３の溝部とからなり、
前記突起部と前記第３の溝部とは前記レンズ保持部の略周方向に連設し、
前記突起部と前記第３の溝部とからなる前記中間領域は前記レンズ保持部の内周面を少なくとも一周していることを特徴とする鏡筒付きレンズ。

【請求項3】

前記突起部と前記第３の溝部とは前記レンズ保持部の略周方向に連設し、
前記突起部と前記第３の溝部とからなる前記中間領域は前記レンズ保持部の内周面を少なくとも一周していることを特徴とする請求項１記載の鏡筒付きレンズ。

【請求項4】

前記第３の溝部は前記第１の溝部と前記第２の溝部とに比べて深溝に形成されてなることを特徴とする請求項１または２記載の鏡筒付きレンズ。

【請求項5】

前記突起部は少なくとも第１の突起領域と第２の突起領域とを有し、前記第３の溝部は略周方向に一方の端部と他方の端部とを有し、
前記一方の端部は前記第１の突起領域を介して前記第１の溝部と略周方向に連設し、前記他方の端部は前記第２の突起領域を介して前記第２の溝部と略周方向に連設し、
前記中間領域は前記レンズ保持部の内周面を螺旋状に少なくとも一周している、
ことを特徴とする請求項２または請求項４に記載の鏡筒付きレンズ。

【請求項6】

筒状の鏡筒と、前記鏡筒に保持されるレンズとからなる鏡筒付きレンズの製造方法であって、
前記鏡筒は前記レンズの外周面に当接するレンズ保持部を備え、
前記レンズ保持部は切削加工によって形成され、
前記切削加工は、螺旋状に連続して形成されてなる第１の溝部と、螺旋状に連続して形成されてなる第２の溝部と、前記第１の溝部及び前記第２の溝部を分断する中間領域と、を設ける処理を含み、
前記中間領域を設ける処理は突起部を形成する工程と第３の溝部を形成する工程であり、
前記第１の溝部を設ける処理は第１の切削工程であり、
前記突起部を形成する工程は前記第１の切削工程に引き続く非切削工程であり、
前記第２の溝部を設ける処理は前記非切削工程後におこなう第２の切削工程であることを特徴とする鏡筒付きレンズの製造方法。

【請求項7】

前記第３の溝部を形成する工程は、前記第１の溝部及び前記第２の溝部に比べて深溝を形成する第３の切削工程であることを特徴とする請求項６記載の鏡筒付きレンズの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、鏡筒内にレンズを納めてなる鏡筒付きレンズ及びその製造方法に関し、特に安定して気密性が得られる鏡筒付きレンズ及び鏡筒付きレンズの製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、光通信などの分野において、筒状の鏡筒内にレンズを保持してなる鏡筒付きレンズが知られている。鏡筒付きレンズは、光通信装置においてアイソレータにコリメータ光を送り、または光ファイバの端面にレーザ光を集光させるなどの機能を有するものとして使用される。また、基板に設けられる半導体レーザ等の電気部品を鏡筒が覆い気密密封した状態で取付けられることによって、酸化による半導体レーザ等の劣化を防止する気密構造が知られている。

【0003】

この気密構造では、金属製の基板に半導体レーザを固定し、基板を覆うように鏡筒付きレンズを設けると共に、鏡筒の下面と基板とを溶接接合する。このように用いられる鏡筒付きレンズとしては、例えば特許文献１に開示されている。

【0004】

特許文献１では、ステンレス系フェライト鋼で製作したレンズホルダ（鏡筒）に筒状部分を設け、レンズホルダ内にレンズを固定した後、半導体レーザを搭載したベース（基板）に筒状部分をかぶせて、不活性ガスを封入してから溶接等により気密封止していた。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２００５−２０８３３０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかし、ステンレス系フェライト鋼の鏡筒は切削加工で製作されるため、その内周面には螺旋状の切削痕が形成されていた。この切削痕は微細な溝部を設けたような形状であり、鏡筒内周面の回転切削においては螺旋状に繋がった溝部を形成することになる。そのため、このような気密封止用の鏡筒において、レンズに成形されるガラス素材が鏡筒内周面の切削痕の連続した溝部を十分に充填できなかった場合、この溝部を通して、微小なリーク経路が形成されることが判明した。

