特許 5697272 主磁極とシールドを備えた垂直磁気記録用磁気ヘッド

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5697272

(24)【登録日】2015年2月20日

(45)【発行日】2015年4月8日

(54)【発明の名称】主磁極とシールドを備えた垂直磁気記録用磁気ヘッド

(51)【国際特許分類】

   G11B 5/31 20060101AFI20150319BHJP

【ＦＩ】

   G11B5/31 F

   G11B5/31 A

   G11B5/31 Q

【請求項の数】14

【全頁数】43

(21)【出願番号】特願2013-150288(P2013-150288)

(22)【出願日】2013年7月19日

(65)【公開番号】特開2014-26714(P2014-26714A)

(43)【公開日】2014年2月6日

【審査請求日】2013年7月19日

(31)【優先権主張番号】13/556,784

(32)【優先日】2012年7月24日

(33)【優先権主張国】US

(31)【優先権主張番号】13/556,654

(32)【優先日】2012年7月24日

(33)【優先権主張国】US

(73)【特許権者】

【識別番号】500475649

【氏名又は名称】ヘッドウェイテクノロジーズ インコーポレイテッド

(73)【特許権者】

【識別番号】500393893

【氏名又は名称】新科實業有限公司

【氏名又は名称原語表記】ＳＡＥ Ｍａｇｎｅｔｉｃｓ（Ｈ．Ｋ．）Ｌｔｄ．

(74)【代理人】

【識別番号】100107559

【弁理士】

【氏名又は名称】星宮 勝美

(72)【発明者】

【氏名】佐々木 芳高

(72)【発明者】

【氏名】伊藤 浩幸

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 一樹

(72)【発明者】

【氏名】種村 茂樹

(72)【発明者】

【氏名】清水 達也

【審査官】 斎藤 眞

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００２−１９７６１９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−１５７３０３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭６０−２４３８１２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００２−０２５０１１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−２４２２２０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ１１Ｂ ５／３１

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

記録媒体に対向する媒体対向面と、
前記記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生する第１および第２のコイルと、
前記媒体対向面に配置された端面を有し、前記第１および第２のコイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、垂直磁気記録方式によって前記情報を前記記録媒体に記録するための記録磁界を発生する主磁極と、
磁性材料よりなり、前記媒体対向面に配置された端面を有する記録シールドと、
非磁性材料よりなり、前記主磁極と前記記録シールドとの間に配置されたギャップ部と、
磁性材料よりなり前記記録シールドに磁気的に接続され、前記主磁極に対して前記記録媒体の進行方向の後側に配置された第１のヨーク層と、
磁性材料よりなり前記記録シールドに磁気的に接続され、前記主磁極に対して前記記録媒体の進行方向の前側に配置された第２のヨーク層と、
前記媒体対向面から離れた位置に配置され、前記主磁極と前記第２のヨーク層とを磁気的に連結する第１の連結部と、
前記媒体対向面から離れた位置に配置され、前記主磁極に接することなく前記第１のヨーク層と前記第２のヨーク層とを磁気的に連結する第２の連結部とを備えた垂直磁気記録用磁気ヘッドであって、
前記記録シールドの端面は、前記主磁極の前記端面に対して前記記録媒体の進行方向の前側に配置された第１の端面部分を含み、
前記第１のコイルは、前記第１の連結部の周りに巻回され、且つその一部が前記第１の連結部と第２の連結部の間を通過し、
前記第２のコイルは、前記第２の連結部の周りに巻回されていることを特徴とする垂直磁気記録用磁気ヘッド。

【請求項2】

前記第２の連結部は、前記第１の連結部に対して、前記媒体対向面からより遠い位置に配置されていることを特徴とする請求項１記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。

【請求項3】

前記第２のコイルは、前記主磁極に対して前記記録媒体の進行方向の後側に配置されていることを特徴とする請求項１記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。

【請求項4】

前記第２のコイルは、前記主磁極に対して前記記録媒体の進行方向の前側に配置されていることを特徴とする請求項１記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。

【請求項5】

前記媒体対向面に配置された前記主磁極の端面と交差し、前記記録媒体の進行方向に垂直な仮想の平面を想定したとき、前記第２のコイルの少なくとも一部は、前記仮想の平面と交差する位置に配置されていることを特徴とする請求項１記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。

【請求項6】

前記第２のコイルの巻き数は、前記第１のコイルの巻き数以上であることを特徴とする請求項１記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。

【請求項7】

前記第２のコイルの巻き数は、前記第１のコイルの巻き数よりも多いことを特徴とする請求項１記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。

【請求項8】

前記記録シールドの端面は、更に、第２、第３および第４の端面部分を含み、前記第２の端面部分は、前記主磁極の前記端面に対して前記記録媒体の進行方向の後側に配置され、前記第３および第４の端面部分は、前記主磁極の前記端面に対してトラック幅方向の両側に配置されていることを特徴とする請求項１記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。

【請求項9】

更に、前記記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生する第３のコイルを備え、
前記主磁極は、前記第１、第２および第３のコイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させ、
前記第３のコイルは、前記第２の連結部の周りに巻回され、
前記第２および第３のコイルは、互いに前記記録媒体の進行方向における異なる位置に配置されていることを特徴とする請求項１記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。

【請求項10】

前記第２のコイルは、前記主磁極に対して前記記録媒体の進行方向の後側に配置されていることを特徴とする請求項９記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。

【請求項11】

前記第３のコイルは、前記主磁極に対して前記記録媒体の進行方向の前側に配置されていることを特徴とする請求項１０記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。

【請求項12】

前記媒体対向面に配置された前記主磁極の端面と交差し、前記記録媒体の進行方向に垂直な仮想の平面を想定したとき、前記第３のコイルの少なくとも一部は、前記仮想の平面と交差する位置に配置されていることを特徴とする請求項１０記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。

【請求項13】

前記第２のコイルの巻き数および前記第３のコイルの巻き数は、前記第１のコイルの巻き数以上であることを特徴とする請求項９記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。

【請求項14】

前記第２のコイルの巻き数は、前記第１のコイルの巻き数よりも多く、前記第３のコイルの巻き数は、前記第１のコイルの巻き数以上であることを特徴とする請求項９記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、垂直磁気記録方式によって記録媒体に情報を記録するために用いられる垂直磁気記録用磁気ヘッドに関し、特に、主磁極とシールドを備えた垂直磁気記録用磁気ヘッドに関する。

【背景技術】

【0002】

磁気記録再生装置における記録方式には、信号磁化の向きを記録媒体の面内方向（長手方向）とする長手磁気記録方式と、信号磁化の向きを記録媒体の面に対して垂直な方向とする垂直磁気記録方式とがある。垂直磁気記録方式は、長手磁気記録方式に比べて、記録媒体の熱揺らぎの影響を受けにくく、高い線記録密度を実現することが可能であると言われている。

【0003】

一般的に、垂直磁気記録用の磁気ヘッドとしては、長手磁気記録用の磁気ヘッドと同様に、読み出し用の磁気抵抗効果素子（以下、ＭＲ（Magnetoresistive）素子とも記す。）を有する再生ヘッド部と、書き込み用の誘導型電磁変換素子を有する記録ヘッド部とを、基板の上面上に積層した構造のものが用いられる。記録ヘッド部は、記録媒体の面に対して垂直な方向の記録磁界を発生する主磁極を備えている。主磁極は、例えば、一端部が記録媒体に対向する媒体対向面に配置されたトラック幅規定部と、このトラック幅規定部の他端部に連結され、トラック幅規定部よりも大きな幅を有する幅広部とを有している。トラック幅規定部は、ほぼ一定の幅を有している。垂直磁気記録方式の記録ヘッド部には、高記録密度化のために、トラック幅の縮小と、記録特性、例えば重ね書きの性能を表わすオーバーライト特性の向上が求められる。

【0004】

ところで、ハードディスク装置等の磁気ディスク装置に用いられる磁気ヘッドは、一般的に、スライダに設けられる。スライダは、上記媒体対向面を有している。この媒体対向面は、空気流入端（リーディング端）と空気流出端（トレーリング端）とを有している。そして、空気流入端から媒体対向面と記録媒体との間に流入する空気流によって、スライダは記録媒体の表面からわずかに浮上するようになっている。

【0005】

ここで、基準の位置に対して、よりリーディング端に近い位置をリーディング側と定義し、基準の位置に対して、よりトレーリング端に近い位置をトレーリング側と定義する。リーディング側は、スライダに対する記録媒体の進行方向の後側である。トレーリング側は、スライダに対する記録媒体の進行方向の前側である。

【0006】

スライダにおいて、一般的に、磁気ヘッドは媒体対向面におけるトレーリング端近傍に配置される。磁気ディスク装置において、磁気ヘッドの位置決めは、例えばロータリーアクチュエータによって行なわれる。この場合、磁気ヘッドは、ロータリーアクチュエータの回転中心を中心とした円軌道に沿って記録媒体上を移動する。このような磁気ディスク装置では、磁気ヘッドのトラック横断方向の位置に応じて、スキューと呼ばれる、円形のトラックの接線に対する磁気ヘッドの傾きが生じる。

【0007】

特に、長手磁気記録方式に比べて記録媒体への書き込み能力が高い垂直磁気記録方式の磁気ディスク装置では、上述のスキューが生じると、あるトラックへの信号の記録時に、記録対象のトラックに隣接する１以上のトラックに記録された信号が消去されたり減衰したりする現象（以下、隣接トラック消去と言う。）が生じる場合がある。高記録密度化のためには、隣接トラック消去の発生を抑制する必要がある。

【0008】

上述のようなスキューに起因した隣接トラック消去の発生を抑制すると共に記録密度を向上させる技術としては、主磁極の近傍に記録シールドを設ける技術が有効である。例えば、特許文献１，２には、媒体対向面において主磁極の端面の周りを囲むように配置された端面を有する記録シールドを備えた磁気ヘッドが開示されている。

【0009】

一般的に、記録シールドを備えた磁気ヘッドでは、主磁極のうちの媒体対向面から離れた部分と記録シールドとを接続する１つ以上の帰磁路部が設けられる。１つ以上の帰磁路部は、主磁極との間に１つ以上の空間を形成する。そして、この１つ以上の空間を通過するようにコイルが設けられる。記録シールドと１つ以上の帰磁路部は、主磁極の端面より発生されて記録媒体の面に垂直な方向以外の方向に広がる磁束を取り込んで、この磁束が記録媒体に達することを阻止する機能を有している。また、記録シールドと１つ以上の帰磁路部は、主磁極の端面より発生されて、記録媒体を磁化した磁束を、主磁極に還流させる機能も有している。記録シールドを備えた磁気ヘッドによれば、隣接トラック消去の発生を抑制することが可能になると共に、記録密度のより一層の向上が可能になる。

【0010】

特許文献１，２には、上記１つ以上の帰磁路部として、主磁極のトレーリング側に配置された帰磁路部と、主磁極のリーディング側に配置された帰磁路部とを備えた磁気ヘッドが記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0011】

【特許文献1】米国特許第６，９５４，３４０Ｂ２号明細書

【特許文献2】特開２００５−１８２９８７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0012】

ところで、記録媒体に記録される記録ビットの端部の位置は、媒体対向面に配置された主磁極の端面のうち、トレーリング側の端部の位置によって決まる。そのため、記録ビットの端部の位置を精度よく規定するためには、記録シールドの端面は、主磁極の端面のトレーリング側に配置された端面部分を含むことが有効である。

【0013】

また、記録密度を高めるために記録信号の周波数が高くなってくると、磁気ヘッドには、主磁極の端面より発生される磁束の方向の変化の速度の向上が求められる。記録シールドを備えた磁気ヘッドでは、この要求に応えるためには、上述のように、記録シールドの端面が主磁極の端面のトレーリング側に配置された端面部分を含むことに加え、主磁極のトレーリング側に配置された帰磁路部を設け、この帰磁路部の長さを短くすることが有効である。そのためには、主磁極と帰磁路部との間に形成される空間を通過するコイルの巻き数を少なくすることが有効である。しかし、そうすると、コイルによる起磁力が不足して、主磁極から十分な大きさの記録磁界を発生させることができなくなるおそれがある。

【0014】

このように、従来は、主磁極に対して記録媒体の進行方向の前側（トレーリング側）に配置されて、主磁極のうちの媒体対向面から離れた部分と記録シールドとを接続する磁路の長さを短くしながら、主磁極から十分な大きさの記録磁界を発生させることが難しかった。

【0015】

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、主磁極に対して記録媒体の進行方向の前側に配置されて、主磁極のうちの媒体対向面から離れた部分と記録シールドとを接続する磁路の長さを短くしながら、主磁極から十分な大きさの記録磁界を発生させることができるようにした垂直磁気記録用磁気ヘッドを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0016】

本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドは、記録媒体に対向する媒体対向面と、第１および第２のコイルと、主磁極と、磁性材料よりなる記録シールドと、非磁性材料よりなるギャップ部と、磁性材料よりなり記録シールドに磁気的に接続された第１および第２のヨーク層と、第１および第２の連結部とを備えている。第１および第２のコイルは、記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生する。主磁極は、媒体対向面に配置された端面を有し、第１および第２のコイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、垂直磁気記録方式によって情報を記録媒体に記録するための記録磁界を発生する。記録シールドは、媒体対向面に配置された端面を有している。ギャップ部は、主磁極と記録シールドとの間に配置されている。

【0017】

第１のヨーク層は、主磁極に対して記録媒体の進行方向の後側に配置されている。第２のヨーク層は、主磁極に対して記録媒体の進行方向の前側に配置されている。第１の連結部は、媒体対向面から離れた位置に配置され、主磁極と第２のヨーク層とを磁気的に連結している。第２の連結部は、媒体対向面から離れた位置に配置され、主磁極に接することなく第１のヨーク層と第２のヨーク層とを磁気的に連結している。

