特許 5700107 キャリア搬送システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5700107

(24)【登録日】2015年2月27日

(45)【発行日】2015年4月15日

(54)【発明の名称】キャリア搬送システム

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20150326BHJP

   B65G 49/07 20060101ALI20150326BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 A

   B65G49/07 Z

【請求項の数】5

【全頁数】20

(21)【出願番号】特願2013-262213(P2013-262213)

(22)【出願日】2013年12月19日

(62)【分割の表示】特願2009-237751(P2009-237751)の分割

【原出願日】2009年10月14日

(65)【公開番号】特開2014-78744(P2014-78744A)

(43)【公開日】2014年5月1日

【審査請求日】2014年1月14日

(73)【特許権者】

【識別番号】000002059

【氏名又は名称】シンフォニアテクノロジー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001841

【氏名又は名称】特許業務法人梶・須原特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】溝河 巧

(72)【発明者】

【氏名】落合 光敏

【審査官】 杉山 悟史

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００８−２５８１９２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−０９４４６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−２４４４１６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７ − ２１／６８７

Ｂ６５Ｇ ４９／００ − ４９／０８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

天井側に配置されたレールに沿って走行自在でかつフープを支持するホイスト部を昇降自在に備えて、床側に設けられたロードポートとの間でフープを移載自在なＯＨＴと、
前記ＯＨＴよりも下方に配置されて前記ロードポートに対して移載されるフープを仮置きする仮置台とが設けられたキャリア搬送システムであって、
前記仮置台が前記ＯＨＴの走行方向で前記ロードポートと異なる位置かつ前記ロードポートの載置台とは上下方向において異なる位置に配置され、
前記ＯＨＴが、前記ロードポートと上下方向に重なる位置に設定されたロードポート用停止位置に停止した状態で前記ホイスト部を昇降させることで前記ロードポートに対してフープを移載自在に構成され、かつ、前記仮置台と上下方向に重なる位置に設定された仮置台用停止位置に停止した状態で前記ホイスト部を昇降させることで前記仮置台に対してフープを移載自在に構成され、
フープを支持するリフトを昇降自在に備えて前記仮置台との間及び前記ロードポートとの間でフープを移載自在なキャリア移載台車が、前記ＯＨＴ及び前記ロードポートと上下に重なる状態で、かつ、前記ロードポートとの間でフープを移載するロードポート用移載位置、前記仮置台との間でフープを移載する仮置台用移載位置、前記ＯＨＴが前記ロードポートとの間でフープを移載するときに前記ホイスト部及びフープとの干渉を回避する授受時退避位置、及び、前記ＯＨＴが前記仮置台との間でフープを移載するときに前記ホイスト部及びフープとの干渉を回避する仮置き時退避位置に亘って、前記ロードポートと前記ＯＨＴとの間の高さにおいて前記走行方向に沿って移動自在に設けられ、
前記キャリア移載台車を支持して前記走行方向に沿う移動を案内する走行レールが設けられ、
前記走行レールは、前記ロードポート用停止位置及び前記仮置台用停止位置に停止した状態の前記ＯＨＴがフープを移載するときに前記ホイスト部及びフープが上下方向に通過可能な空間を形成するように構成されているキャリア搬送システム。

【請求項2】

前記走行レールが、フープを支持している前記ホイスト部が上下方向に通過自在な間隙を形成する状態で前記キャリア移載台車の横幅方向に間隔を隔てて配置された一対のレール部材にて構成されている請求項１に記載のキャリア搬送システム。

【請求項3】

前記ロードポート用移載位置及び前記仮置台用移載位置が前記走行方向で隣接する状態で設定され、
前記キャリア移載台車の移動作動を制御するコントローラが、
前記ＯＨＴが前記ロードポートとの間でフープを移載するときには前記キャリア移載台車を前記授受時退避位置として前記仮置台用移載位置にて待機させ、かつ、
前記ＯＨＴが前記仮置台との間でフープを移載するときには前記キャリア移載台車を前記仮置き時退避位置として前記ロードポート用移載位置にて待機させるべく、前記キャリア移載台車の移動作動を制御するように構成されている請求項１又は２に記載のキャリア搬送システム。

