特許5690714薄膜製作方法

発明の名称　薄膜製作方法

出願人　イムラ　アメリカ　インコーポレイテッド　（識別番号 593185670）

　　　　特許公開件数ランキング 30447 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 24615 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5690714

公報発行日　2015年3月25

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5690714

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