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特許5692772表面保護膜、接ガス部材、ガス処理装置及びメカニカルポンプ
発明の名称 表面保護膜、接ガス部材、ガス処理装置及びメカニカルポンプ
出願人 国立大学法人東北大学 （識別番号 504157024）
特許公開件数ランキング 395 位（183件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 235 位（181件）（共同出願を含む）
出願人 株式会社日本セラテック （識別番号 391005824）
特許公開件数ランキング 30465 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 24770 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-5692772
公報発行日 2015年4月1
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5692772
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