特許5683463原子層堆積装置および装填方法

発明の名称　原子層堆積装置および装填方法

出願人　ピコサン　オーワイ　（識別番号 510275024）

　　　　特許公開件数ランキング 3834 位（4件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 5520 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5683463

公報発行日　2015年3月11

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5683463

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