特許5680842荷電粒子ビーム処理システムで使用される自己バイアス能動負荷回路及び関連する電源

発明の名称　荷電粒子ビーム処理システムで使用される自己バイアス能動負荷回路及び関連する電源

出願人　ティーイーエル・エピオン・インコーポレーテッド　（識別番号 507239422）

　　　　特許公開件数ランキング 7735 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 6167 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5680842

公報発行日　2015年3月4

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5680842

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