【0018】

記録シールドの端面は、主磁極の端面に対して記録媒体の進行方向の前側に配置された第１の端面部分を含んでいる。第１のコイルは、第１の連結部の周りに巻回され、且つその一部が第１の連結部と第２の連結部の間を通過している。第２のコイルは、第２の連結部の周りに巻回されている。

【0019】

本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドにおいて、第２の連結部は、第１の連結部に対して、媒体対向面からより遠い位置に配置されていてもよい。

【0020】

また、本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドにおいて、第２のコイルは、主磁極に対して記録媒体の進行方向の後側に配置されていてもよいし、主磁極に対して記録媒体の進行方向の前側に配置されていてもよい。また、媒体対向面に配置された主磁極の端面と交差し、記録媒体の進行方向に垂直な仮想の平面を想定したとき、第２のコイルの少なくとも一部は、仮想の平面と交差する位置に配置されていてもよい。

【0021】

また、本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドにおいて、第２のコイルの巻き数は、第１のコイルの巻き数以上であってもよいし、第１のコイルの巻き数よりも多くてもよい。

【0022】

また、本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドにおいて、記録シールドの端面は、更に、第２、第３および第４の端面部分を含んでいてもよい。第２の端面部分は、主磁極の端面に対して記録媒体の進行方向の後側に配置されている。第３および第４の端面部分は、主磁極の端面に対してトラック幅方向の両側に配置されている。

【0023】

また、本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドは、更に、記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生する第３のコイルを備えていてもよい。この場合、主磁極は、第１、第２および第３のコイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させる。第３のコイルは、第２の連結部の周りに巻回されている。第２および第３のコイルは、互いに記録媒体の進行方向における異なる位置に配置されている。

【0024】

本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドが第３のコイルを備えている場合、第２のコイルは、主磁極に対して記録媒体の進行方向の後側に配置されていてもよい。この場合、第３のコイルは、主磁極に対して記録媒体の進行方向の前側に配置されていてもよい。あるいは、媒体対向面に配置された主磁極の端面と交差し、記録媒体の進行方向に垂直な仮想の平面を想定したとき、第３のコイルの少なくとも一部は、仮想の平面と交差する位置に配置されていてもよい。

【0025】

また、第２のコイルの巻き数および第３のコイルの巻き数は、第１のコイルの巻き数以上であってもよい。あるいは、第２のコイルの巻き数は、第１のコイルの巻き数よりも多く、第３のコイルの巻き数は、第１のコイルの巻き数以上であってもよい。

【発明の効果】

【0026】

本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドでは、記録シールドから主磁極に至る第１および第２の磁路が形成される。第１の磁路は、第２のヨーク層および第１の連結部を経由する。この第１の磁路は、主磁極に対して記録媒体の進行方向の前側に配置されて、主磁極のうちの媒体対向面から離れた部分と記録シールドとを接続する。第２の磁路は、第１のヨーク層、第２の連結部、第２のヨーク層および第１の連結部を経由する。第１のコイルは、第１の連結部の周りに巻回され、且つその一部が第１の連結部と第２の連結部の間を通過している。第２のコイルは、第２の連結部の周りに巻回されている。これにより、第１のコイルの巻き数を少なくして第１の磁路の長さを短くしても、第１のコイルの起磁力および第２のコイルの起磁力によって、主磁極から十分な大きさの記録磁界を発生させることが可能になる。このように、本発明によれば、主磁極に対して記録媒体の進行方向の前側に配置された第１の磁路の長さを短くしながら、主磁極から十分な大きさの記録磁界を発生させることが可能になるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【0027】

【図1】本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。

【図2】本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドの媒体対向面を示す正面図である。

【図3】本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第２のコイルを示す平面図である。

【図4】本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第１のコイルを示す平面図である。

【図5】本発明の第２の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。

【図6】本発明の第２の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第１のコイルの第１層を示す平面図である。

【図7】本発明の第２の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第１のコイルの第２層を示す平面図である。

【図8】本発明の第３の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。

【図9】本発明の第３の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第２のコイルを示す平面図である。

【図10】本発明の第３の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第１のコイルを示す平面図である。

【図11】本発明の第４の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。

【図12】本発明の第４の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第１および第２のコイルを示す平面図である。

【図13】本発明の第５の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。

【図14】本発明の第５の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第２のコイルを示す平面図である。

【図15】本発明の第６の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。

【図16】本発明の第６の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第２のコイルを示す平面図である。

【図17】本発明の第６の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第１のコイルを示す平面図である。

【図18】本発明の第７の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。

【図19】本発明の第８の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。

【図20】本発明の第８の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第１のコイルの第１層と第２のコイルの第１層を示す平面図である。

【図21】本発明の第８の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第１のコイルの第２層と第２のコイルの第２層を示す平面図である。

【図22】本発明の第９の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。

【図23】本発明の第９の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第２のコイルを示す平面図である。

【図24】本発明の第１０の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。

【図25】本発明の第１０の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第２のコイルを示す平面図である。

【図26】本発明の第１０の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第１および第３のコイルを示す平面図である。

【図27】本発明の第１１の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。

【図28】本発明の第１１の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第２のコイルを示す平面図である。

【図29】本発明の第１１の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第３のコイルを示す平面図である。

【図30】本発明の第１１の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第１のコイルを示す平面図である。

【図31】本発明の第１２の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。

【図32】本発明の第１２の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第３のコイルを示す平面図である。

【図33】本発明の第１２の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第１のコイルを示す平面図である。

【図34】本発明の第１３の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。

【図35】本発明の第１４の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。

【図36】本発明の第１４の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第２のコイルを示す平面図である。

【図37】本発明の第１４の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第１のコイルの第１層と第３のコイルの第１層を示す平面図である。

【図38】本発明の第１４の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第１のコイルの第２層と第３のコイルの第２層を示す平面図である。

【図39】本発明の第１５の実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。

【図40】本発明の第１５の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第２のコイルを示す平面図である。

【図41】本発明の第１５の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第３のコイルを示す平面図である。

【図42】本発明の第１５の実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第１のコイルを示す平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0028】

［第１の実施の形態］
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。始めに、図１ないし図４を参照して、本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドの構成について説明する。図１は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。図１において記号Ｔで示す矢印は、記録媒体の進行方向を表している。図２は、本実施の形態に係る磁気ヘッドの媒体対向面を示す正面図である。図３は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第２のコイルを示す平面図である。図４は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第１のコイルを示す平面図である。図２ないし図４において記号ＴＷで示す矢印は、トラック幅方向を表している。

【0029】

図１および図２に示したように、本実施の形態に係る垂直磁気記録用磁気ヘッド（以下、単に磁気ヘッドと記す。）は、アルミニウムオキサイド・チタニウムカーバイド（Ａｌ₂Ｏ₃・ＴｉＣ）等のセラミック材料よりなり、上面１ａを有する基板１と、この基板１の上面１ａ上に配置されたアルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）等の絶縁材料よりなる絶縁層２と、この絶縁層２の上に配置された磁性材料よりなる第１の再生シールド層３と、第１の再生シールド層３を覆うように配置された絶縁膜である第１の再生シールドギャップ膜４と、この第１の再生シールドギャップ膜４の上に配置された再生素子としてのＭＲ（磁気抵抗効果）素子５と、このＭＲ素子５の上に配置された絶縁膜である第２の再生シールドギャップ膜６と、この第２の再生シールドギャップ膜６の上に配置された磁性材料よりなる第２の再生シールド層７とを備えている。

【0030】

ＭＲ素子５の一端部は、記録媒体に対向する媒体対向面８０に配置されている。ＭＲ素子５には、ＡＭＲ（異方性磁気抵抗効果）素子、ＧＭＲ（巨大磁気抵抗効果）素子あるいはＴＭＲ（トンネル磁気抵抗効果）素子等の磁気抵抗効果を示す感磁膜を用いた素子を用いることができる。ＧＭＲ素子としては、磁気的信号検出用の電流を、ＧＭＲ素子を構成する各層の面に対してほぼ平行な方向に流すＣＩＰ（Current In Plane）タイプでもよいし、磁気的信号検出用の電流を、ＧＭＲ素子を構成する各層の面に対してほぼ垂直な方向に流すＣＰＰ（Current Perpendicular to Plane）タイプでもよい。

【0031】

第１の再生シールド層３から第２の再生シールド層７までの部分は、再生ヘッド部８を構成する。磁気ヘッドは、更に、第２の再生シールド層７の上に配置された絶縁材料よりなる絶縁層７１と、再生ヘッド部８および絶縁層７１の周囲において基板１の上面１ａの上に配置された絶縁材料よりなる絶縁層７２とを備えている。絶縁層７１，７２は、例えばアルミナによって形成されている。絶縁層７１，７２の上面は平坦化されている。

【0032】

磁気ヘッドは、更に、絶縁層７１，７２の上に配置された記録ヘッド部９を備えている。記録ヘッド部９は、第１のコイル２１と、第２のコイル１１と、リード層１０，２０と、主磁極１５と、記録シールド１６と、ギャップ部１７と、第１のヨーク層３０と、第２のヨーク層４０とを有している。第１のコイル２１、第２のコイル１１およびリード層１０，２０は、いずれも、銅等の導電材料によって形成されている。第１のコイル２１と第２のコイル１１は、直列または並列に接続されている。主磁極１５は、媒体対向面８０に配置された端面を有し、第１のコイル２１および第２のコイル１１によって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、垂直磁気記録方式によって情報を記録媒体に記録するための記録磁界を発生する。図１は、媒体対向面８０に配置された主磁極１５の端面と交差し、媒体対向面８０および基板１の上面１ａに垂直な断面（以下、主断面と言う。）を示している。リード層１０，２０は、第１のコイル２１と第２のコイル１１に通電するために用いられる。

【0033】

記録シールド１６は、媒体対向面８０に配置された端面を有している。記録シールド１６の端面は、第１ないし第４の端面部分１６Ａａ，１６Ｂａ，１６Ｃａ，１６Ｄａを含んでいる。第１の端面部分１６Ａａは、主磁極１５の端面に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置されている。第２の端面部分１６Ｂａは、主磁極１５の端面に対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置されている。第３および第４の端面部分１６Ｃａ，１６Ｄａは、主磁極１５の端面に対してトラック幅方向ＴＷの両側に配置されている。媒体対向面８０において、第１ないし第４の端面部分１６Ａａ，１６Ｂａ，１６Ｃａ，１６Ｄａは、主磁極１５の端面の周りを囲むように配置されている。

【0034】

記録シールド１６は、磁性材料によって形成されている。記録シールド１６の材料としては、例えばＣｏＦｅＮ、ＣｏＮｉＦｅ、ＮｉＦｅ、ＣｏＦｅのいずれかを用いることができる。

【0035】

第１のヨーク層３０と第２のヨーク層４０は、いずれも記録シールド１６に磁気的に接続されている。第１のヨーク層３０は、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置されている。第２のヨーク層４０は、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置されている。第１および第２のヨーク層３０，４０は、それぞれ磁性材料によって形成されている。第１および第２のヨーク層３０，４０の材料としては、例えばＣｏＦｅＮ、ＣｏＮｉＦｅ、ＮｉＦｅ、ＣｏＦｅのいずれかを用いることができる。

【0036】

記録ヘッド部９は、更に、第１の連結部４１と、第２の連結部３１とを有している。第１の連結部４１は、媒体対向面８０から離れた位置に配置され、主磁極１５と第２のヨーク層４０とを磁気的に連結している。第２の連結部３１は、媒体対向面８０から離れた位置に配置され、主磁極１５に接することなく第１のヨーク層３０と第２のヨーク層４０とを磁気的に連結している。図１に示した例では、第２の連結部３１は、第１の連結部４１に対して、媒体対向面８０からより遠い位置に配置されている。

【0037】

第１の連結部４１および第２の連結部３１は、それぞれ磁性材料によって形成されている。第１の連結部４１および第２の連結部３１の材料としては、例えばＣｏＦｅＮ、ＣｏＮｉＦｅ、ＮｉＦｅ、ＣｏＦｅのいずれかを用いることができる。第１の連結部４１は、１つの磁性層４２によって構成されている。第２の連結部３１は、磁性層３２，３３，３４，３５，３６を含んでいる。

【0038】

記録ヘッド部９は、更に、第１のヨーク層３０と記録シールド１６とを磁気的に連結する磁性材料よりなる磁性層３８，３９を有している。磁性層３８，３９の材料としては、例えばＣｏＦｅＮ、ＣｏＮｉＦｅ、ＮｉＦｅ、ＣｏＦｅのいずれかを用いることができる。

【0039】

第１のヨーク層３０は、絶縁層７１の上に配置されている。磁性層３２，３８は、いずれも第１のヨーク層３０の上に配置されている。磁性層３８は、媒体対向面８０の近傍に配置されている。磁性層３２は、磁性層３８に対して、媒体対向面８０からより遠い位置に配置されている。第１のヨーク層３０および磁性層３８は、それぞれ、媒体対向面８０に向いた端面を有し、これらの端面は、媒体対向面８０から離れた位置に配置されている。第２のコイル１１は、第２の連結部３１（磁性層３２）の周りに巻回されている。リード層１０は、第２のコイル１１に連続している。図３では、第２のコイル１１とリード層１０の境界を点線で示している。