【請求項4】

前記キャリア移載台車が、前記リフトにてフープを吊り下げ支持自在に構成され、
前記仮置台は、支持しているフープの上端が前記キャリア移載台車における前記リフトにて支持されているフープの下端よりも下方に位置するようにフープを載置支持自在に構成されている請求項３に記載のキャリア搬送システム。

【請求項5】

前記ロードポート用移載位置が前記走行方向に沿って並ぶ状態で複数設定され、
前記仮置台が、前記複数のロードポート用移載位置の前記走行方向で一方側及び他方側の双方に対応して設けられ、
前記仮置台用移載位置が、前記複数のロードポート用移載位置の前記走行方向で一方側及び他方側の双方に設定され、
前記ロードポート用停止位置が、前記走行方向に沿って並ぶ状態で前記複数のロードポート用移載位置と上下に重なる状態で複数設定され、
前記仮置台用停止位置が、前記複数のロードポート用停止位置の前記走行方向で一方側及び他方側の双方に設定されている請求項１〜４のいずれかに記載のキャリア搬送システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ロードポートへのキャリアの搬送待ち時間を短縮するためのキャリア搬送システムに関する。

【背景技術】

【0002】

この種の技術に関しては、例えば特許文献１に記載されたものがある。特許文献１に記載された搬送システムは、ロードポートと、ロードポートに対して隣接配置された中継ユニットと、ロードポートおよび中継ユニットに組み込まれたキャリア移載装置とを具備してなる。キャリア移載装置は、ロードポートおよび中継ユニットの載置台の下方に設置されたキャリアの移動装置と昇降装置とを有する。なお、ロードポート（ロードポート群）へのキャリアの搬送は、ＯＨＴ（Overhead Hoist Transfer 天井走行式無人搬送車）などの搬送車により行われる。この搬送システムによると、１回のＯＨＴの移動で、キャリアのプレース（キャリアの載置）およびピック（キャリアの受け取り）が可能となり、ロードポート数の多い装置を採用することなくキャリアの搬送待ち時間を短縮することができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００８−２４４４１６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１に記載された搬送システムでは、ロードポートおよび中継ユニット自体（内部）にキャリア移載装置を組み込んでいるため、既存のロードポート（キャリア移載装置を具備しないロードポート）への当該搬送システムの適用にあたり、既存のロードポートをそのまま使用できない。すなわち、既存のロードポートの改造あるいはロードポート一式の更新（取替）が必要となってしまうという問題があった。

【0005】

本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであって、その目的は、既存のロードポートの更新などの必要のないキャリア搬送システムを提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、天井側に配置されたレールに沿って走行自在でかつフープを支持するホイスト部を昇降自在に備えて、床側に設けられたロードポートとの間でフープを移載自在なＯＨＴと、前記ＯＨＴよりも下方に配置されて前記ロードポートに対して移載されるフープを仮置きする仮置台とが設けられたキャリア搬送システムであって、前記仮置台が前記ＯＨＴの走行方向で前記ロードポートと異なる位置に配置され、前記ＯＨＴが、前記ロードポートと上下方向に重なる位置に設定されたロードポート用停止位置に停止した状態で前記ホイスト部を昇降させることで前記ロードポートに対してフープを移載自在に構成され、かつ、前記仮置台と上下方向に重なる位置に設定された仮置台用停止位置に停止した状態で前記ホイスト部を昇降させることで前記仮置台に対してフープを移載自在に構成され、フープを支持するリフトを昇降自在に備えて前記仮置台との間及び前記ロードポートとの間でフープを移載自在なキャリア移載台車が、前記ＯＨＴ及び前記ロードポートと上下に重なる状態で、かつ、前記ロードポートとの間でフープを移載するロードポート用移載位置、前記仮置台との間でフープを移載する仮置台用移載位置、前記ＯＨＴが前記ロードポートとの間でフープを移載するときに前記ホイスト部及びフープとの干渉を回避する授受時退避位置、及び、前記ＯＨＴが前記仮置台との間でフープを移載するときに前記ホイスト部及びフープとの干渉を回避する仮置き時退避位置に亘って、前記ロードポートと前記ＯＨＴとの間の高さにおいて前記走行方向に沿って移動自在に設けられ、前記キャリア移載台車を支持して前記走行方向に沿う移動を案内する走行レールが設けられ、前記走行レールは、前記ロードポート用停止位置及び前記仮置台用停止位置に停止した状態の前記ＯＨＴがフープを移載するときに前記ホイスト部及びフープが上下方向に通過可能な空間を形成するように構成されているキャリア搬送システムである。