【0007】

鏡筒の下面と基板とを溶接接合する光通信装置において微小なリーク経路が残存していると、封入した不活性ガスが流出し酸化性の気体が流入することで半導体レーザ等が劣化しやすくなる。そのため、溶接接合用の鏡筒付きレンズにリークテストをおこなって、気密性が確保されていることを保証する必要があった。したがって、微小なリーク経路が残存しない鏡筒付きレンズが望まれていたが、実用的な製造方法で安定して気密性を得ることは困難であった。

【0008】

前記課題を鑑み、本発明は安定して気密性が得られる鏡筒付きレンズを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明は、筒状の鏡筒と、前記鏡筒に保持されるレンズとからなる鏡筒付きレンズにおいて、前記鏡筒は前記レンズの外周面に当接するレンズ保持部を備え、前記レンズ保持部は、螺旋状に連続して形成されてなる第１の溝部と、螺旋状に連続して形成されてなる第
２の溝部と、前記第１の溝部と前記第２の溝部とを分断する中間領域と、を有し、前記中間領域は突起部と第３の溝部とからなる、ことを特徴とする。

【0010】

これにより、第１の溝部と第２の溝部は中間領域でリーク経路となる連続螺旋溝が分断されるとともに、プレスによってレンズを鏡筒内に一体成形するときに、中間領域の突起部にガラス素材が当接して、中間領域の第３の溝部にガラス素材が確実に充填される。

【0011】

したがって、本発明の鏡筒付きレンズは安定して気密性が得られる。

【0012】

さらに、前記突起部と前記第３の溝部とは前記レンズ保持部の略周方向に連設し、前記突起部と前記第３の溝部とからなる前記中間領域は前記レンズ保持部の内周面を少なくとも一周していることが好適である。こうすれば、１周している中間領域によって第１の溝部と第２の溝部とが完全に分断されているので、第１の溝部と第２の溝部に不連続なリーク経路を有する場合でも安定して気密性が得られる。

【0013】

前記第３の溝部は前記第１の溝部と前記第２の溝部とに比べて深溝に形成されてなることが好ましい。こうすれば、第１の溝部や第２の溝部に比べて第３の溝部にガラス素材が容易に埋め込まれ充填される。

【0014】

前記突起部は少なくとも第１の突起領域と第２の突起領域とを有し、前記第３の溝部は略周方向に一方の端部と他方の端部とを有し、前記一方の端部は前記第１の突起領域を介して前記第１の溝部と略周方向に連設し、前記他方の端部は前記第２の突起領域を介して前記第２の溝部と略周方向に連設し、前記中間領域は前記レンズ保持部の内周面を螺旋状に少なくとも一周していることが実際的である。この場合、それぞれの突起領域で連続螺旋溝が分断されているとともに、一周している中間領域によって第１の溝部と第２の溝部が分断されているので、より安定して気密性が得られる。

【0015】

また、本発明は、筒状の鏡筒と、前記鏡筒に保持されるレンズとからなる鏡筒付きレンズの製造方法であって、前記鏡筒は前記レンズの外周面に当接するレンズ保持部を備え、前記レンズ保持部は切削加工によって形成され、前記切削加工は、螺旋状に連続して形成されてなる第１の溝部と、螺旋状に連続して形成されてなる第２の溝部と、前記第１の溝部及び前記第２の溝部を分断する中間領域と、を設ける処理を含み、前記中間領域を設ける処理は突起部を形成する工程と第３の溝部を形成する工程である、ことを特徴とする。