【0040】

磁気ヘッドは、更に、第１のヨーク層３０の周囲において絶縁層７１，７２の上に配置された絶縁材料よりなる絶縁層５１と、磁性層３２，３８の周囲において第１のヨーク層３０および絶縁層５１の上に配置された絶縁材料よりなる絶縁層５２とを備えている。第２のコイル１１およびリード層１０は、絶縁層５２の上に配置されている。絶縁層５１，５２は、例えばアルミナによって形成されている。

【0041】

磁気ヘッドは、更に、第２のコイル１１の巻線間ならびに第２のコイル１１、リード層１０および磁性層３２の周囲に配置された絶縁材料よりなる絶縁層５３と、磁性層３８および絶縁層５３の周囲に配置された絶縁材料よりなる絶縁層５４とを備えている。第２のコイル１１、リード層１０、磁性層３２，３８および絶縁層５３，５４の上面は平坦化されている。絶縁層５３は、例えばフォトレジストによって形成されている。絶縁層５４は、例えばアルミナによって形成されている。

【0042】

磁性層３３は、磁性層３２の上に配置されている。磁性層３９は、磁性層３８および絶縁層５４の上に配置されている。磁性層３９は、媒体対向面８０に配置された端面を有している。磁気ヘッドは、更に、第２のコイル１１、リード層１０および絶縁層５３，５４の上面の上に配置された絶縁材料よりなる絶縁層５５と、磁性層３３，３９の周囲において絶縁層５５の上に配置された絶縁材料よりなる絶縁層５６とを備えている。磁性層３３，３９および絶縁層５６の上面は平坦化されている。絶縁層５５，５６は、例えばアルミナによって形成されている。

【0043】

図２に示したように、記録シールド１６は、第１のシールド１６Ａと、第２のシールド１６Ｂと、２つのサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄとを有している。２つのサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄは、主磁極１５のトラック幅方向ＴＷの両側に配置されている。第１のシールド１６Ａは、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置されている。第２のシールド１６Ｂは、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置されている。サイドシールド１６Ｃ，１６Ｄは、第１のシールド１６Ａと第２のシールド１６Ｂを磁気的に連結している。

【0044】

図１および図２に示したように、第１のシールド１６Ａは、第１の端面部分１６Ａａと、下面と、上面と、第１の端面部分１６Ａａと上面とを接続する接続面とを有している。第１のシールド１６Ａの接続面における任意の位置の媒体対向面８０からの距離は、任意の位置が基板１の上面１ａから離れるに従って大きくなっている。図２に示したように、第２のシールド１６Ｂは、第２の端面部分１６Ｂａを有している。サイドシールド１６Ｃは、第３の端面部分１６Ｃａを有している。サイドシールド１６Ｄは、第４の端面部分１６Ｄａを有している。

【0045】

第２のシールド１６Ｂは、磁性層３９の上に配置されている。磁性層３４は、磁性層３３の上に配置されている。磁気ヘッドは、更に、非磁性材料よりなる非磁性層５７を備えている。非磁性層５７は、第２のシールド１６Ｂおよび磁性層３４の周囲において、磁性層３９の上面の一部および絶縁層５６の上面の上に配置されている。非磁性層５７は、例えばアルミナによって形成されている。

【0046】

主磁極１５は、記録媒体の進行方向Ｔの前側の端に位置する面である上面（図１参照）と、上面とは反対側の下端部（図１参照）と、トラック幅方向ＴＷの両側に配置された第１および第２の側部（図２参照）とを有している。サイドシールド１６Ｃは、主磁極１５の第１の側部に対向する第１の側壁を有している。サイドシールド１６Ｄは、主磁極１５の第２の側部に対向する第２の側壁を有している。

【0047】

ギャップ部１７は、主磁極１５と記録シールド１６との間に設けられている。磁気ヘッドは、更に、非磁性材料よりなり、その一部がギャップ部１７の一部を構成する第１のギャップ層１９と、非磁性材料よりなり、その一部がギャップ部１７の他の一部を構成する第２のギャップ層１８とを備えている。第１のギャップ層１９のうち、ギャップ部１７の一部を構成する部分は、主磁極１５と第１のシールド１６Ａとの間に配置されている。第２のギャップ層１８のうち、ギャップ部１７の他の一部を構成する部分は、主磁極１５と第２のシールド１６Ｂおよびサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄとの間に配置されている。

【0048】

サイドシールド１６Ｃ，１６Ｄは、第２のシールド１６Ｂの上に配置され、第２のシールド１６Ｂの上面に接している。第２のギャップ層１８は、サイドシールド１６Ｃ，１６Ｄの側壁、第２のシールド１６Ｂおよび非磁性層５７の上面に沿って配置されている。第２のギャップ層１８は、非磁性材料によって形成されている。第２のギャップ層１８を構成する非磁性材料は、絶縁材料でもよいし、非磁性金属材料でもよい。第２のギャップ層１８を構成する絶縁材料としては、例えばアルミナが用いられる。第２のギャップ層１８を構成する非磁性金属材料としては、例えばＲｕが用いられる。

【0049】

主磁極１５は、第２のシールド１６Ｂおよび非磁性層５７の上面と主磁極１５との間に第２のギャップ層１８が介在するように、第２のシールド１６Ｂおよび非磁性層５７の上に配置されている。また、図２に示したように、主磁極１５とサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄとの間にも、第２のギャップ層１８が介在している。

【0050】

主磁極１５は、金属磁性材料によって形成されている。主磁極１５の材料としては、例えば、ＮｉＦｅ、ＣｏＮｉＦｅ、ＣｏＦｅのいずれかを用いることができる。主磁極１５の形状については、後で詳しく説明する。

【0051】

磁性層３５は、磁性層３４の上に配置されている。磁気ヘッドは、更に、主磁極１５、サイドシールド１６Ｃ，１６Ｄおよび磁性層３５の周囲に配置された非磁性材料よりなる非磁性層６１を備えている。本実施の形態では、特に、非磁性層６１は、アルミナ等の非磁性絶縁材料よりなる。

【0052】

磁気ヘッドは、更に、媒体対向面８０から離れた位置において、主磁極１５の上面の一部の上に配置された非磁性金属材料よりなる非磁性金属層５８と、この非磁性金属層５８の上面の上に配置された絶縁材料よりなる絶縁層５９とを備えている。非磁性金属層５８は、例えばＲｕ、ＮｉＣｒまたはＮｉＣｕによって形成されている。絶縁層５９は、例えばアルミナによって形成されている。

【0053】

第１のギャップ層１９は、主磁極１５、非磁性金属層５８および絶縁層５９を覆うように配置されている。第１のギャップ層１９は、非磁性材料によって形成されている。第１のギャップ層１９の材料は、アルミナ等の非磁性絶縁材料でもよいし、Ｒｕ、ＮｉＣｕ、Ｔａ、Ｗ、ＮｉＢ、ＮｉＰ等の非磁性導電材料でもよい。

【0054】

第１のシールド１６Ａは、サイドシールド１６Ｃ，１６Ｄおよび第１のギャップ層１９の上に配置され、サイドシールド１６Ｃ，１６Ｄおよび第１のギャップ層１９の上面に接している。媒体対向面８０において、第１のシールド１６Ａの第１の端面部分１６Ａａの一部は、主磁極１５の端面に対して、第１のギャップ層１９の厚みによる所定の間隔を開けて配置されている。第１のギャップ層１９の厚みは、５〜６０ｎｍの範囲内であることが好ましく、例えば３０〜６０ｎｍの範囲内である。主磁極１５の端面は、第１のギャップ層１９に隣接する辺を有し、この辺はトラック幅を規定している。

【0055】

磁性層３６は、磁性層３５の上に配置されている。磁性層４２は、媒体対向面８０から離れた位置において主磁極１５の上に配置されている。第１のコイル２１は、リード層２０に連続している。図４では、第１のコイル２１とリード層２０の境界を点線で示している。また、第１のコイル２１は、第１の連結部４１（磁性層４２）の周りに巻回され、且つその一部が第１の連結部４１（磁性層４２）と第２の連結部３１（磁性層３６）の間を通過している。

【0056】

磁気ヘッドは、更に、絶縁材料よりなる絶縁膜６２および絶縁層６３，６４を備えている。絶縁膜６２は、第１のコイル２１およびリード層２０のそれぞれの上面以外の面に接するように設けられている。絶縁層６３は、第１のコイル２１、リード層２０、第１のシールド１６Ａおよび磁性層３６の周囲に配置されている。第１のコイル２１、リード層２０、第１のシールド１６Ａ、磁性層３６，４２、絶縁膜６２および絶縁層６３の上面は平坦化されている。絶縁層６４は、第１のコイル２１、リード層２０および絶縁膜６２の上面の上に配置されている。絶縁膜６２および絶縁層６３，６４は、例えばアルミナによって形成されている。

【0057】

第２のヨーク層４０は、第１のシールド１６Ａ、磁性層３６，４２および絶縁層６４の上に配置されている。また、第２のヨーク層４０は、媒体対向面８０に向いた端面を有し、この端面は、媒体対向面８０から離れた位置に配置されている。第２のヨーク層４０の端面における任意の位置の媒体対向面８０からの距離は、任意の位置が基板１の上面１ａから離れるに従って大きくなっている。

【0058】

磁気ヘッドは、更に、第２のヨーク層４０の周囲に配置された絶縁材料よりなる絶縁層６８と、非磁性材料よりなり、記録ヘッド部９を覆うように配置された保護層７０とを備えている。絶縁層６８は、例えばアルミナによって形成されている。保護層７０は、例えば、アルミナ等の無機絶縁材料によって形成されている。

【0059】

以上説明したように、本実施の形態に係る磁気ヘッドは、記録媒体に対向する媒体対向面８０と再生ヘッド部８と記録ヘッド部９とを備えている。再生ヘッド部８と記録ヘッド部９は、基板１の上に積層されている。再生ヘッド部８は、記録ヘッド部９に対して、記録媒体の進行方向Ｔの後側（リーディング側）に配置されている。

【0060】

記録ヘッド部９は、第１のコイル２１と、第２のコイル１１と、リード層１０，２０と、主磁極１５と、記録シールド１６と、ギャップ部１７と、第１のヨーク層３０と、第２のヨーク層４０と、第１の連結部４１と、第２の連結部３１と、磁性層３８，３９とを有している。記録シールド１６は、第１のシールド１６Ａと、第２のシールド１６Ｂと、２つのサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄとを有している。ギャップ部１７は、第１のギャップ層１９の一部および第２のギャップ層１８の一部によって構成されている。

【0061】

第１のヨーク層３０は、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置されている。また、第１のヨーク層３０は、磁性層３８，３９を介して記録シールド１６の第２のシールド１６Ｂに磁気的に接続されている。第２のヨーク層４０は、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置されている。また、第２のヨーク層４０は、記録シールド１６の第１のシールド１６Ａに磁気的に接続されている。

【0062】

第１の連結部４１は、主磁極１５と第２のヨーク層４０とを磁気的に連結している。第２の連結部３１は、第１のヨーク層３０と第２のヨーク層４０とを磁気的に連結している。

【0063】

次に、図１、図３および図４を参照して、第１のコイル２１および第２のコイル１１について詳しく説明する。図１に示したように、第２のコイル１１は、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置されている。図３に示したように、第２のコイル１１は、第２の連結部３１（磁性層３２）の周りに巻回されている。図３に示した例では、第２のコイル１１は、第２の連結部３１（磁性層３２）に約２回巻かれている。また、第２のコイル１１は、第１のコイル２１に電気的に接続されたコイル接続部１１Ｓを有している。上方から見て、第２のコイル１１は、コイル接続部１１Ｓからリード層１０との境界に向かって時計回り方向に巻かれている。

【0064】

図４に示したように、第１のコイル２１は、第１の連結部４１（磁性層４２）の周りに巻回され、且つその一部が第１の連結部４１（磁性層４２）と第２の連結部３１（磁性層３６）の間を通過している。図４に示した例では、第１のコイル２１は、第１の連結部４１（磁性層４２）の周りに約１回巻かれている。

【0065】

また、第１のコイル２１は、第２のコイル１１のコイル接続部１１Ｓに電気的に接続されたコイル接続部２１Ｅを有している。上方から見て、第１のコイル２１は、リード層２０との境界からコイル接続部２１Ｅに向かって反時計回り方向に巻かれている。コイル接続部２１Ｅは、第１のコイル２１と第２のコイル１１との間の複数の層を貫通する図示しない柱状の接続層を介してコイル接続部１１Ｓに電気的に接続されている。接続層は、銅等の導電材料によって形成されている。図３および図４に示した例では、第１のコイル２１と第２のコイル１１は、直列に接続されている。

【0066】

次に、図１ないし図４を参照して、主磁極１５の形状について詳しく説明する。図３および図４に示したように、主磁極１５は、媒体対向面８０に配置された端面とその反対側の端部とを有するトラック幅規定部１５Ａと、トラック幅規定部１５Ａの端部に接続された幅広部１５Ｂとを含んでいる。また、図１および図２に示したように、主磁極１５は、記録媒体の進行方向Ｔの前側の端に位置する面である上面と、上面とは反対側の下端部と、第１の側部と、第２の側部とを有している。幅広部１５Ｂにおける上面のトラック幅方向ＴＷの幅は、トラック幅規定部１５Ａにおける上面のトラック幅方向ＴＷの幅よりも大きい。