【0007】

また本発明において、前記走行レールが、フープを支持している前記ホイスト部が上下方向に通過自在な間隙を形成する状態で前記キャリア移載台車の横幅方向に間隔を隔てて配置された一対のレール部材にて構成されていてもよい。

【0008】

さらに本発明において、前記ロードポート用移載位置及び前記仮置台用移載位置が前記走行方向で隣接する状態で設定され、前記キャリア移載台車の移動作動を制御するコントローラが、前記ＯＨＴが前記ロードポートとの間でフープを移載するときには前記キャリア移載台車を前記授受時退避位置として前記仮置台用移載位置にて待機させ、かつ、前記ＯＨＴが前記仮置台との間でフープを移載するときには前記キャリア移載台車を前記仮置き時退避位置として前記ロードポート用移載位置にて待機させるべく、前記キャリア移載台車の移動作動を制御するように構成されていてもよい。

【0009】

さらに本発明において、前記キャリア移載台車が、前記リフトにてフープを吊り下げ支持自在に構成され、前記仮置台は、支持しているフープの上端が前記キャリア移載台車における前記リフトにて支持されているフープの下端よりも下方に位置するようにフープを載置支持自在に構成されていてもよい。

【0010】

さらに本発明において、前記ロードポート用移載位置が前記走行方向に沿って並ぶ状態で複数設定され、前記仮置台が、前記複数のロードポート用移載位置の前記走行方向で一方側及び他方側の双方に対応して設けられ、前記仮置台用移載位置が、前記複数のロードポート用移載位置の前記走行方向で一方側及び他方側の双方に設定され、前記ロードポート用停止位置が、前記走行方向に沿って並ぶ状態で前記複数のロードポート用移載位置と上下に重なる状態で複数設定され、前記仮置台用停止位置が、前記複数のロードポート用停止位置の前記走行方向で一方側及び他方側の双方に設定されていてもよい。

【発明の効果】

【0011】

本発明によると、既存のロードポートの更新などの必要のないキャリア搬送システムを提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本発明の第１実施形態に係るキャリア移載促進装置を示す概略の正面図である。

【図2】図１に示すキャリア移載促進装置の概略の平面図（Ａ−Ａ矢視図）である。

【図3】フープの搬送フローを示す図である。

【図4】フープの搬送フローを示す図である。

【図5】フープの搬送フローを示す図である。

【図6】フープの搬送フローを示す図である。

【図7】第１実施形態に係るキャリア移載促進装置の変形例を示す概略の斜視図である。

【図8】本発明の第２実施形態に係るキャリア移載促進装置を示す概略の正面図である。

【図9】本発明の第３実施形態に係るキャリア移載促進装置を示す概略の正面図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、本発明を実施するための形態について図面を参照しつつ説明する。

【0014】

（キャリア搬送システム）
キャリア搬送システム５０およびキャリア移載促進装置１の構成について、図１、２を参照しつつ説明する。図１に示すように、キャリア搬送システム５０は、工場内の天井側を走行するＯＨＴ７（Overhead Hoist Transfer天井走行式無人搬送車）と、ＯＨＴ７が走行するレール９（軌道）と、レール９の下方に設置されたロードポート６と、ロードポート６に対して設けられたキャリア移載促進装置１とを備えている。

【0015】

（ＯＨＴ）
ＯＨＴ７は、後述するキャリア移載台車３よりも上方を走行するキャリア搬送手段であり、ベルト駆動で上下するホイスト部７１を有する。ＯＨＴ７は、ホイスト部７１によりフープ３８（８）（FOUP（Front Opening Unified Pod））を吊り上げて一方向に走行しフープ３８（８）を搬送する。キャリアの一例としてフープ（FOUP）で説明する。

【0016】

なお、キャリア搬送手段は、ＯＨＴ７ではなく、ＯＨＳ（Over Head Shuttle 天井走行式シャトル）、ＲＧＶ（Rail Guided Vehicle 有軌道式無人搬送車）、ＡＧＶ（Automated Guided Vehicle 無人搬送車）などであってもよい。ＲＧＶおよびＡＧＶは、工場内の床面側を走行するキャリア搬送手段である。