【0016】

これにより、鏡筒を切削する加工装置に保持した状態で、通常の螺旋状に切削する処理に中間領域を設ける処理を加えるだけで、リーク経路となる連続溝を分断した鏡筒が得られる。したがって、安定して気密性が得られる鏡筒付きレンズを製作することができる。

【0017】

前記第１の溝部を設ける処理は第１の切削工程であり、前記突起部を形成する工程は前記第１の切削工程に引き続く非切削工程であり、前記第２の溝部を設ける処理は前記非切削工程後におこなう第２の切削工程であることが実際的である。こうすれば、加工装置でそれぞれの処理を連続しておこなうことができ、容易に製作することができる。

【0018】

前記第３の溝部を形成する工程は、前記第１の溝部及び前記第２の溝部に比べて深溝を形成する第３の切削工程であることが好適である。こうすれば、中間領域にガラス素材を密着しやすい鏡筒になるので、安定して気密性が得られる。

【発明の効果】

【0019】

以上のように本発明によれば、安定して気密性が得られる鏡筒付きレンズを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】第１の実施形態の鏡筒付きレンズを示す断面図である。

【図2】第１の実施形態の鏡筒付きレンズを示す部分拡大断面図である。

【図3】第１の実施形態の鏡筒付きレンズを示す部分拡大断面図である。

【図4】不連続なリーク経路が残存する状態の説明図である。

【図5】第１の実施形態の鏡筒付きレンズに適用する鏡筒を示す断面図である。

【図6】図５の鏡筒を製作する工程の説明図である。

【図7】鏡筒付きレンズのレンズを成形する工程の説明図である。

【図8】第２の実施形態の鏡筒付きレンズを示す断面図である。

【図9】第２の実施形態の鏡筒付きレンズに適用する鏡筒を示す断面図である。

【図10】第３の実施形態の鏡筒付きレンズに適用する鏡筒を示す断面図である。

【図11】リークテストの試験結果を示すグラフである。

【図12】鏡筒付きレンズを用いて気密密封されたＣＡＮパッケージの構造を示す模式断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

＜第１の実施形態＞
本発明の第１の実施形態について図面に沿って詳細に説明する。なお、説明が分かりやすいように、図面は寸法を適宜変更して特徴部分を強調したものになっている。図１は、第１の実施形態の鏡筒付きレンズ１を示す断面図、図２及び図３はその部分拡大断面図である。これらの図に示すように、本実施形態における鏡筒付きレンズ１は、筒状に形成されてなる鏡筒１０とレンズ２０とから構成されている。レンズ２０は第１光学面２０ａと第２光学面２０ｂとを有するガラスレンズである。

【0022】

鏡筒１０はフェライト系のステンレス鋼を切削することにより形成されている。また、レンズ２０は鏡筒１０内においてガラス素材がプレスされることにより成形されている。鏡筒１０を形成するステンレス鋼は、ガラス素材よりもわずかに線膨張係数が大きいものが用いられる。これによりレンズ２０をプレスする際の高温状態から常温に戻ったとき、鏡筒１０内にはレンズ２０の外周面２１を締め付ける方向に力がかかることとなり、レンズ２０を確実に保持することができる。

【0023】

図１２は鏡筒付きレンズ１を用いて気密密封されたＣＡＮパッケージ２の構造を示す模式断面図である。ここで、図１に示すように、鏡筒１０は、一方の開口側に配置されてレンズ２０を保持するレンズ保持部１２と、他方の開口側に配置されて内部に電気部品４０を収納する部品収納部１５と、部品収納部１５の開口端から外周側に延出形成される鍔部１６と、が一体的に形成されて構成されている。鏡筒１０と基板５０を溶接接合するため、鏡筒１０の鍔部１６には、下面に凸状の溶接接合部１７が形成されている。溶接の際には、不活性ガス中で鍔部１６の上面が電極により押圧され、溶接接合部１７が基板５０に対して加圧される。この状態で電極から基板５０に電流を流すことで、溶接接合部１７の先端部が溶着し、基板５０と接合される。このようにして、図１２のようなＣＡＮパッケージ２が製作され、電気部品４０を気密状態で密封することができる。