【0067】

トラック幅規定部１５Ａにおける上面のトラック幅方向ＴＷの幅は、媒体対向面８０からの距離によらずにほぼ一定である。幅広部１５Ｂにおける上面のトラック幅方向ＴＷの幅は、例えば、トラック幅規定部１５Ａとの境界位置ではトラック幅規定部１５Ａにおける上面のトラック幅方向ＴＷの幅と等しく、媒体対向面８０から離れるに従って、徐々に大きくなった後、一定の大きさになっている。ここで、媒体対向面８０に垂直な方向についてのトラック幅規定部１５Ａの長さをネックハイトと呼ぶ。ネックハイトは、例えば０〜０．３μｍの範囲内である。ネックハイトが０の場合は、トラック幅規定部１５Ａがなく、幅広部１５Ｂの端面が媒体対向面８０に配置される。

【0068】

主磁極１５の上面は、媒体対向面８０に近い順に、連続するように配置された第１の部分、第２の部分、第３の部分および第４の部分を含んでいる。第１の部分は、媒体対向面８０に配置された第１の端部と、その反対側の第２の端部とを有している。第２の部分は、第１の部分の第２の端部に接続されている。第３の部分は、第２の部分に接続された第１の端部と、第１の端部よりも媒体対向面８０からより遠い位置に配置された第２の端部とを有している。第４の部分は、第３の部分の第２の端部に接続されている。第１および第３の部分は、それぞれ、その第２の端部がその第１の端部に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置されるように傾斜している。第２および第４の部分は、実質的に媒体対向面８０に垂直な方向に延在している。第１のシールド１６Ａの下面は、ギャップ部１７の一部を構成する第１のギャップ層１９を介して、主磁極１５の上面の第１の部分に対向する部分を含んでいる。

【0069】

主磁極１５の下端部は、媒体対向面８０に近い順に、連続するように配置された第１の部分、第２の部分、第３の部分および第４の部分を含んでいる。第１の部分は、媒体対向面８０に配置された第１の端部と、その反対側の第２の端部とを有している。第２の部分は、第１の部分の第２の端部に接続されている。第３の部分は、第２の部分に接続された第１の端部と、第１の端部よりも媒体対向面８０からより遠い位置に配置された第２の端部とを有している。第１ないし第３の部分は、２つの面が交わってできるエッジでもよいし、２つの面を連結する面でもよい。第４の部分は、第３の部分の第２の端部に接続された面である。第１および第３の部分は、それぞれ、その第２の端部がその第１の端部に対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置されるように傾斜している。第２および第４の部分は、実質的に媒体対向面８０に垂直な方向に延在している。

【0070】

媒体対向面８０に配置された主磁極１５の端面は、第１のギャップ層１９に隣接する第１の辺と、第１の辺の一端部に接続された第２の辺と、第１の辺の他端部に接続された第３の辺とを有している。第１の辺はトラック幅を規定する。記録媒体に記録される記録ビットの端部の位置は、第１の辺の位置によって決まる。媒体対向面８０に配置された主磁極１５の端面のトラック幅方向ＴＷの幅は、第１の辺から離れるに従って、すなわち基板１の上面１ａに近づくに従って小さくなっている。第２の辺と第３の辺がそれぞれ基板１の上面１ａに垂直な方向に対してなす角度は、例えば７°〜１７°の範囲内であり、１０°〜１５°の範囲内であることが好ましい。第１の辺の長さは、例えば０．０５〜０．２０μｍの範囲内である。

【0071】

次に、本実施の形態に係る磁気ヘッドの作用および効果について説明する。この磁気ヘッドでは、記録ヘッド部９によって記録媒体に情報を記録し、再生ヘッド部８によって、記録媒体に記録されている情報を再生する。記録ヘッド部９において、第１のコイル２１および第２のコイル１１は、記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生する。第１のコイル２１によって発生された磁界に対応する磁束は、第１の連結部４１と主磁極１５を通過する。第２のコイル１１によって発生された磁界に対応する磁束は、第２の連結部３１、第２のヨーク層４０、第１の連結部４１および主磁極１５を通過する。従って、主磁極１５は、第１のコイル２１によって発生された磁界に対応する磁束と第２のコイル１１によって発生された磁界に対応する磁束とを通過させる。

【0072】

なお、第１のコイル２１および第２のコイル１１は、直列に接続されていてもよいし、並列に接続されていてもよい。いずれにしても、主磁極１５において、第１のコイル２１によって発生された磁界に対応する磁束と第２のコイル１１によって発生された磁界に対応する磁束が同じ方向に流れるように、第１のコイル２１および第２のコイル１１は接続される。

【0073】

主磁極１５は、上述のように第１のコイル２１および第２のコイル１１によって発生された磁界に対応する磁束を通過させて、垂直磁気記録方式によって情報を記録媒体に記録するための記録磁界を発生する。

【0074】

記録シールド１６は、磁気ヘッドの外部から磁気ヘッドに印加された外乱磁界を取り込む。これにより、外乱磁界が主磁極１５に集中して取り込まれることによって記録媒体に対して誤った記録が行なわれることを防止することができる。また、記録シールド１６は、主磁極１５の端面より発生されて記録媒体の面に垂直な方向以外の方向に広がる磁束を取り込んで、この磁束が記録媒体に達することを阻止する機能を有している。

【0075】

また、記録シールド１６、第１のヨーク層３０、第２のヨーク層４０、第１の連結部４１、第２の連結部３１および磁性層３８，３９は、主磁極１５の端面より発生されて、記録媒体を磁化した磁束を還流させる機能を有している。具体的に説明すると、主磁極１５の端面より発生されて、記録媒体を磁化した磁束の一部は、記録シールド１６、第２のヨーク層４０および第１の連結部４１（磁性層４２）を経由する第１の磁路を通過して主磁極１５に還流する。また、主磁極１５の端面より発生されて、記録媒体を磁化した磁束の他の一部は、記録シールド１６、磁性層３９，３８、第１のヨーク層３０、第２の連結部３１（磁性層３２〜３６）、第２のヨーク層４０および第１の連結部４１を経由する第２の磁路を通過して主磁極１５に還流する。このように、本実施の形態では、記録シールド１６から主磁極１５に至る第１および第２の磁路が形成される。第１の磁路は、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置されて、主磁極１５のうちの媒体対向面８０から離れた部分と記録シールド１６とを接続する。

【0076】

記録シールド１６は、第１のシールド１６Ａと、第２のシールド１６Ｂと、２つのサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄとを有している。これにより、本実施の形態によれば、主磁極１５の端面に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側および後側ならびにトラック幅方向ＴＷの両側において、主磁極１５の端面より発生されて記録媒体の面に垂直な方向以外の方向に広がる磁束を取り込んで、この磁束が記録媒体に達することを抑制することができる。その結果、本実施の形態によれば、スキューに起因した隣接トラック消去の発生を抑制することができる。第１および第２のシールド１６Ａ，１６Ｂは、スキューに起因した隣接トラック消去の発生を抑制することに寄与する他に、記録磁界の勾配を大きくすることに寄与する。サイドシールド１６Ｃ，１６Ｄは、特に隣接トラック消去を抑制することへの寄与が大きい。このような記録シールド１６の機能により、本実施の形態によれば、記録密度を高めることができる。

【0077】

また、本実施の形態では、図２に示したように、媒体対向面８０において、トラック幅方向ＴＷにおける主磁極１５の第１および第２の側部の間隔すなわち主磁極１５の端面の幅は、基板１の上面１ａに近づくに従って小さくなっている。本実施の形態によれば、この特徴によっても、スキューに起因した隣接トラック消去の発生を抑制することができる。

【0078】

また、本実施の形態では、媒体対向面８０において、トラック幅方向ＴＷにおけるサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄにおける第１および第２の側壁の間隔は、主磁極１５の第１および第２の側部の間隔と同様に、基板１の上面１ａに近づくに従って小さくなっている。従って、本実施の形態によれば、媒体対向面８０において、第１の側部と第１の側壁との間隔、ならびに第２の側部と第２の側壁との間隔を、小さく、且つ均一にすることが可能になる。これにより、サイドシールド１６Ｃ，１６Ｄによって、主磁極１５の端面より発生されてトラック幅方向ＴＷの両側に広がる磁束を、効果的に取り込むことができる。その結果、本実施の形態によれば、特にサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄの機能を高めることが可能になり、スキューに起因した隣接トラック消去の発生をより効果的に抑制することが可能になる。

【0079】

記録シールド１６の機能を効果的に発揮させるためには、記録シールド１６によって多くの磁束を取り込めることが重要である。そのため、本実施の形態のように、磁気ヘッドが、記録シールド１６から主磁極１５に至る第１および第２の磁路を備えることは有効である。

【0080】

また、本実施の形態では、主磁極１５の上面は、その第２の端部がその第１の端部に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置されるように傾斜した第１および第３の部分を含み、主磁極１５の下端部は、その第２の端部がその第１の端部に対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置されるように傾斜した第１および第３の部分を含んでいる。これにより、本実施の形態によれば、媒体対向面８０における主磁極１５の厚みを小さくすることができることから、スキューに起因した隣接トラック消去の発生を抑制することができる。また、媒体対向面８０から離れた位置では主磁極１５の厚みを大きくすることができることから、主磁極１５によって多くの磁束を媒体対向面８０まで導くことができ、その結果、オーバーライト特性等の記録特性を向上させることができる。

【0081】

また、記録密度を高めるために記録信号の周波数が高くなってくると、磁気ヘッドには、主磁極１５の端面より発生される磁束の方向の変化の速度の向上が求められる。また、記録ビットの端部の位置は、媒体対向面８０に配置された主磁極１５の端面のうち、記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置された端部の位置によって決まる。そのため、記録密度を高めるためには、主磁極１５の端面より発生される磁束の方向の変化の速度の向上と共に、第１のシールド１６Ａを通過する磁束の方向の変化の速度の向上も求められる。この要求に応えるためには、第１のシールド１６Ａと主磁極１５を経由する磁路の長さを短くすることが有効である。本実施の形態では、主磁極１５と第１のシールド１６Ａとを接続する第１の磁路を設けることによって、第１の磁路が設けられていない場合に比べて、上記の磁路の長さを短くすることができる。

【0082】

また、本実施の形態では、主磁極１５、ギャップ部１７（ギャップ層１９の一部）、記録シールド１６および第１の磁路（第２のヨーク層４０および第１の連結部４１）は、これらによって囲まれた空間を形成する。この空間を通過する第１のコイル２１の巻き数は約１回である。本実施の形態によれば、第１のコイル２１の巻き数を少なくすることによって、第１の磁路の長さをより短くすることが可能になる。これにより、主磁極１５の端面より発生される磁束の方向の変化の速度と、第１のシールド１６Ａを通過する磁束の方向の変化の速度の両方を向上させることができ、その結果、記録密度を高めることが可能になる。

【0083】

しかし、第１のコイル２１の巻き数を少なくしただけでは、第１のコイル２１による起磁力が小さくなって、主磁極１５から十分な大きさの記録磁界を発生させることができなくなるおそれがある。これに対し、本実施の形態では、第１の磁路および第１のコイル２１に加えて、第２の磁路および第２のコイル１１が設けられている。これにより、第１のコイル２１の巻き数を少なくして第１の磁路の長さを短くしても、第１のコイル２１の起磁力および第２のコイル１１の起磁力によって、主磁極１５から十分な大きさの記録磁界を発生させることが可能になる。

【0084】

本実施の形態では、特に、第２のコイル１１の巻き数は約２回であり、第１のコイル２１の巻き数は約１回である。ここで、第２のコイル１１が設けられておらず、第１のコイル２１の巻き数が３回である比較例の磁気ヘッドを考える。比較例の磁気ヘッドのその他の構成は、本実施の形態に係る磁気ヘッドと同様である。本実施の形態における第１のコイル２１および第２のコイル１１による合計の起磁力は、比較例の磁気ヘッドにおける第１のコイル２１による起磁力とほぼ等しくなる。一方、本実施の形態では、比較例の磁気ヘッドに比べて、第１のコイル２１の巻き数が少ないことから、第１の磁路の長さを短くすることができる。このようにして、本実施の形態によれば、主磁極１５から発生される記録磁界の大きさを比較例の磁気ヘッドと同等にしながら、比較例の磁気ヘッドよりも、第１の磁路の長さを短くすることができる。

【0085】

また、本実施の形態では、第１のコイル２１の巻き数に制約されることなく、第２のコイル１１の巻き数を多くすることができる。第２のコイル１１の巻き数は、第１のコイル２１の巻き数以上であってもよいし、第１のコイル２１の巻き数よりも多くてもよい。そして、このように第２のコイル１１の巻き数を多くすることによって、第２のコイル１１による起磁力を大きくすることが可能になる。

【0086】

特に、本実施の形態では、第２の連結部３１は、第１の連結部４１に対して、媒体対向面８０からより遠い位置に配置されている。これにより、容易に、第２の連結部３１の周りに巻回される第２のコイル１１の巻き数を多くすることができる。

【0087】

また、本実施の形態では、第２のコイル１１は、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置されている。従って、第１のコイル２１の配置に制約されることなく、第２のコイル１１を配置することができる。これによって、容易に、第２のコイル１１の巻き数を多くすることができる。

【0088】

以上のことから、本実施の形態によれば、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置された第１の磁路の長さを短くしながら、主磁極１５から十分な大きさの記録磁界を発生させることが可能になる。

【0089】

［第２の実施の形態］
次に、図５ないし図７を参照して、本発明の第２の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図５は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図５は前記主断面を示している。図６は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第１のコイルの第１層を示す平面図である。図７は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第１のコイルの第２層を示す平面図である。

