特許第5690462号(P5690462)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許5690462ＩＩＩ−Ｖ族ウェーハの加熱装置およびプロセス、ならびにアニールＩＩＩ−Ｖ族半導体単結晶ウェーハ
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