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特許5688638複数のマルチビーム・アレイを有するパターン定義装置
発明の名称 複数のマルチビーム・アレイを有するパターン定義装置
出願人 アイエムエス ナノファブリケーション アーゲー （識別番号 509316578）
特許公開件数ランキング 13870 位（1件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 3848 位（1件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-5688638
公報発行日 2015年3月25
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5688638
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