【0090】

本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第１の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態では、第１の連結部４１は、磁性層４２に加えて、磁性層４２の上に配置された磁性層４３を含んでいる。また、第２の連結部３１は、磁性層３２〜３６に加えて、磁性層３６の上に配置された磁性層３７を含んでいる。また、記録ヘッド部９は、第１のシールド１６Ａの上に積層された磁性材料よりなる磁性層４４を有している。磁性層４４は、媒体対向面８０に向いた端面を有し、この端面は、媒体対向面８０から離れた位置に配置されている。磁性層４４の端面における任意の位置の媒体対向面８０からの距離は、任意の位置が基板１の上面１ａから離れるに従って大きくなっている。磁性層４４の材料としては、例えばＣｏＦｅＮ、ＣｏＮｉＦｅ、ＮｉＦｅ、ＣｏＦｅのいずれかを用いることができる。

【0091】

また、本実施の形態では、記録ヘッド部９は、第１の実施の形態における第１のコイル２１の代わりに、第１層２２Ａおよび第２層２２Ｂを有する第１のコイル２２を有している。第１のコイル２２は、銅等の導電材料によって形成されている。

【0092】

第１層２２Ａの、第１の連結部４１（磁性層４２）および第２の連結部３１（磁性層３６）に対する位置関係は、第１の実施の形態における第１のコイル２１と同様である。すなわち、第１層２２Ａは、第１の連結部４１（磁性層４２）の周りに巻回され、且つその一部が第１の連結部４１（磁性層４２）と第２の連結部３１（磁性層３６）との間を通過している。図６に示した例では、第１層２２Ａは、第１の連結部４１（磁性層４２）の周りに約１回巻かれている。

【0093】

また、第１層２２Ａは、第２層２２Ｂに電気的に接続されたコイル接続部２２ＡＳと、第２のコイル１１のコイル接続部１１Ｓ（図３参照）に電気的に接続されたコイル接続部２２ＡＥとを有している。上方から見て、第１層２２Ａは、コイル接続部２２ＡＳからコイル接続部２２ＡＥに向かって反時計回り方向に巻かれている。コイル接続部２２ＡＥは、第１の実施の形態で説明した接続層を介してコイル接続部１１Ｓに電気的に接続されている。

【0094】

図７に示したように、第２層２２Ｂは、リード層２０に連続している。図７では、第２層２２Ｂとリード層２０の境界を点線で示している。また、第２層２２Ｂは、第１の連結部４１（磁性層４３）の周りに巻回され、且つその一部が第１の連結部４１（磁性層４３）と第２の連結部３１（磁性層３７）との間を通過している。図７に示した例では、第２層２２Ｂは、第１の連結部４１（磁性層４３）の周りに約１回巻かれている。

【0095】

また、第２層２２Ｂは、第１層２２Ａのコイル接続部２２ＡＳに電気的に接続されたコイル接続部２２ＢＥを有している。上方から見て、第２層２２Ｂは、リード層２０との境界からコイル接続部２２ＢＥに向かって反時計回り方向に巻かれている。

【0096】

また、本実施の形態に係る磁気ヘッドは、絶縁材料よりなる絶縁膜６５および絶縁層６６，６７を備えている。絶縁膜６５は、第２層２２Ｂおよびリード層２０のそれぞれの上面以外の面に接するように設けられている。絶縁層６６は、第２層２２Ｂ、リード層２０および磁性層３７，４４の周囲に配置されている。第２層２２Ｂ、リード層２０、磁性層３７，４３，４４、絶縁膜６５および絶縁層６６の上面は平坦化されている。絶縁層６７は、第２層２２Ｂ、リード層２０および絶縁膜６５の上面の上に配置されている。絶縁膜６５および絶縁層６６，６７は、例えばアルミナによって形成されている。

【0097】

絶縁層６４および絶縁膜６５には、第１層２２Ａのコイル接続部２２ＡＳを露出させる開口部が形成されている。第２層２２Ｂのコイル接続部２２ＢＥは、絶縁層６４および絶縁膜６５に形成された開口部を通して、コイル接続部２２ＡＳに電気的に接続されている。

【0098】

また、本実施の形態では、第２のヨーク層４０は、磁性層３７，４３，４４および絶縁層６７の上に配置されている。第１の連結部４１（磁性層４２，４３）は、主磁極１５と第２のヨーク層４０とを磁気的に連結している。第２の連結部３１（磁性層３２〜３７）は、第１のヨーク層３０と第２のヨーク層４０とを磁気的に連結している。磁性層４４は、記録シールド１６の第１のシールド１６Ａと第２のヨーク層４０とを磁気的に連結している。

【0099】

本実施の形態では、第１のコイル２２の第１層２２Ａと第２層２２Ｂによって発生された磁界に対応する磁束は、第１の連結部４１と主磁極１５を通過する。本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第１の実施の形態と同様である。

【0100】

［第３の実施の形態］
次に、図８ないし図１０を参照して、本発明の第３の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図８は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図８は前記主断面を示している。図９は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第２のコイルを示す平面図である。図１０は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第１のコイルを示す平面図である。

【0101】

本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第１の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態では、記録ヘッド部９は、第１の実施の形態における第１のコイル２１および第２のコイル１１の代わりに、第１のコイル２３および第２のコイル１２を有している。第１のコイル２３および第２のコイル１２は、いずれも、銅等の導電材料によって形成されている。

【0102】

第２のコイル１２の、主磁極１５、第２の連結部３１（磁性層３２）およびリード層１０に対する位置関係は、第１の実施の形態における第２のコイル１１と同様である。すなわち、第２のコイル１２は、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置され、第２の連結部３１（磁性層３２）の周りに巻回されている。図９に示した例では、第２のコイル１２は、第２の連結部３１（磁性層３２）の周りに約４回巻かれている。リード層１０は、第２のコイル１２に連続している。図９では、第２のコイル１２とリード層１０の境界を点線で示している。また、第２のコイル１２は、第１のコイル２３に電気的に接続されたコイル接続部１２Ｓを有している。上方から見て、第２のコイル１２は、コイル接続部１２Ｓからリード層１０との境界に向かって時計回り方向に巻かれている。

【0103】

第１のコイル２３の、リード層２０、第１の連結部４１（磁性層４２）および第２の連結部３１（磁性層３６）に対する位置関係は、第１の実施の形態における第１のコイル２１と同様である。すなわち、第１のコイル２３は、リード層２０に連続している。図１０では、第１のコイル２３とリード層２０の境界を点線で示している。また、第１のコイル２３は、第１の連結部４１（磁性層４２）の周りに巻回され、且つその一部が第１の連結部４１（磁性層４２）と第２の連結部３１（磁性層３６）との間を通過している。図１０に示した例では、第１のコイル２３は、第１の連結部４１（磁性層４２）の周りに約２回巻かれている。また、第１のコイル２３は、第２のコイル１２のコイル接続部１２Ｓに電気的に接続されたコイル接続部２３Ｅを有している。上方から見て、第１のコイル２３は、リード層２０との境界からコイル接続部２３Ｅに向かって反時計回り方向に巻かれている。

【0104】

また、本実施の形態では、記録ヘッド部９は、更に、前記主断面から離れた位置において第１のコイル２３と第２のコイル１２の間に配置されたリード層８１を有している。リード層８１は、銅等の導電材料によって形成されている。図１０に示したように、リード層８１は、媒体対向面８０に垂直な方向に延びている。第１のコイル２３のコイル接続部２３Ｅは、第１のコイル２３と第２のコイル１２との間の複数の層を貫通する図示しない柱状の接続層とリード層８１を介して、第２のコイル１２のコイル接続部１２Ｓに電気的に接続されている。接続層とリード層８１は直列に接続されている。この場合、リード層８１がコイル接続部１２Ｓに直接接続され、接続層がリード層８１とコイル接続部２３Ｅとを接続していてもよい。あるいは、リード層８１がコイル接続部２３Ｅに直接接続され、接続層がリード層８１とコイル接続部１２Ｓとを接続していてもよい。

【0105】

また、本実施の形態に係る磁気ヘッドは、第１のコイル２３の巻線間に配置された絶縁材料よりなる絶縁層６９を備えている。絶縁層６９は、例えばフォトレジストによって形成されている。

【0106】

また、本実施の形態では、主磁極１５の上面は、第１の実施の形態で説明した第１ないし第４の部分のうち、第２および第３の部分を含んでいない。主磁極１５の上面において、第４の部分は、第１の部分の第２の端部に接続されている。

【0107】

本実施の形態では、第１のコイル２３によって発生された磁界に対応する磁束は、第１の連結部４１と主磁極１５を通過する。第２のコイル１２によって発生された磁界に対応する磁束は、第２の連結部３１、第２のヨーク層４０、第１の連結部４１および主磁極１５を通過する。本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第１の実施の形態と同様である。

【0108】

［第４の実施の形態］
次に、図１１および図１２を参照して、本発明の第４の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図１１は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図１１は前記主断面を示している。図１２は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第１および第２のコイルを示す平面図である。

【0109】

本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第１の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態では、磁性層３２，３３，３８，３９および絶縁層５２〜５６が設けられていない。本実施の形態における第１のヨーク層３０は、媒体対向面８０に配置された端面を有すると共に、記録シールド１６の第２のシールド１６Ｂに接し、第２のシールド１６Ｂに磁気的に接続されている。磁性層３４は、第１のヨーク層３０の上面に接している。

【0110】

また、本実施の形態では、記録ヘッド部９は、第１の実施の形態における第１のコイル２１および第２のコイル１１の代わりに、第１のコイル２４および第２のコイル２５を有している。図１２では、第１のコイル２４、第２のコイル２５およびリード層２０の境界を点線で示している。第１および第２のコイル２４，２５は、いずれも、銅等の導電材料によって形成されている。

【0111】

第１のコイル２４の、リード層２０、第１の連結部４１（磁性層４２）および第２の連結部３１（磁性層３６）に対する位置関係は、第１の実施の形態における第１のコイル２１と同様である。すなわち、第１のコイル２４は、リード層２０に連続している。また、第１のコイル２４は、第１の連結部４１（磁性層４２）の周りに巻回され、且つその一部が第１の連結部４１（磁性層４２）と第２の連結部３１（磁性層３６）との間を通過している。図１２に示した例では、第１のコイル２４は、第１の連結部４１（磁性層４２）の周りに約１回巻かれている。

【0112】

第２のコイル２５は、第１のコイル２４に連続し、第２の連結部３１（磁性層３６）の周りに巻回されている。図１２に示した例では、第２のコイル２５は、第２の連結部３１（磁性層３６）の周りに約１回巻かれている。また、第２のコイル２５は、リード層１０に電気的に接続されたコイル接続部２５Ｅを有している。

【0113】

上方から見て、第１のコイル２４は、リード層２０との境界から第２のコイル２５との境界に向かって反時計回り方向に巻かれている。上方から見て、第２のコイル２５は、第１のコイル２４との境界からコイル接続部２５Ｅに向かって時計回り方向に巻かれている。第１および第２のコイル２４，２５の巻線間、ならびに、第１のコイル２４および第２のコイル２５の周囲には、絶縁層６３が配置されている。

【0114】

なお、リード層１０は、第１および第２のコイル２４，２５よりも基板１の上面１ａにより近い位置に配置されていてもよいし、第１および第２のコイル２４，２５よりも基板１の上面１ａからより遠い位置に配置されていてもよい。

【0115】

本実施の形態では、第２のコイル２５は、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置されている。第１のコイル２４によって発生された磁界に対応する磁束は、第１の連結部４１と主磁極１５を通過する。第２のコイル２５によって発生された磁界に対応する磁束は、第２の連結部３１、第２のヨーク層４０、第１の連結部４１および主磁極１５を通過する。

【0116】

本実施の形態では、第１の実施の形態において第２のコイル１１が主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置されていることによる効果は得られない。その代わり、本実施の形態によれば、再生ヘッド部８と主磁極１５との間にコイルが存在しないことから、再生ヘッド部８と主磁極１５との間の距離を小さくすることが可能になる。本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第１の実施の形態と同様である。

【0117】

［第５の実施の形態］
次に、図１３および図１４を参照して、本発明の第５の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図１３は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図１３は前記主断面を示している。図１４は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第２のコイルを示す平面図である。

【0118】

本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第４の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態では、記録ヘッド部９は、第４の実施の形態における第１のコイル２４の代わりに、第１の実施の形態における第１のコイル２１を有している。

【0119】

また、本実施の形態では、記録ヘッド部９は、第４の実施の形態における第２のコイル２５の代わりに、第２のコイル２６を有している。ここで、媒体対向面８０に配置された主磁極１５の端面と交差し、記録媒体の進行方向Ｔに垂直な仮想の平面を想定する。第２のコイル２６は、上記仮想の平面と交差する位置に配置されている。第２のコイル２６は、銅等の導電材料によって形成されている。

【0120】

図１４に示したように、第２のコイル２６は、第２の連結部３１（磁性層３５）の周りに巻回されている。図１４に示した例では、第２のコイル２６は、第２の連結部３１（磁性層３５）の周りに約１回巻かれている。リード層１０は、第２のコイル２６に連続している。図１４では、第２のコイル２６とリード層１０の境界を点線で示している。

【0121】

また、第２のコイル２６は、第１のコイル２１のコイル接続部２１Ｅ（図４参照）に電気的に接続されたコイル接続部２６Ｓを有している。上方から見て、第２のコイル２６は、コイル接続部２６Ｓからリード層１０との境界に向かって時計回り方向に巻かれている。

【0122】

第１のコイル２１と第２のコイル２６の間には、絶縁膜６２が介在している。絶縁膜６２には、コイル接続部２６Ｓを露出させる開口部が形成されている。コイル接続部２６Ｓは、絶縁膜６２に形成された開口部を通して、コイル接続部２１Ｅに電気的に接続されている。

