特許第5690498号(P5690498)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許5690498基体上に膜を堆積する方法および気化前駆体化合物を送達する装置
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  • 特許5690498-基体上に膜を堆積する方法および気化前駆体化合物を送達する装置 図000007
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