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特許5689259絞りユニットを有する粒子ビーム装置および粒子ビーム装置のビーム電流を調整する方法
発明の名称 絞りユニットを有する粒子ビーム装置および粒子ビーム装置のビーム電流を調整する方法
出願人 カール ツァイス マイクロスコーピー ゲーエムベーハー （識別番号 512158505）
特許公開件数ランキング 14468 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 12296 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-5689259
公報発行日 2015年3月25
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5689259
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