特許第5684860号(P5684860)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許5684860炭素注入中のイオン源寿命を延長し、イオン源性能を向上するための組成物
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  • 特許5684860-炭素注入中のイオン源寿命を延長し、イオン源性能を向上するための組成物 図000002
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