【0017】

フープ３８（８）は、本体８１と、本体８１の上面に取り付けられたフランジ部８２とを有する。例えば半導体基板が本体８１内に複数枚収納される。フープ３８（８）は、そのフランジ部８２でＯＨＴ７に吊り上げられて搬送される。フープ３８（８）は、本発明におけるキャリアに相当する。なお、キャリアは、フープ３８（８）に限られることはない。

【0018】

（レール（軌道））
レール９は、工場の天井から吊り下げるなどして設置される。キャリア搬送手段がＲＧＶの場合は、レール（軌道）は、工場の床などに設置される。

【0019】

（ロードポート）
ロードポート６は、その載置台６１の上に載置されたフープ８の蓋８３（図２参照）を開閉するための装置である。ロードポート６の前面側に載置台６１が設けられている。ロードポート６の後面側には、半導体基板などを処理するためのプロセス装置（不図示）が配置される。

【0020】

（第１実施形態のキャリア移載促進装置）
キャリア移載促進装置１は、仮置台２と、キャリア移載台車３と、仮置台２およびキャリア移載台車３を支持する支持部材４と、キャリア移載台車３の動作を制御するコントローラ５（移載台車制御手段）とを具備してなる。

【0021】

（仮置台）
仮置台２は、その上にフープ８が仮置きされる台である。仮置台２は、支持部材４の脚部材４２の側面に取り付けられるブラケット２１と、ブラケット２１の上面に固定された台座２２とを具備してなる。本実施形態において、仮置台２は、載置台６１（ロードポート６）よりもフープ８の搬送方向下流側に配置されている。

【0022】

（キャリア移載台車）
キャリア移載台車３は、ロードポート６の載置台６１および仮置台２の上方を水平方向に走行し且つフープ８を昇降させて載置台６１と仮置台２との間でフープ８の移載を行うためのものである。

【0023】

キャリア移載台車３は、車輪が取り付けられた台車３１と、台車３１に取り付けられたリフト装置３２とを具備してなる。リフト装置３２は、例えばベルト駆動とされる。キャリア移載台車３は、台車３１により、ロードポート６の載置台６１および仮置台２の上方を水平方向に走行し、リフト装置３２により、フープ８を昇降させる。キャリア移載台車３は、複数台あってもよい。

【0024】

（支持部材）
支持部材４は、水平方向に配置されその上面をキャリア移載台車３が走行する走行レール４１と、走行レール４１の端から鉛直下向きに延在するように設けられた４本の脚部材４２とを具備してなる。図２に示したように、走行レール４１は、並行して配置された２本のレール部材４１ａと、レール部材４１ａ同士を連結する２本の連結部材４１ｂとで構成される。２本のレール部材４１ａ同士の間隔は、レール部材４１ａ同士の間を昇降するフープ８がレール部材４１ａに干渉しない寸法とされる。同様に、フープ８の昇降中においてフープ８と連結部材４１ｂとが接触しないように、連結部材４１ｂの位置は、フープ８の鉛直上方を避けた位置とされる。

【0025】

本実施形態において、支持部材４は、その４本の脚部材４２により工場内の床面に対して立設され、ロードポート６に対しては接触していない。なお、ロードポート６にブラケット（不図示、支持部材の一構成部材）などを取り付け、ロードポート６から支持をとる形態の支持部材としてもよい。また、プロセス装置側のレール部材４１ａを、プロセス装置に取り付けておいてもよい。

【0026】

（コントローラ）
コントローラ５は、載置台６１または仮置台２とＯＨＴ７との間でのフープ８の受け渡し中において、キャリア移載台車３とフープ８との接触を回避するようにキャリア移載台車３の動作を制御する移載台車制御部を内部に有するものである。ここで、移載台車制御部とは、例えば、コントローラに組み込まれたマイコンのプログラム部のことをいう。コントローラ５は、仮置台２の下方空間に配置され、支持部材４の脚部材４２の側面に取り付けられている。

