特許5694927反応炉壁へのシリコンの析出を低減する流動層反応炉システム及び方法

発明の名称　反応炉壁へのシリコンの析出を低減する流動層反応炉システム及び方法

出願人　エムイーエムシー・エレクトロニック・マテリアルズ・インコーポレイテッド　（識別番号 392026316）

　　　　特許公開件数ランキング 31340 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 25341 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5694927

公報発行日　2015年4月1

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5694927

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