【0123】

第２のコイル２６およびリード層１０の周囲には、非磁性層６１が配置されている。また、本実施の形態に係る磁気ヘッドは、第２のコイル２６およびリード層１０と、主磁極１５、第２のギャップ層１８、磁性層３５および非磁性層５７との間に介在する絶縁材料よりなる絶縁膜６０を備えている。絶縁膜６０は、例えばアルミナによって形成されている。

【0124】

本実施の形態では、第２のコイル２６によって発生された磁界に対応する磁束は、第２の連結部３１、第２のヨーク層４０、第１の連結部４１および主磁極１５を通過する。本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第１または第４の実施の形態と同様である。

【0125】

［第６の実施の形態］
次に、図１５ないし図１７を参照して、本発明の第６の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図１５は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図１５は前記主断面を示している。図１６は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第２のコイルを示す平面図である。図１７は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第１のコイルを示す平面図である。

【0126】

本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第５の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態では、記録ヘッド部９は、第５の実施の形態における第２のコイル２６の代わりに、第２のコイル２７を有している。第２のコイル２７は、銅等の導電材料によって形成されている。

【0127】

第２のコイル２７の、主磁極１５および第２の連結部３１（磁性層３５）に対する位置関係は、第５の実施の形態における第２のコイル２６と同様である。すなわち、第２のコイル２７は、第５の実施の形態で説明した仮想の平面と交差する位置に配置されている。また、第２のコイル２７は、第２の連結部３１（磁性層３５）の周りに巻回されている。図１６に示した例では、第２のコイル２７は、第２の連結部３１（磁性層３５）の周りに約２回巻かれている。第２のコイル２７の巻線間および周囲には、非磁性層６１が配置されている。

【0128】

また、本実施の形態では、リード層１０は、第１のコイル２１およびリード層２０と同一平面上に位置する。第２のコイル２７は、第１のコイル２１のコイル接続部２１Ｅに電気的に接続されたコイル接続部２７Ｓと、リード層１０に電気的に接続されたコイル接続部２７Ｅとを有している。上方から見て、第２のコイル２７は、コイル接続部２７Ｓからコイル接続部２７Ｅに向かって時計回り方向に巻かれている。なお、リード層１０は、第２のコイル２７よりも基板１の上面１ａにより近い位置に配置されていてもよい。

【0129】

第１のコイル２１およびリード層１０と、第２のコイル２７との間には、絶縁膜６２が介在している。絶縁膜６２には、コイル接続部２７Ｓ，２７Ｅを露出させる開口部が形成されている。コイル接続部２７Ｓは、絶縁膜６２に形成された開口部のうちの１つを通して、コイル接続部２１Ｅに電気的に接続されている。なお、図１７に示したように、本実施の形態では、コイル接続部２１Ｅは、第１の実施の形態における図４に示した位置とは異なる位置に配置されている。コイル接続部２７Ｅは、絶縁膜６２に形成された開口部のうちの他の１つを通して、リード層１０に電気的に接続されている。

【0130】

本実施の形態では、第２のコイル２７によって発生された磁界に対応する磁束は、第２の連結部３１、第２のヨーク層４０、第１の連結部４１および主磁極１５を通過する。本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第５の実施の形態と同様である。

【0131】

［第７の実施の形態］
次に、図１８を参照して、本発明の第７の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図１８は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図１８は前記主断面を示している。

【0132】

本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第５の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態では、記録ヘッド部９は、第５の実施の形態における第１のコイル２１の代わりに、第４の実施の形態における第１のコイル２４を有している。また、記録ヘッド部９は、第５の実施の形態における第２のコイル２６の代わりに、第１層２６Ａおよび第２層２５Ｂを有する第２のコイルを有している。第１層２６Ａの形状および配置は、第５の実施の形態における第２のコイル２６と同じである。第２層２５Ｂの形状および配置は、第４の実施の形態における第２のコイル２５と同じである。また、第２のコイルは、第１層２６Ａに設けられたコイル接続部２６Ｓ（図１４参照）と、第２層２５Ｂに設けられたコイル接続部２５Ｅ（図１２参照）とを有している。コイル接続部２５Ｅは、絶縁膜６２に形成された開口部を通して、コイル接続部２６Ｓに電気的に接続されている。本実施の形態では、第２のコイルの一部である第１層２６Ａが、第５の実施の形態で説明した仮想の平面と交差する位置に配置されている。

【0133】

本実施の形態では、第２のコイルの第１層２６Ａと第２層２５Ｂによって発生された磁界に対応する磁束は、第２の連結部３１、第２のヨーク層４０、第１の連結部４１および主磁極１５を通過する。本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第４または第５の実施の形態と同様である。

【0134】

［第８の実施の形態］
次に、図１９ないし図２１を参照して、本発明の第８の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図１９は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図１９は前記主断面を示している。図２０は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第１のコイルの第１層と第２のコイルの第１層を示す平面図である。図２１は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第１のコイルの第２層と第２のコイルの第２層を示す平面図である。

【0135】

本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第２の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態では、第４の実施の形態と同様に、磁性層３２，３３，３８，３９および絶縁層５２〜５６が設けられていない。本実施の形態における第１のヨーク層３０の形状および配置は、第４の実施の形態と同じである。

【0136】

また、本実施の形態では、記録ヘッド部９は、第２の実施の形態における第１のコイル２２および第２のコイル１１の代わりに、第１のコイル２８および第２のコイル２９を有している。第１のコイル２８は、第１層２８Ａと第２層２８Ｂとを有している。第２のコイル２９は、第１層２９Ａと第２層２９Ｂとを有している。第１および第２のコイル２８，２９は、いずれも、銅等の導電材料によって形成されている。

【0137】

図２０は、第１のコイル２８の第１層２８Ａと第２のコイル２９の第１層２９Ａを示す平面図である。第１層２８Ａ，２９Ａは、同一平面上に位置し、互いに連続している。図２０では、第１層２８Ａ，２９Ａの境界を点線で示している。

【0138】

第１層２８Ａの、第１の連結部４１（磁性層４２）および第２の連結部３１（磁性層３６）に対する位置関係は、第２の実施の形態における第１層２２Ａと同様である。すなわち、第１層２８Ａは、第１の連結部４１（磁性層４２）の周りに巻回され、且つその一部が第１の連結部４１（磁性層４２）と第２の連結部３１（磁性層３６）との間を通過している。図２０に示した例では、第１層２８Ａは、第１の連結部４１（磁性層４２）の周りに約１回巻かれている。また、第１のコイル２８は、第１層２８Ａに設けられたコイル接続部２８ＡＳを有している。

【0139】

第１層２９Ａは、第２の連結部３１（磁性層３６）の周りに巻回されている。図２０に示した例では、第１層２９Ａは、第２の連結部３１（磁性層３６）の周りに約１回巻かれている。また、第２のコイル２９は、第１層２９Ａに設けられたコイル接続部２９ＡＥを有している。

【0140】

上方から見て、第１層２８Ａは、コイル接続部２８ＡＳから第１層２９Ａとの境界に向かって反時計回り方向に巻かれている。上方から見て、第１層２９Ａは、第１層２８Ａとの境界からコイル接続部２９ＡＥに向かって時計回り方向に巻かれている。第１層２８Ａ，２９Ａの巻線間および周囲には、絶縁層６３が配置されている。

【0141】

また、本実施の形態では、リード層１０は、第１層２８Ａ，２９Ａよりも基板１の上面１ａにより近い位置に配置されている。第１層２９Ａに設けられたコイル接続部２９ＡＥは、リード層１０に電気的に接続されている。

【0142】

図２１は、第１のコイル２８の第２層２８Ｂと第２のコイル２９の第２層２９Ｂを示す平面図である。第２層２８Ｂ，２９Ｂおよびリード層２０は、同一平面上に位置し、互いに連続している。図２１では、第２層２８Ｂ，２９Ｂおよびリード層２０の境界を点線で示している。

【0143】

第２層２９Ｂは、第２の連結部３１（磁性層３７）の周りに巻回されている。図２１に示した例では、第２層２９Ｂは、第２の連結部３１（磁性層３７）の周りに約１回巻かれている。

【0144】

第２層２８Ｂの、第１の連結部４１（磁性層４３）および第２の連結部３１（磁性層３７）に対する位置関係は、第２の実施の形態における第２層２２Ｂと同様である。すなわち、第２層２８Ｂは、第１の連結部４１（磁性層４３）の周りに巻回され、且つその一部が第１の連結部４１（磁性層４３）と第２の連結部３１（磁性層３７）との間を通過している。図２１に示した例では、第２層２８Ｂは、第１の連結部４１（磁性層４３）の周りに約１回巻かれている。また、第１のコイル２８は、第２層２８Ｂに設けられたコイル接続部２８ＢＥを有している。

【0145】

上方から見て、第２層２９Ｂは、リード層２０との境界から第２層２８Ｂとの境界に向かって時計回り方向に巻かれている。上方から見て、第２層２８Ｂは、第２層２９Ｂとの境界からコイル接続部２９ＢＥに向かって反時計回り方向に巻かれている。第２層２８Ｂ，２９Ｂの巻線間および周囲には、絶縁層６６が配置されている。

【0146】

第１層２８Ａと第２層２８Ｂの間には、絶縁層６４および絶縁膜６５が介在している。絶縁層６４および絶縁膜６５には、第１層２８Ａに設けられたコイル接続部２８ＡＳを露出させる開口部が形成されている。コイル接続部２８ＢＥは、絶縁層６４および絶縁膜６５に形成された開口部を通して、コイル接続部２８ＡＳに電気的に接続されている。

【0147】

本実施の形態では、第２のコイル２９は、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置されている。第１のコイル２８の第１層２８Ａと第２層２８Ｂによって発生された磁界に対応する磁束は、第１の連結部４１と主磁極１５を通過する。第２のコイル２９の第１層２９Ａと第２層２９Ｂによって発生された磁界に対応する磁束は、第２の連結部３１、第２のヨーク層４０、第１の連結部４１および主磁極１５を通過する。本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第２または第４の実施の形態と同様である。

【0148】

［第９の実施の形態］
次に、図２２および図２３を参照して、本発明の第９の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図２２は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図２２は前記主断面を示している。図２３は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第２のコイルを示す平面図である。

【0149】

本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第６の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態では、記録ヘッド部９は、第６の実施の形態における第１のコイル２１の代わりに、第３の実施の形態における第１のコイル２３を有している。第１のコイル２３のコイル接続部２３Ｅ（図１０参照）は、絶縁膜６２に形成された開口部を通して、第２のコイル２７のコイル接続部２７Ｓに電気的に接続されている。なお、図２３に示したように、本実施の形態では、第２のコイル２７のコイル接続部２７Ｅは、第６の実施の形態における図１６に示した位置とは異なる位置に配置されている。また、本実施の形態に係る磁気ヘッドは、第３の実施の形態で説明した絶縁層６９を備えている。

【0150】

本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第３または第６の実施の形態と同様である。

【0151】

［第１０の実施の形態］
次に、図２４ないし図２６を参照して、本発明の第１０の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図２４は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図２４は前記主断面を示している。図２５は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第２のコイルを示す平面図である。図２６は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第１および第３のコイルを示す平面図である。

【0152】

本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第１の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態では、記録ヘッド部９は、第１の実施の形態における第１のコイル２１および第２のコイル１１の代わりに、第１のコイル１２１、第２のコイル１１１および第３のコイル１２２を備えている。第１のコイル１２１、第２のコイル１１１および第３のコイル１２２は、銅等の導電材料によって形成されている。第１のコイル１２１、第２のコイル１１１および第３のコイル１２２は、直列または並列に接続されている。主磁極１５は、第１のコイル１２１、第２のコイル１１１および第３のコイル１２２によって発生された磁界に対応する磁束を通過させる。リード層１０，２０は、第１のコイル１２１、第２のコイル１１１および第３のコイル１２２に通電するために用いられる。

【0153】

第１のコイル１２１は、リード層２０に連続している。また、第１のコイル１２１は、第１の連結部４１（磁性層４２）の周りに巻回され、且つその一部が第１の連結部４１（磁性層４２）と第２の連結部３１（磁性層３６）の間を通過している。第３のコイル１２２は、第１のコイル１２１に連続し、第２の連結部３１（磁性層３６）の周りに巻回されている。図２６では、第１のコイル１２１、第３のコイル１２２およびリード層２０の境界を点線で示している。

【0154】

絶縁膜６２は、第１のコイル１２１、第３のコイル１２２およびリード層２０のそれぞれの上面以外の面に接するように設けられている。絶縁層６３は、第１のコイル１２１、第３のコイル１２２、リード層２０、第１のシールド１６Ａおよび磁性層３６の周囲に配置されている。第１のコイル１２１、第３のコイル１２２、リード層２０、第１のシールド１６Ａ、磁性層３６，４２、絶縁膜６２および絶縁層６３の上面は平坦化されている。絶縁層６４は、第１のコイル１２１、第３のコイル１２２、リード層２０および絶縁膜６２の上面の上に配置されている。

【0155】

次に、図２４、図２５および図２６を参照して、第１のコイル１２１、第２のコイル１１１および第３のコイル１２２について詳しく説明する。図２４に示したように、第２のコイル１１１は、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置されている。図２５に示したように、第２のコイル１１１は、第２の連結部３１（磁性層３２）の周りに巻回されている。図２５に示した例では、第２のコイル１１１は、第２の連結部３１（磁性層３２）に約３回巻かれている。また、第２のコイル１１１は、第３のコイル１２２に電気的に接続されたコイル接続部１１１Ｓを有している。上方から見て、第２のコイル１１１は、コイル接続部１１１Ｓからリード層１０との境界に向かって時計回り方向に巻かれている。