【0027】

（キャリア移載促進装置の動作）
次に、図３〜図６に基づき、キャリア移載促進装置１を利用したフープ８の搬送フローの一例について説明しつつ、コントローラ５（移載台車制御部）によるキャリア移載台車３の制御について説明する。なお、以下に説明するキャリア移載台車３の動きが、コントローラ５に組み込まれた移載台車制御部により実現される。

【0028】

（キャリア移載台車の退避）
ロードポート６の載置台６１の上にＯＨＴ７がフープ８を載置しようとする場合、コントローラ５からの信号により、キャリア移載台車３は、載置台６１の上方位置を避けた位置に退避する（ステップ（１））。本実施形態では、仮置台２の上方位置にキャリア移載台車３を退避させている。

【0029】

なお、図３中に想像線（二点鎖線）で示したように、仮置台２よりも搬送方向下流側に走行レール４１を延長させてもよい。そして、仮置台２が下方にない位置までキャリア移載台車３を退避させてもよい。（ステップ（１）−２）。これによると、仮置台２と別のＯＨＴとの間でのフープの受け渡しをキャリア移載台車３が妨げることはない。

【0030】

また、ロードポート６の載置台６１の上にＯＨＴ７がフープ８を載置しようとする場合に、載置台６１の上方位置にキャリア移載台車３が位置しない場合は、コントローラ５により、載置台６１の上方位置にキャリア移載台車３が位置しないことを確認することになる。

【0031】

（ＯＨＴによるフープの載置）
フープ８を保持した状態のＯＨＴ７が、ロードポート６の載置台６１の上方位置まで走行してくる（ステップ（２））。ロードポート６の載置台６１の上方位置にＯＨＴ７が到着すると、ＯＨＴ７は載置台６１の上にフープ８を降ろす（ステップ（３））。

【0032】

（ＯＨＴによる別のフープの受け取り）
次に、図４に示したように、ＯＨＴ７は、そのホイスト部７１を引き上げた後、仮置台２の上方位置まで走行を開始する（ステップ（４））。一方、ＯＨＴ７が走行を開始したこと、または載置台６１の上方のキャリア移載台車３の走行空間にホイスト部７１がないことを条件に、キャリア移載台車３は、コントローラ５により制御され、仮置台２の上方位置から載置台６１の上方位置へ向かって移動する（ステップ（５））。

【0033】

なお、図４などに示したように、仮置台２の上には、ロードポート６の後面側に配置されたプロセス装置（不図示）により処理された半導体基板などを収納した処理済のフープ１８が仮置きされているものとする（当該フープ１８は、キャリア移載台車３により載置台６１から仮置台２へ移載されたものである）。

【0034】

このとき、図５に示したように、フープ８を保持していない空のＯＨＴ７が、仮置台２の上方位置に到着すると、ＯＨＴ７は仮置台２の上の処理済のフープ１８を引き上げる（ステップ（６））。その後、ＯＨＴ７はフープ１８を所定位置まで搬送する（ステップ（７））。

【0035】

この搬送システム５０によると、ＯＨＴ７による一方向搬送で、フープのプレース（フープの載置（ステップ（３）））およびピック（フープの受け取り（ステップ（６）））（プレース＆ピック）が可能となり、ロードポート数の多い装置を採用することなくフープの搬送待ち時間を短縮することができる。換言すれば、キャリア搬送システム５０の搬送効率を向上させることができる。

【0036】

（キャリア移載台車によるフープの移載）
キャリア移載台車３が載置台６１の上方位置に到着すると、プロセス装置などにより半導体基板などが処理されて処理済の半導体基板などを収納した状態のフープ８（処理済のフープ８）となるまで、コントローラ５によりキャリア移載台車３は載置台６１の上方位置で待機する。

【0037】

ここで、コントローラ５は、フープ８の処理が完了したとき、載置台６１上の処理済のフープ８を仮置台２の上へただちに移載するようにキャリア移載台車３を制御する。具体的には、図６に示したように、載置台６１上のフープ８が処理済の半導体基板を収納した状態になると、キャリア移載台車３は、すぐに、フープ８を吊り上げ（ステップ（８））、横移動させ（ステップ（９））、そして仮置台２の上にフープ８を降ろす（ステップ（１０））。

