特許5695902近接場ＡＦＭ検出を用いたウェハスケールの非破壊的な表面下超音波顕微鏡法

発明の名称　近接場ＡＦＭ検出を用いたウェハスケールの非破壊的な表面下超音波顕微鏡法

出願人　ブルカー　ナノ　インコーポレイテッド　（識別番号 512038610）

　　　　特許公開件数ランキング 11770 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 5520 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5695902

公報発行日　2015年4月8

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5695902

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