【0156】

図２６に示したように、第１のコイル１２１は、第１の連結部４１（磁性層４２）の周りに巻回され、且つその一部が第１の連結部４１（磁性層４２）と第２の連結部３１（磁性層３６）の間を通過している。図２６に示した例では、第１のコイル１２１は、第１の連結部４１（磁性層４２）の周りに約１回巻かれている。

【0157】

図２４に示したように、第２のコイル１１１および第３のコイル１２２は、互いに記録媒体の進行方向Ｔにおける異なる位置に配置されている。本実施の形態では、特に、第３のコイル１２２は、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置されている。また、前述のように、第３のコイル１２２は、第１のコイル１２１に連続し、第２の連結部３１（磁性層３６）の周りに巻回されている。図２６に示した例では、第３のコイル１２２は、第２の連結部３１（磁性層３６）の周りに約１回巻かれている。

【0158】

また、第３のコイル１２２は、第２のコイル１１１のコイル接続部１１１Ｓに電気的に接続されたコイル接続部１２２Ｅを有している。コイル接続部１２２Ｅは、第３のコイル１２２と第２のコイル１１１との間の複数の層を貫通する図示しない柱状の接続層を介してコイル接続部１１１Ｓに電気的に接続されている。接続層は、銅等の導電材料によって形成されている。

【0159】

上方から見て、第１のコイル１２１は、リード層２０との境界から第３のコイル１２２との境界に向かって反時計回り方向に巻かれている。上方から見て、第３のコイル１２２は、第１のコイル１２１との境界からコイル接続部１２２Ｅに向かって時計回り方向に巻かれている。

【0160】

図２５および図２６に示した例では、第１のコイル１２１、第３のコイル１２２および第２のコイル１１１は、この順に直列に接続されている。

【0161】

次に、本実施の形態に係る磁気ヘッドの作用および効果について説明する。記録ヘッド部９において、第１のコイル１２１、第２のコイル１１１および第３のコイル１２２は、記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生する。第１のコイル１２１によって発生された磁界に対応する磁束は、第１の連結部４１と主磁極１５を通過する。第２のコイル１１１と第３のコイル１２２によって発生された磁界に対応する磁束は、第２の連結部３１、第２のヨーク層４０、第１の連結部４１および主磁極１５を通過する。従って、主磁極１５は、第１のコイル１２１によって発生された磁界に対応する磁束、第２のコイル１１１によって発生された磁界に対応する磁束および第３のコイル１２２によって発生された磁界に対応する磁束を通過させる。

【0162】

なお、第１のコイル１２１、第２のコイル１１１および第３のコイル１２２は、直列に接続されていてもよいし、並列に接続されていてもよい。いずれにしても、主磁極１５において、第１のコイル１２１によって発生された磁界に対応する磁束、第２のコイル１１１によって発生された磁界に対応する磁束、および第３のコイル１２２によって発生された磁界に対応する磁束が同じ方向に流れるように、第１のコイル１２１、第２のコイル１１１および第３のコイル１２２は接続される。

【0163】

主磁極１５は、上述のように第１のコイル１２１、第２のコイル１１１および第３のコイル１２２によって発生された磁界に対応する磁束を通過させて、垂直磁気記録方式によって情報を記録媒体に記録するための記録磁界を発生する。

【0164】

本実施の形態では、第１の磁路および第１のコイル１２１に加えて、第２の磁路、第２のコイル１１１および第３のコイル１２２が設けられている。これにより、第１のコイル１２１の巻き数を少なくして第１の磁路の長さを短くしても、第１のコイル１２１の起磁力、第２のコイル１１１の起磁力および第３のコイル１２２の起磁力によって、主磁極１５から十分な大きさの記録磁界を発生させることが可能になる。

【0165】

本実施の形態では、特に、第２のコイル１１１の巻き数は約３回であり、第３のコイル１２２の巻き数は約１回であり、第１のコイル１２１の巻き数は約１回である。ここで、第２のコイル１１１および第３のコイル１２２が設けられておらず、第１のコイル１２１の巻き数が５回である比較例の磁気ヘッドを考える。比較例の磁気ヘッドのその他の構成は、本実施の形態に係る磁気ヘッドと同様である。本実施の形態における第１のコイル１２１、第２のコイル１１１および第３のコイル１２２による合計の起磁力は、比較例の磁気ヘッドにおける第１のコイル１２１による起磁力とほぼ等しくなる。一方、本実施の形態では、比較例の磁気ヘッドに比べて、第１のコイル１２１の巻き数が少ないことから、第１の磁路の長さを短くすることができる。このようにして、本実施の形態によれば、主磁極１５から発生される記録磁界の大きさを比較例の磁気ヘッドと同等にしながら、比較例の磁気ヘッドよりも、第１の磁路の長さを短くすることができる。

【0166】

また、本実施の形態では、第１のコイル１２１の巻き数に制約されることなく、第２のコイル１１１の巻き数および第３のコイル１２２の巻き数を多くすることができる。第２のコイル１１１の巻き数および第３のコイル１２２の巻き数は、第１のコイル１２１の巻き数以上であってもよい。あるいは、第２のコイル１１１の巻き数は、第１のコイル１２１の巻き数よりも多く、第３のコイル１２２の巻き数は、第１のコイル１２１の巻き数以上であってもよい。そして、このように第２のコイル１１１の巻き数および第３のコイル１２２の巻き数を多くすることによって、第２のコイル１１１による起磁力および第３のコイル１２２による起磁力を大きくすることが可能になる。

【0167】

特に、本実施の形態では、第２の連結部３１は、第１の連結部４１に対して、媒体対向面８０からより遠い位置に配置されている。これにより、容易に、第２の連結部３１の周りに巻回される第２および第３のコイル１１１，１２２の巻き数を多くすることができる。

【0168】

また、本実施の形態では、第２のコイル１１１は、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置されている。従って、第１のコイル１２１の配置に制約されることなく、第２のコイル１１１を配置することができる。これによって、容易に、第２のコイル１１１の巻き数を多くすることができる。

【0169】

また、本実施の形態では、第２および第３のコイル１１１，１２２は、互いに記録媒体の進行方向Ｔにおける異なる位置に配置されている。これにより、第２および第３のコイル１１１，１２２のそれぞれの巻き数を多くすることができる。

【0170】

以上のことから、本実施の形態によれば、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置された第１の磁路の長さを短くしながら、主磁極１５から十分な大きさの記録磁界を発生させることが可能になる。

【0171】

本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第１の実施の形態と同様である。

【0172】

［第１１の実施の形態］
次に、図２７ないし図３０を参照して、本発明の第１１の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図２７は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図２７は前記主断面を示している。図２８は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第２のコイルを示す平面図である。図２９は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第３のコイルを示す平面図である。図３０は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第１のコイルを示す平面図である。

【0173】

本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第１０の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態では、記録ヘッド部９は、第１０の実施の形態における第１のコイル１２１および第３のコイル１２２の代わりに、第１のコイル１２３および第３のコイル１２４を有している。ここで、媒体対向面８０に配置された主磁極１５の端面と交差し、記録媒体の進行方向Ｔに垂直な仮想の平面を想定する。第３のコイル１２４は、上記仮想の平面と交差する位置に配置されている。第１および第３のコイル１２３，１２４は、いずれも、銅等の導電材料によって形成されている。

【0174】

図２９に示したように、第３のコイル１２４は、第２の連結部３１（磁性層３５）の周りに巻回されている。図２９に示した例では、第３のコイル１２４は、第２の連結部３１（磁性層３５）の周りに約１回巻かれている。

【0175】

また、第３のコイル１２４は、第１のコイル１２３に電気的に接続されたコイル接続部１２４Ｓと、第２のコイル１１１のコイル接続部１１１Ｓに電気的に接続されたコイル接続部１２４Ｅとを有している。上方から見て、第３のコイル１２４は、コイル接続部１２４Ｓからコイル接続部１２４Ｅに向かって時計回り方向に巻かれている。コイル接続部１２４Ｅは、第１０の実施の形態で説明した接続層を介して第２のコイル１１１のコイル接続部１１１Ｓに電気的に接続されている。なお、図２８に示したように、本実施の形態では、コイル接続部１１１Ｓは、第１０の実施の形態における図２５に示した位置とは異なる位置に配置されている。

【0176】

第３のコイル１２４の周囲には、非磁性層６１が配置されている。また、本実施の形態に係る磁気ヘッドは、第３のコイル１２４と、主磁極１５、第２のギャップ層１８、磁性層３５および非磁性層５７との間に介在する絶縁材料よりなる絶縁膜６０を備えている。絶縁膜６０は、例えばアルミナによって形成されている。

【0177】

第１のコイル１２３の、リード層２０、第１の連結部４１（磁性層４２）および第２の連結部３１（磁性層３６）に対する位置関係は、第１０の実施の形態における第１のコイル１２１と同様である。すなわち、第１のコイル１２３は、リード層２０に連続している。図３０では、第１のコイル１２３とリード層２０の境界を点線で示している。また、第１のコイル１２３は、第１の連結部４１（磁性層４２）の周りに巻回され、且つその一部が第１の連結部４１（磁性層４２）と第２の連結部３１（磁性層３６）との間を通過している。図３０に示した例では、第１のコイル１２３は、第１の連結部４１（磁性層４２）の周りに約１回巻かれている。また、第１のコイル１２３は、第３のコイル１２４のコイル接続部１２４Ｓに電気的に接続されたコイル接続部１２３Ｅを有している。上方から見て、第１のコイル１２３は、リード層２０との境界からコイル接続部１２３Ｅに向かって反時計回り方向に巻かれている。

【0178】

第１のコイル１２３と第３のコイル１２４との間には、絶縁膜６２が介在している。絶縁膜６２には、第３のコイル１２４のコイル接続部１２４Ｓを露出させる開口部が形成されている。第１のコイル１２３のコイル接続部１２３Ｅは、絶縁膜６２に形成された開口部を通して、コイル接続部１２４Ｓに電気的に接続されている。

【0179】

本実施の形態では、第１のコイル１２３によって発生された磁界に対応する磁束は、第１の連結部４１と主磁極１５を通過する。第３のコイル１２４によって発生された磁界に対応する磁束は、第２の連結部３１、第２のヨーク層４０、第１の連結部４１および主磁極１５を通過する。本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第１０の実施の形態と同様である。

【0180】

［第１２の実施の形態］
次に、図３１ないし図３３を参照して、本発明の第１２の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図３１は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図３１は前記主断面を示している。図３２は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第３のコイルを示す平面図である。図３３は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第１のコイルを示す平面図である。

【0181】

本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第１１の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態では、記録ヘッド部９は、第１１の実施の形態における第３のコイル１２４の代わりに、第３のコイル１２５を有している。第３のコイル１２５は、銅等の導電材料によって形成されている。

【0182】

第３のコイル１２５の、主磁極１５および第２の連結部３１（磁性層３５）に対する位置関係は、第１１の実施の形態における第３のコイル１２４と同様である。すなわち、第３のコイル１２５は、第１１の実施の形態で説明した仮想の平面と交差する位置に配置されている。また、第３のコイル１２５は、第２の連結部３１（磁性層３５）の周りに巻回されている。図３２に示した例では、第３のコイル１２５は、第２の連結部３１（磁性層３５）の周りに約２回巻かれている。第３のコイル１２５の巻線間および周囲には、非磁性層６１が配置されている。

【0183】

また、第３のコイル１２５は、第１のコイル１２３のコイル接続部１２３Ｅに電気的に接続されたコイル接続部１２５Ｓと、第２のコイル１１１のコイル接続部１１１Ｓに電気的に接続されたコイル接続部１２５Ｅとを有している。上方から見て、第３のコイル１２５は、コイル接続部１２５Ｓからコイル接続部１２５Ｅに向かって時計回り方向に巻かれている。

【0184】

第１のコイル１２３と第３のコイル１２５との間には、絶縁膜６２が介在している。絶縁膜６２には、第３のコイル１２５のコイル接続部１２５Ｓを露出させる開口部が形成されている。コイル接続部１２３Ｅは、絶縁膜６２に形成された開口部を通して、コイル接続部１２５Ｓに電気的に接続されている。なお、図３３に示したように、本実施の形態では、コイル接続部１２３Ｅは、第１１の実施の形態における図３０に示した位置とは異なる位置に配置されている。

【0185】

コイル接続部１２５Ｅは、第１０の実施の形態で説明した接続層を介してコイル接続部１１１Ｓに電気的に接続されている。なお、本実施の形態では、コイル接続部１１１Ｓは、第１０の実施の形態における図２５に示した位置に配置されている。

【0186】

本実施の形態では、第３のコイル１２５によって発生された磁界に対応する磁束は、第２の連結部３１、第２のヨーク層４０、第１の連結部４１および主磁極１５を通過する。本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第１１の実施の形態と同様である。

【0187】

［第１３の実施の形態］
次に、図３４を参照して、本発明の第１３の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図３４は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図３４は前記主断面を示している。

【0188】

本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第１１の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態では、記録ヘッド部９は、第１１の実施の形態における第１のコイル１２３の代わりに、第１０の実施の形態における第１のコイル１２１を有している。また、記録ヘッド部９は、第１１の実施の形態における第３のコイル１２４の代わりに、第１層１２４Ａおよび第２層１２２Ｂを有する第３のコイルを有している。第１層１２４Ａの形状および配置は、第１１の実施の形態における第３のコイル１２４と同じである。第２層１２２Ｂの形状および配置は、第１０の実施の形態における第３のコイル１２２と同じである。本実施の形態では、第３のコイルの一部である第１層１２４Ａが、第１１の実施の形態で説明した仮想の平面と交差する位置に配置されている。