【0038】

載置台６１（ロードポート６）よりもフープ８の搬送方向下流側に仮置台２を配置して、上記した制御を行うことにより、ロードポート６の載置台６１上に処理済のフープが残っている時間を短縮できる。その結果、ロードポート６へのフープの搬送待ち時間をより短縮することができる。なお、フープ８の処理が完了したときとは、プロセス装置などにより半導体基板などが処理されて処理済の半導体基板などをフープ８がその本体８１内に収納した状態となったときのことをいう。

【0039】

なお、本実施形態においては、キャリア移載台車３によりフープ８を持ち上げたときのフープ８（フープ８の本体８１）の底面レベルＨ１が、載置台６１および仮置台２の上に置かれた状態のフープ８（フープ８のフランジ部８２）の上面レベルｈ１よりも低くされている。

【0040】

なお、複数のロードポート６（載置台６１）、複数の仮置台２がある場合がある。ここで、フープ８を持ち上げたときのフープ８の底面レベルＨ１が、載置台６１および仮置台２の上に置かれた状態のフープ８の上面レベルｈ１よりも低くされている、とは、それぞれの載置台６１および仮置台２の上に置かれた状態のフープ８の上面レベルｈ１のうち最も高いレベルの上面レベルｈ１よりも前記底面レベルＨ１が低くされていることをいう。

【0041】

走行レール４１の設置レベル、キャリア移載台車３のリフト装置３２のリフト量などにより、フープ８を持ち上げたときのフープ８の底面レベルＨ１が決まる。

【0042】

なお、本実施形態では、載置台６１の上面レベルと仮置台２の上面レベルとは等しいが、載置台６１の上面レベルと仮置台２の上面レベルとが異なる場合もあり得る。

【0043】

また、図６に示したように、載置台６１（または仮置台２）からのフープ８の持ち上げ高さ（キャリア移載台車３によりフープ８を持ち上げたときの、載置台６１（または仮置台２）の上面とフープ８の底面との距離）は、極力小さくすることが好ましい。

【0044】

以上説明したように、キャリア移載促進装置１によると、ロードポート６の載置台６１の上方空間を利用してフープ８の移載を行うことができる。その結果、従来技術のように、ロードポート自体（内部）にキャリア移載装置を組み込む必要がなくなり、キャリア移載促進装置（キャリア移載装置）の後付けが可能となる。すなわち、既存のロードポートをそのまま使用することができる。

【0045】

ここで、特許文献１に記載されたＯＨＴによる一方向搬送の搬送システムでは、１つのロードポートと１つの中継ユニットとが隣接配置されている。一方、ロードポートおよび中継ユニットは、前面側（キャリアの載置される側）が決まっている。そのため、１組の搬送システム（１つのロードポート、１つの中継ユニット、および１つのキャリア移載装置からなるもの）には左右勝手があった。

【0046】

しかしながら、前記したように、キャリア移載促進装置１は、既存のロードポートに対して後付けできる。すなわち、ＯＨＴによる一方向搬送の搬送システムにおいて、既存のロードポートの上流側にも下流側にもキャリア移載促進装置１の仮置台２を適宜、配置することができ（移設が容易）、左右勝手という問題はない（拡張性に優れる）。

【0047】

なお、上記実施形態では、まずＯＨＴ７により、ロードポート６の載置台６１の上に未処理のフープ８を載置して、その後、処理済のフープ８を載置台６１から仮置台２の上へキャリア移載台車３により移載する例を示したが、まずＯＨＴ７により、仮置台２の上に未処理のフープ８を仮置きし、その後、未処理のフープ８を仮置台２から載置台６１の上へキャリア移載台車３により移載してもよい。

【0048】

この場合、仮置台２の上にＯＨＴ７がフープ８を載置しようとするとき、コントローラ５からの信号により、キャリア移載台車３は、仮置台２の上方位置を避けた位置（上記実施形態では、載置台６１の上方位置）に退避することになる。なお、未処理のフープ８とは、未処理の半導体基板などを収納した状態のフープ８のことをいう。

【0049】

また、上記実施形態では、載置台６１（ロードポート６）よりもフープ８の搬送方向下流側に仮置台２を配置した例を示したが、載置台６１（ロードポート６）よりもフープ８の搬送方向上流側に仮置台２を配置してもよい。