【0024】

図１に示すレンズ保持部１２と部品収納部１５は、いずれも円筒形状を有するように形成されており、レンズ保持部１２の内周面にはレンズ２０の外周面２１が接している。そして、図１、図２及び図３に示すように、外周面２１と接するレンズ保持部１２の内周面の中間領域には、突起部１３と第３の溝部１４とが形成されている。本実施形態では、このようにレンズ保持部１２の内周面に突起部１３と第３の溝部１４とが形成されていることにより、安定して気密性が得られる鏡筒付きレンズ１を提供できる。

【0025】

この作用効果について、従来の構造と比較しながら詳細に説明する。

【0026】

鏡筒１０はフェライト系のステンレス鋼を旋盤等の加工装置によって切削されるので、加工装置での回転と送りによって螺旋状の切削痕が残存している。一般に、研磨等の特殊加工はコストが高く、採用しがたい。ほとんどの場合、鏡筒１０の仕上げ加工は鏡筒付きレンズ１の設計仕様に合わせた加工精度の切削仕上げとしている。したがって、切削仕上げの切削痕が鏡筒１０の全面に亘って存在している。この切削痕は、加工面の表面粗さとして、表面粗さ測定器によって計測されるものである。

【0027】

従来は、螺旋状の切削痕が１本の連続溝と見なされる状態であっても、ガラス素材は溝の空気を押し出すように埋め込まれ、ガラス素材が隙間無く切削痕に充填されると考えられていた。しかしながら、切削痕は比較的細かい溝形状であり、溝の底部に空気が残りガラスの充填されない隙間を生じやすいことが判明した。この隙間によって、成形後のレンズ２０の両面にわたる微小なリーク経路が形成されていた。

【0028】

このようにリーク経路が残存していると、ＣＡＮパッケージ２として鏡筒１０と基板５０を溶接接合し不活性ガスを封入したにも関わらず、不活性ガスが流出し酸化性の気体が流入することで半導体レーザ等の劣化を生じる。

【0029】

このような連続する螺旋溝は切削加工を用いている限り、溝の深さに加工条件による差異はあっても本質的に回避できない問題である。なお、図１等ではレンズ保持部１２のみに切削痕の溝を強調した断面図としたが、他の切削面にも同様の切削痕が連続溝として存在している。

【0030】

本実施形態では、この連続溝を分断するために、突起部１３と第３の溝部１４とからなる中間領域をレンズ２０の外周面２１と接するレンズ保持部１２の部分に設けている。突起部１３と第３の溝部１４とからなる中間領域はレンズ保持部１２の内周面を少なくとも一周していることが好ましい。

【0031】

このようにレンズ保持部１２の部分に突起部１３と第３の溝部１４とからなる中間領域を設けるように加工された鏡筒１０であれば、第１の溝部１２ａと第２の溝部１２ｂは中間領域で連続螺旋溝が分断されるとともに、プレスによってレンズ２０を鏡筒１０内に一体成形するときに、中間領域の突起部１３にレンズ２０のガラス素材が当接して、中間領域の第３の溝部１４にガラス素材が確実に充填される。

【0032】

なお、突起部１３の表面にも切削痕が第１の溝部１２ａ及び第２の溝部１２ｂと同様に残っているが、第３の溝部１４を設けていることによって連続溝としては分断されるので、突起部１３の表面にある切削痕がリーク経路となる可能性を低減できる。中間領域に第３の溝部１４を設けていない場合には、突起部１３の表面にある切削痕あるいはキズ不良によってリーク経路が繋がってしまう可能性を有しているので、第３の溝部１４を設けることが必要である。

【0033】

他方、中間領域として第３の溝部１４のみで突起部１３を設けていない場合、第１の溝部１２ａから第２の溝部１２ｂに繋がるリーク経路を遮断できない可能性がある。突起部１３を同時に設けていることで不連続な面を形成し、かつレンズ２０の成形時にガラス素材が最初に突起部１３と接しやすいので、上記のようなリーク経路を遮断できない可能性を低減できる。