【0189】

また、第３のコイルは、第１層１２４Ａに設けられたコイル接続部１２４Ｓ，１２４Ｅ（図２９参照）と、第２層１２２Ｂに設けられたコイル接続部１２２Ｅ（図２６参照）とを有している。コイル接続部１２２Ｅは、絶縁膜６２に形成された開口部を通して、コイル接続部１２４Ｓに電気的に接続されている。コイル接続部１２４Ｅは、第１１の実施の形態（第１０の実施の形態）で説明した接続層を介して第２のコイル１１１のコイル接続部１１１Ｓ（図２８参照）に電気的に接続されている。

【0190】

本実施の形態では、第３のコイルの第１層１２４Ａと第２層１２２Ｂによって発生された磁界に対応する磁束は、第２の連結部３１、第２のヨーク層４０、第１の連結部４１および主磁極１５を通過する。本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第１０または第１１の実施の形態と同様である。

【0191】

［第１４の実施の形態］
次に、図３５ないし図３８を参照して、本発明の第１４の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図３５は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図３５は前記主断面を示している。図３６は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第２のコイルを示す平面図である。図３７は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第１のコイルの第１層と第３のコイルの第１層を示す平面図である。図３８は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第１のコイルの第２層と第３のコイルの第２層を示す平面図である。

【0192】

本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第１０の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態では、記録ヘッド部９は、第１０の実施の形態における第２のコイル１１１の代わりに、第２のコイル１１２を有している。第２のコイル１１２は、銅等の導電材料によって形成されている。

【0193】

第２のコイル１１２の、主磁極１５、第２の連結部３１（磁性層３２）およびリード層１０に対する位置関係は、第１０の実施の形態における第２のコイル１１１と同様である。すなわち、第２のコイル１１２は、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置され、第２の連結部３１（磁性層３２）の周りに巻回されている。図３６に示した例では、第２のコイル１１２は、第２の連結部３１（磁性層３２）の周りに約２回巻かれている。リード層１０は、第２のコイル１１２に連続している。図３６では、第２のコイル１１２とリード層１０の境界を点線で示している。また、第２のコイル１１２は、後述する第３のコイルの第１層に電気的に接続されたコイル接続部１１２Ｓを有している。上方から見て、第２のコイル１１２は、コイル接続部１１２Ｓからリード層１０との境界に向かって時計回り方向に巻かれている。

【0194】

また、本実施の形態では、第１の連結部４１は、磁性層４２に加えて、磁性層４２の上に配置された磁性層４３を含んでいる。また、第２の連結部３１は、磁性層３２〜３６に加えて、磁性層３６の上に配置された磁性層３７を含んでいる。また、記録ヘッド部９は、第１のシールド１６Ａの上に積層された磁性材料よりなる磁性層４４を有している。磁性層４４は、媒体対向面８０に向いた端面を有し、この端面は、媒体対向面８０から離れた位置に配置されている。磁性層４４の端面における任意の位置の媒体対向面８０からの距離は、任意の位置が基板１の上面１ａから離れるに従って大きくなっている。磁性層４４の材料としては、例えばＣｏＦｅＮ、ＣｏＮｉＦｅ、ＮｉＦｅ、ＣｏＦｅのいずれかを用いることができる。

【0195】

また、本実施の形態では、記録ヘッド部９は、第１０の実施の形態における第１のコイル１２１および第３のコイル１２２の代わりに、第１のコイル１２６および第３のコイル１２７を有している。第１のコイル１２６は、第１層１２６Ａと第２層１２６Ｂとを有している。第３のコイル１２７は、第１層１２７Ａと第２層１２７Ｂとを有している。第１および第３のコイル１２６，１２７は、いずれも、銅等の導電材料によって形成されている。

【0196】

図３７は、第１のコイル１２６の第１層１２６Ａと第３のコイル１２７の第１層１２７Ａを示す平面図である。第１層１２６Ａ，１２７Ａは、同一平面上に位置し、互いに連続している。図３７では、第１層１２６Ａ，１２７Ａの境界を点線で示している。

【0197】

第１層１２６Ａの、第１の連結部４１（磁性層４２）および第２の連結部３１（磁性層３６）に対する位置関係は、第１０の実施の形態における第１のコイル１２１と同様である。すなわち、第１層１２６Ａは、第１の連結部４１（磁性層４２）の周りに巻回され、且つその一部が第１の連結部４１（磁性層４２）と第２の連結部３１（磁性層３６）との間を通過している。図３７に示した例では、第１層１２６Ａは、第１の連結部４１（磁性層４２）の周りに約１回巻かれている。また、第１のコイル１２６は、第１層１２６Ａに設けられたコイル接続部１２６ＡＳを有している。

【0198】

第１層１２７Ａの、第２の連結部３１（磁性層３６）に対する位置関係は、第１０の実施の形態における第３のコイル１２２と同様である。すなわち、第１層１２７Ａは、第２の連結部３１（磁性層３６）の周りに巻回されている。図３７に示した例では、第１層１２７Ａは、第２の連結部３１（磁性層３６）の周りに約１回巻かれている。また、第３のコイル１２７は、第１層１２７Ａに設けられたコイル接続部１２７ＡＥを有している。コイル接続部１２７ＡＥは、第１０の実施の形態で説明した接続層を介して第２のコイル１１２のコイル接続部１１２Ｓに電気的に接続されている。

【0199】

上方から見て、第１層１２６Ａは、コイル接続部１２６ＡＳから第１層１２７Ａとの境界に向かって反時計回り方向に巻かれている。上方から見て、第１層１２７Ａは、第１層１２６Ａとの境界からコイル接続部１２７ＡＥに向かって時計回り方向に巻かれている。第１層１２６Ａ，１２７Ａの巻線間および周囲には、絶縁層６３が配置されている。

【0200】

図３８は、第１のコイル１２６の第２層１２６Ｂと第３のコイル１２７の第２層１２７Ｂを示す平面図である。第２層１２６Ｂ，１２７Ｂおよびリード層２０は、同一平面上に位置し、互いに連続している。図３８では、第２層１２６Ｂ，１２７Ｂおよびリード層２０の境界を点線で示している。

【0201】

第２層１２７Ｂは、第２の連結部３１（磁性層３７）の周りに巻回されている。図３８に示した例では、第２層１２７Ｂは、第２の連結部３１（磁性層３７）の周りに約１回巻かれている。

【0202】

第２層１２６Ｂは、第１の連結部４１（磁性層４３）の周りに巻回され、且つその一部が第１の連結部４１（磁性層４３）と第２の連結部３１（磁性層３７）との間を通過している。図３８に示した例では、第２層１２６Ｂは、第１の連結部４１（磁性層４３）の周りに約１回巻かれている。また、第１のコイル１２６は、第２層１２６Ｂに設けられたコイル接続部１２６ＢＥを有している。

【0203】

上方から見て、第２層１２７Ｂは、リード層２０との境界から第２層１２６Ｂとの境界に向かって時計回り方向に巻かれている。上方から見て、第２層１２６Ｂは、第２層１２７Ｂとの境界からコイル接続部１２６ＢＥに向かって反時計回り方向に巻かれている。

【0204】

また、本実施の形態に係る磁気ヘッドは、更に、絶縁材料よりなる絶縁膜６５および絶縁層６６，６７を備えている。絶縁膜６５は、第２層１２６Ｂ，１２７Ｂおよびリード層２０と、磁性層３７，４３，４４および絶縁層６４との間に介在している。絶縁層６６は、第２層１２６Ｂ，１２７Ｂ、リード層２０および磁性層３７，４４の周囲に配置されている。第２層１２６Ｂ，１２７Ｂ、リード層２０、磁性層３７，４３，４４、絶縁膜６５および絶縁層６６の上面は平坦化されている。絶縁層６７は、第２層１２６Ｂ，１２７Ｂ、リード層２０および絶縁膜６５の上面の上に配置されている。絶縁膜６５および絶縁層６６，６７は、例えばアルミナによって形成されている。

【0205】

第１層１２６Ａと第２層１２６Ｂの間には、絶縁層６４および絶縁膜６５が介在している。絶縁層６４および絶縁膜６５には、第１層１２６Ａに設けられたコイル接続部１２６ＡＳを露出させる開口部が形成されている。第２層１２６Ｂに設けられたコイル接続部１２６ＢＥは、絶縁層６４および絶縁膜６５に形成された開口部を通して、コイル接続部１２６ＡＳに電気的に接続されている。

【0206】

本実施の形態では、第２のヨーク層４０は、磁性層３７，４３，４４および絶縁層６７の上に配置されている。第１の連結部４１（磁性層４２，４３）は、主磁極１５と第２のヨーク層４０とを磁気的に連結している。第２の連結部３１（磁性層３２〜３７）は、第１のヨーク層３０と第２のヨーク層４０とを磁気的に連結している。磁性層４４は、記録シールド１６の第１のシールド１６Ａと第２のヨーク層４０とを磁気的に連結している。

【0207】

本実施の形態では、第３のコイル１２７は、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置されている。第１のコイル１２６の第１層１２６Ａと第２層１２６Ｂによって発生された磁界に対応する磁束は、第１の連結部４１と主磁極１５を通過する。第３のコイル１２７の第１層１２７Ａと第２層１２７Ｂによって発生された磁界に対応する磁束は、第２の連結部３１、第２のヨーク層４０、第１の連結部４１および主磁極１５を通過する。本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第１０の実施の形態と同様である。

【0208】

［第１５の実施の形態］
次に、図３９ないし図４２を参照して、本発明の第１５の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図３９は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図３９は前記主断面を示している。図４０は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第２のコイルを示す平面図である。図４１は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第３のコイルを示す平面図である。図４２は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第１のコイルを示す平面図である。

【0209】

本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第１２の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態では、記録ヘッド部９は、第１２の実施の形態における第１のコイル１２３および第２のコイル１１１の代わりに、第１のコイル１２８および第２のコイル１１３を有している。第１のコイル１２８および第２のコイル１１３は、銅等の導電材料によって形成されている。

【0210】

第２のコイル１１３の、主磁極１５、第２の連結部３１（磁性層３２）およびリード層１０に対する位置関係は、第１２の実施の形態における第２のコイル１１１と同様である。すなわち、第２のコイル１１３は、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置され、第２の連結部３１（磁性層３２）の周りに巻回されている。図４０に示した例では、第２のコイル１１３は、第２の連結部３１（磁性層３２）の周りに約４回巻かれている。リード層１０は、第２のコイル１１３に連続している。図４０では、第２のコイル１１３とリード層１０の境界を点線で示している。

【0211】

また、第２のコイル１１３は、第３のコイル１２５のコイル接続部１２５Ｅに電気的に接続されたコイル接続部１１３Ｓを有している。上方から見て、第２のコイル１１３は、コイル接続部１１３Ｓからリード層１０との境界に向かって時計回り方向に巻かれている。コイル接続部１２５Ｅは、第１２の実施の形態（第１０の実施の形態）で説明した接続層を介してコイル接続部１１３Ｓに電気的に接続されている。

【0212】

第１のコイル１２８の、リード層２０、第１の連結部４１（磁性層４２）および第２の連結部３１（磁性層３６）に対する位置関係は、第１２の実施の形態における第１のコイル１２３と同様である。すなわち、第１のコイル１２８は、第１の連結部４１（磁性層４２）の周りに巻回され、且つその一部が第１の連結部４１（磁性層４２）と第２の連結部３１（磁性層３６）との間を通過している。リード層２０は、第１のコイル１２８に連続している。図４２では、第１のコイル１２８とリード層２０の境界を点線で示している。図４２に示した例では、第１のコイル１２８は、第１の連結部４１（磁性層４２）の周りに約２回巻かれている。

【0213】

また、第１のコイル１２８は、第３のコイル１２５のコイル接続部１２５Ｓに電気的に接続されたコイル接続部１２８Ｅを有している。上方から見て、第１のコイル１２８は、リード層２０との境界からコイル接続部１２８Ｅに向かって反時計回り方向に巻かれている。また、本実施の形態に係る磁気ヘッドは、第１のコイル１２８の巻線間に配置された絶縁材料よりなる絶縁層６９を備えている。絶縁層６９は、例えばフォトレジストによって形成されている。

【0214】

第１のコイル１２８と第３のコイル１２５の間には、絶縁膜６２が介在している。絶縁膜６２には、第３のコイル１２５のコイル接続部１２５Ｓを露出させる開口部が形成されている。第１のコイル１２８のコイル接続部１２８Ｅは、絶縁膜６２に形成された開口部を通して、コイル接続部１２５Ｓに電気的に接続されている。なお、図４１に示したように、本実施の形態では、コイル接続部１２５Ｓは、第１２の実施の形態における図３２に示した位置とは異なる位置に配置されている。

【0215】

本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第１２の実施の形態と同様である。

【0216】

なお、本発明は、上記各実施の形態に限定されず、種々の変更が可能である。例えば、第２の連結部３１は、第１の連結部４１に対して、トラック幅方向の両側の少なくとも一方に配置されていてもよい。

【0217】

また、第１のコイルは、それぞれ第１の連結部の周りに巻回され、且つその一部が第１の連結部と第２の連結部の間を通過するように、３層以上積層されたものであってもよい。

【符号の説明】

【0218】

１１…第２のコイル、１５…主磁極、１６…記録シールド、２１…第１のコイル、３０…第１のヨーク層、３１…第２の連結部、４０…第２のヨーク層、４１…第１の連結部。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】

【図26】

【図27】

【図28】

【図29】

【図30】

【図31】

【図32】

【図33】

【図34】

【図35】

【図36】

【図37】

【図38】

【図39】

【図40】

【図41】

【図42】