【0050】

この場合も、まずＯＨＴ７により、仮置台２の上に未処理のフープ８を仮置きし、その後、未処理のフープ８を仮置台２から載置台６１の上へキャリア移載台車３により移載してもよいし、逆に、まずＯＨＴ７により、ロードポート６の載置台６１の上に未処理のフープ８を載置して、その後、処理済のフープ８を載置台６１から仮置台２の上へキャリア移載台車３により移載してもよい。

【0051】

共通するのは、コントローラ５により、載置台６１または仮置台２とＯＨＴ７との間でのフープの受け渡し中において、載置台６１または仮置台２の上方位置を避けた位置にキャリア移載台車３を退避させるようにキャリア移載台車３の動作を制御して、キャリア移載台車３とフープとの接触を回避することである。

【0052】

（キャリア移載促進装置の変形例）
図７を参照しつつ、第１実施形態に係るキャリア移載促進装置１の変形例について説明する。なお、本変形例に係るキャリア移載促進装置１０１の説明においては、第１実施形態に係るキャリア移載促進装置１との相違について主に説明する。また、図７において、仮置台２およびコントローラ５の図示を省略している。

【0053】

図７に示すように、本変形例に係るキャリア移載促進装置１０１は、キャスター４３およびエリアセンサー４４をさらに具備してなる。

【0054】

本変形例では、４つのキャスター４３が、それぞれ、４本の脚部材４２の下端に取り付けられている。また、ロードポート６に対してセットされた状態においてフープの搬送方向に対向する２本の脚部材４２にエリアセンサー４４が取り付けられている。

【0055】

脚部材４２の下端にキャスター４３を取り付けることで、走行可能な自立式のキャリア移載促進装置１０１となり、既存のロードポートへの適用がより容易となる。また、エリアセンサー４４を設けることで、ＯＨＴ７によるフープの昇降やキャリア移載台車３によるフープの横移動が行われるキャリア移載促進装置１０１の内側空間への作業者の侵入を検知でき、作業者が負傷するなどの事故を未然に防止できる。また、支持部材４を筐体構造とすることで、エリアセンサー４４が取り付けやすくなっている。なお、特許文献１に記載されたキャリア移載装置では、キャリア移載装置の端から端まで到達するビームを発するエリアセンサーの取り付けが困難であったという問題があった。

【0056】

（第２実施形態）
次に、図８を参照しつつ、第２実施形態に係るキャリア移載促進装置２０１について説明する。なお、本実施形態の説明においては、第１実施形態との相違について主に説明する。

【0057】

図８に示すように、本実施形態に係るキャリア移載促進装置２０１は、隣り合う２つのロードポート６ａ・６ｂの両側に、それぞれ、仮置台２ａ・２ｂが位置するように構成されている。また、仮置台２ａおよび仮置台２ｂは、それぞれ、ロードポート６ａおよびロードポート６ｂに隣り合うように配置されている。なお、第１実施形態に係るキャリア移載促進装置１と同様に、キャリア移載台車３によりフープ８を持ち上げたときのフープ８（フープ８の本体）の底面レベルが、ロードポート６の載置台および仮置台２の上に置かれた状態のフープ８（フープ８のフランジ部）の上面レベルよりも低くなるように構成されている。

【0058】

以下に、キャリア移載促進装置２０１を利用したフープ８の搬送フローの一例についてその概要を説明する。

【0059】

まず、仮置台２ａの上にＯＨＴ７がフープ８を仮置きして（ステップ（１））、搬送方向下流側に移動する（ステップ（２））（搬送方向下流側の隣り合うロードポート６ａの載置台の上方に移動する）。ここで、ロードポート６ａの載置台の上には処理済の別のフープ１８が既に載置している状態にあるものとする。

【0060】

なお、仮置台２ａの上にＯＨＴ７がフープ８を仮置きしようとする場合、コントローラ５からの信号により、キャリア移載台車３は、仮置台２ａの上方位置を避けた位置に退避させられる。本実施形態では、ロードポート６ｂの載置台の上方位置にキャリア移載台車３は退避させられている。

【0061】

次に、ロードポート６ａの載置台の上方に移動したＯＨＴ７は、載置台の上のフープ１８を引き上げ、その後、フープ１８を所定位置まで搬送する（ステップ（３））。この例においても、１回のＯＨＴ７の移動で、フープのプレース（フープの載置（ステップ（１）））およびピック（フープの受け取り（ステップ（３）））が可能となり、ロードポート数の多い装置を採用することなくフープの搬送待ち時間を短縮することができている（後述する第３実施形態においても同様）。