【0034】

さらに、第１の溝部１２ａと第２の溝部１２ｂとが切削加工の精度内でのうねりを有する結果として、不連続部１２ｃが形成されている場合がある。図４は不連続なリーク経路
が残存する状態の説明図である。突起部１３と第３の溝部１４とからなる中間領域がレンズ保持部１２の内周面を一周していない場合、周方向の位置によって不連続部１２ｃが分断できていない可能性があり、この場合には空気が残りやすいために不連続なリーク経路が残存してしまう。その結果、連続溝と不連続なリーク経路とが繋がって、成形後のレンズ２０の両面にわたる微小なリーク経路を形成する可能性がある。したがって、突起部１３と第３の溝部１４とからなる中間領域はレンズ保持部１２の内周面を少なくとも一周していることが好適である。こうすれば、一周している中間領域によって第１の溝部１２ａと第２の溝部１２ｃとが全周に亘って完全に分断されているので、第１の溝部１２ａと第２の溝部１２ｂとが不連続なリーク経路を有する場合でも安定して気密性が得られる。

【0035】

第３の溝部１４は、第１の溝部１２ａと第２の溝部１２ｂとに比べて、深溝に形成されてなることが好ましい。こうすれば、第１の溝部１２ａや第２の溝部１２ｂに比べて、第３の溝部１４は幅広に形成されるのでガラス素材が容易に埋め込まれ、より確実に充填される。

【0036】

上記のように、本実施形態の鏡筒１０はレンズ保持部１２の中間領域にガラス素材を密着させやすいので、安定して気密性が得られる。

【0037】

次に、本実施形態の鏡筒付きレンズ１の製造方法について説明する。図５は第１の実施形態の鏡筒付きレンズ１に適用する鏡筒１０を示す断面図、図６は図５の鏡筒１０を製作する工程の説明図である。

【0038】

ステンレス鋼を切削加工できる自動旋盤等の加工機に鏡筒用の素材を装着する。図６に示すように、主軸を回転させるとともに、Ｘ方向に切込量が適正になるように設定され、Ｚ方向に送り量が設定されて、端面加工、外形加工、内面加工をおこなえるような制御軸数が２軸以上の加工機であればよい。なお、チャックサイズは鏡筒用の素材の大きさに合うものを選択する。外形が最大径４ｍｍ程度であれば、一般的な３インチのチャックでよい。

【0039】

必要な寸法と仕上げ状態が得られるように切削加工条件と切削補助剤（切削油等）は適宜選択される。図６に示すようなレンズ保持部１２の内周面の最終切削において、第1の
溝部１２ａの切削工程を経て中間領域に加工バイトの刃先が到達したら切込量が０になるように設定して非切削工程を設ける。非切削の内周面は第１の溝部１２ａの切込量に相当する高さの突起部１３として第１の溝部１２ａよりも突出する。続いて、切込量を１０μｍ程度に設定して第３の溝部１４の切削工程を設けた。所定の長さ（被加工素材の回転）の溝を形成した後、再び被切削工程を設け、第２の突起部（図示していない）を設けた。この後、第２の溝部１２ｂを第１の溝部１２ａと同様の加工条件で部品収納部１５に向かって切削工程をおこなった。

【0040】

上記の製造方法であれば、加工装置でそれぞれの処理を連続しておこなうことができ、容易に製作することができる。

【0041】

こうして所定の形状に切削加工した鏡筒１０を用いて、成形装置によってレンズ２０を一体に成形する。図７は鏡筒付きレンズ１のレンズ２０を成形する工程の説明図である。図７に示すように、第１光学面２０ａの転写面を有する入子６１を備える上型と、第２光学面２０ｂの転写面を有する入子６２を備える下型と、を有する金型によって、球状または円筒状のガラス素材を加熱状態でプレスして、レンズ２０を所定の面形状に成形する。このとき、図７の上下方向に圧縮されたガラス素材はレンズ保持部１２に当接するように押し出されて、外周面２１がレンズ保持部１２に圧着される。

