特許5686227ワイヤグリッド偏光子の製造方法、ナノメートルサイズのマルチステップの素子、およびその製造方法

発明の名称　ワイヤグリッド偏光子の製造方法、ナノメートルサイズのマルチステップの素子、およびその製造方法

出願人　モックステック・インコーポレーテッド　（識別番号 501218636）

　　　　特許公開件数ランキング 1219 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 956 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5686227

公報発行日　2015年3月18

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5686227

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