【0062】

一方、コントローラ５は、仮置台２ａ上の未処理のフープ８をロードポート６ａの載置台上へ移載するようにキャリア移載台車３を制御する（ステップ（４））。これにより、フープ８の移載が行われる。

【0063】

本実施形態に係るキャリア移載促進装置２０１によると、キャリア移載台車３が走行する高さ（換言すれば、走行レール４１の高さ）を低く抑えることができる。その結果、キャリア移載促進装置２０１の高さを全体的に低く抑えることができ、コンパクトなキャリア移載促進装置とすることができる。また、フープの昇降量が少ないため、キャリア移載台車３の動作時間を短縮でき、結果として、ロードポート６へのフープの搬送待ち時間をより短縮できる。

【0064】

（第３実施形態）
次に、図９を参照しつつ、第３実施形態に係るキャリア移載促進装置３０１について説明する。なお、本実施形態の説明においては、第１実施形態との相違について主に説明する。

【0065】

図９に示すように、本実施形態に係るキャリア移載促進装置３０１は、相互に隣り合って配置された複数の（５つの）ロードポート６ａ〜６ｅをすべて囲うようにして設けられるものである。フープ８が仮置きされる仮置台２は、最下流側のロードポート６ｅに対して隣り合うように当該ロードポート６ｅの下流側に位置するように配置されている。

【0066】

なお、ロードポート６ａ〜６ｅのうちのいずれかのロードポート同士の間に仮置台２が配置されてもよいし（ロードポート間に仮置台があってもよいし）、最上流側のロードポート６ａに対して隣り合うように当該ロードポート６ａの上流側に位置するように仮置台２が配置されてもよい。

【0067】

第１実施形態に係るキャリア移載促進装置１と本実施形態に係るキャリア移載促進装置３０１との相違点は、ロードポート数の相違に起因する走行レール４１の長さだけではなく、キャリア移載台車３によるフープ８の持上げ高さにある。本実施形態においては、キャリア移載台車３によりフープ８を持ち上げたときのフープ８（フープ８の本体８１）の底面レベルＨ２が、ロードポート６の載置台および仮置台２の上に置かれた状態のフープ８（フープ８のフランジ部８２）の上面レベルｈ１よりも高くされている。

【0068】

さらには、フープ８を持ち上げたときのフープ８の底面レベルＨ２が、ロードポート６の載置台および仮置台２の上に置かれた状態のフープ８の上面レベルｈ１よりも高くされている、とは、各ロードポート６ａ〜６ｅの載置台および仮置台２の上に置かれた状態のフープ８の上面レベルｈ１のうち最も高いレベルの上面レベルｈ１よりも前記底面レベルＨ２が高くされていることをいう。なお、本実施形態では、各ロードポート６ａ〜６ｅの載置台の上面レベルと仮置台２の上面レベルとは等しい。

【0069】

なお、走行レール４１の設置レベル、キャリア移載台車３のリフト装置３２のリフト量などにより、フープ８を持ち上げたときのフープ８の底面レベルＨ１が決まる。

【0070】

本実施形態に係るキャリア移載促進装置３０１によると、ロードポート６の載置台上に位置する別のフープの上を越えて、フープ８を横移動させることができる。その結果、既存の複数のロードポートが隣り合って配置されていたとしても、すべてのロードポートと仮置台との間でキャリアの移載を行うことができ、ロードポートへのキャリアの搬送待ち時間をより短縮することができる。また、本実施形態に係るキャリア移載促進装置３０１は、フープ８を持ち上げたときのフープ８の底面レベルＨ２が、置かれた状態のフープ８の上面レベルｈ１よりも高くされていることにより、隣接配置された既存のロードポート群へ適用し易い。

【0071】

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々に変更して実施することが可能なものである。

【符号の説明】

【0072】

１：キャリア移載促進装置
２：仮置台
３：キャリア移載台車
４：支持部材
５：コントローラ
６：ロードポート
７：ＯＨＴ（キャリア搬送手段）
８：フープ（キャリア）
６１：載置台

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】