【0042】

鏡筒１０の線膨張係数がレンズ２０の線膨張係数よりもわずかに大きい組み合わせであり、成形装置から取り出された鏡筒付きレンズ１は適度な締め付け力でレンズ２０を密着保持している。

【0043】

この後、必要に応じてレンズ２０の第１光学面２０ａ及び第２光学面２０ｂに反射防止膜を蒸着等により成膜（ＡＲコート）する。電気部品４０を気密状態で密封するための鏡筒付きレンズ１では、リークテストを含む検査がおこなわれて、所定のリーク量よりも大きいリークが発見されたものは不良品として廃棄される。

【0044】

鏡筒１０のステンレス鋼としては、ＳＵＳ４３０を用いることができる。また、その鏡筒１０と組み合わせるレンズ２０としては、線膨張係数が７０〜９０×１０^-7／Ｋ程度のガラス素材から選ぶことができる。このようなガラス素材は、例えば、オハラ（株）製のＬ−ＢＡＬ３５、Ｌ−ＬＡＨ８４、Ｌ−ＬＡＨ５３、あるいはＳｃｈｏｔｔ ＡＧ製のＰ−ＳＫ５７、Ｐ−ＬＡＳＦ４７、等がある。なお、鏡筒１０の線膨張係数がレンズ２０の線膨張係数よりもわずかに大きい組み合わせであれば、上記材料に限定されずに本発明を適用可能である。

【0045】

上記の製造工程では第３の溝部１４の両端に連設するように突起部１３が複数形成されるが、これに限らず、第３の溝部１４の一端が突起部１３に連設すれば、他端は第１の溝部１２ａもしくは第２の溝部１２ｂに連設していてもよい。

【0046】

また、レンズ保持部１２の内周面の切削工程は上記の手順以外にも、あらかじめ中間領域に第３の溝部１４を切削してから、中間領域を除く第１の溝部１２ａ及び第２の溝部１２ｂを切削する順番で加工してもよい。あるいは、第１の溝部１２ａと第２の溝部１２ｂの間に非切削工程で中間領域の突起領域を設けた後に、この突起領域の一部に切削工程を追加して第３の溝部１４を形成する順番で加工してもよい。この場合、前記突起領域のうち、第３の溝部１４を形成しないで残った領域が突起部１３になる。

【0047】

このように、鏡筒１０を切削する加工装置に保持した状態で、通常の螺旋状に切削する処理に中間領域を設ける処理を加えることにより、リーク経路となる連続溝を分断した鏡筒１０が得られる。したがって、安定して気密性が得られる。

【0048】

＜第２の実施形態＞
図８は第２の実施形態の鏡筒付きレンズ１を示す断面図で、図９はその鏡筒付きレンズ１に適用する鏡筒１０を示す断面図である。第１の実施形態と異なる部分はレンズ保持部１２の内周面の形状と、その形状に当接して成形されるレンズ２０の外周面２１の形状である。その他の主要な構成や材質は第1の実施形態と同様である。

【0049】

本実施形態においては第１の溝部１２ａが、内径の異なるふたつの円筒の内周面とそれらの内周面を連続に結ぶ傾斜面（円錐形の面の一部）とに形成されている。しかしながら、これらを切削する旋盤加工では連続溝を形成するように設定されて、仕上げ面の表面粗さを悪化させないように連続して切削工程がおこなわれる。

【0050】

このように第１の溝部１２ａが傾斜面を有するレンズ保持部１２に形成されていても、従来の切削工程で形成された場合に連続溝としてリーク経路になる可能性があるので、突起部１３及び第３の溝部１４を設けることが効果を奏する。この突起部１３及び第３の溝部１４を有する中間領域の形成は第１の実施形態と同様である。

