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特許5684872プラズマ発生装置、プラズマ発生装置を制御する方法、及びプラズマ発生装置を使用する基板処理装置
発明の名称 プラズマ発生装置、プラズマ発生装置を制御する方法、及びプラズマ発生装置を使用する基板処理装置
出願人 ピーエスケー・インコーポレーテッド （識別番号 504388695）
特許公開件数ランキング 31340 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 25341 位（0件）（共同出願を含む）
出願人 漢陽大学校産学協力団 （識別番号 506118135）
特許公開件数ランキング 31340 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 25341 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-5684872
公報発行日 2015年3月18
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5684872
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