特許5699297基板処理装置及び薄膜の製造方法

発明の名称　基板処理装置及び薄膜の製造方法

出願人　株式会社ユーテック　（識別番号 595152438）

　　　　特許公開件数ランキング 12270 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 25576 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5699297

公報発行日　2015年4月8

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5699297

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-5699297「基板処理装置及び薄膜の製造方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録