【0051】

したがって、第２の実施形態の鏡筒付きレンズ１は安定して気密性が得られる。

【0052】

＜第３の実施形態＞
図１０は第３の実施形態の鏡筒付きレンズ１に適用する鏡筒１０を示す断面図である。第１の実施形態と異なる部分はレンズ保持部１２の内周面の形状であり、より詳しくは突起部１３及び第３の溝部１４の形状である。その他の主要な構成や材質は第1の実施形態
と同様である。

【0053】

本実施形態において、第１の溝部１２ａと第２の溝部１２ｂとに比べて幅広の第３の溝部１４が形成され、第３の溝部１４はレンズ保持部１２の内周面をほぼ一周するとともに、第１の端部１４ａは第１の突起領域１３ａと連設し、第２の端部１４ｂは第２の突起領域１３ｂと連設している。なお、第１の突起領域１３ａ及び第２の突起領域１３ｂを含む突起部１３にも切削痕が残っているが、図１０では図示していない。

【0054】

突起部１３と第３の溝部１４とからなる中間領域を幅広に形成するには、例えば、仕上げ切削において第１の溝部１２ａの切削条件での送り量に対して１０回転分の非切削工程を設けた後、第３の溝部１４の切削をほぼ１回転分おこない、再度１０回転分の非切削工程を設けてから、第２の溝部１２ｂの切削工程をおこなう。

【0055】

なお、第３の溝部１４は、第１の溝部１２ａと第２の溝部１２ｂとに比べて、幅広であるとともに深溝に形成されてなることが好ましい。こうすれば、第１の溝部１２ａや第２の溝部１２ｂに比べて、第３の溝部１４にはガラス素材が容易に埋め込まれ、より確実に充填される。

【0056】

本実施形態では、一周している中間領域が第１の溝部１２ａと第２の溝部１２ｂとを完全に分断しているので、安定して気密性が得られる。

【0057】

上記のように、本実施形態の鏡筒１０はレンズ保持部１２の中間領域にガラス素材が密着しやすいので、安定して気密性が得られる。

【実施例】

【0058】

製作した鏡筒付きレンズ１の気密性をリークテストによって確認した。

【0059】

従来例の試験サンプル２８個と実施例の試験サンプル１００個を気密試験装置に取り付けてＨｅリーク量を測定した。

【0060】

図１１はリークテストの試験結果を示すグラフである。図１１は、横軸として測定されたＨｅリーク量を範囲ごとに分け、縦軸として試験サンプル母数に対する対象サンプル数の割合をプロットした頻度グラフである。リークテストの仕様を１．０１×１０^-10Ｐａ・ｍ³／ｓｅｃ以下とすると、従来例ではＮＧ品が１５個確認され、試験サンプルの半数以上が不良品であった。一方、実施例では安定して仕様を満たしており、ＮＧ品は確認されなかった。このことから、実施例の試験サンプルでは螺旋状の切削痕が分断され、中間領域にガラス素材が密着していることが考察された。

【0061】

したがって、本発明の鏡筒付きレンズ１は、安定して気密性を確保できているので、酸化による半導体レーザ等の劣化を防止するＣＡＮパッケージ２に適している。

【0062】

以上のように本発明によれば、安定して気密性が得られる鏡筒付きレンズ１を提供することができる。

【符号の説明】

【0063】

１ 鏡筒付きレンズ
２ ＣＡＮパッケージ
１０ 鏡筒
１２ レンズ保持部
１２ａ 第１の溝部
１２ｂ 第２の溝部
１２ｃ 不連続部
１３ 突起部
１３ａ 第１の突起領域
１３ｂ 第２の突起領域
１４ 第３の溝部
１４ａ 第１の端部
１４ｂ 第２の端部
１５ 部品収納部
１６ 鍔部
１７ 溶接接合部
２０ レンズ
２０ａ 第１光学面
２０ｂ 第２光学面
２１ 外周面
４０ 電気部品（半導体レーザ）
５０ 基板
６１、６２ 金型（入子）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】