(58)【調査した分野】(Int.Cl.,DB名)
【発明を実施するための形態】
【0008】
図1は
、ある実施形態に従った、メモリ・セル
(メモリセル)に印加される矩形の書き込みパルスの振幅に対する、抵抗性メモリ・セルの抵抗の値110のプロットを示す。そのようなメモリ・セルに記憶されるデータは、複数の中間抵抗状態(多値記憶(multi-level storage))を含む1つの状態変数によって特徴づけることができる。例えばPCMにおいて、データ記憶密度は、適切な書き込みパルス振幅を使用して、セルを部分的に非晶質(または部分的に結晶質)状態にプログラミングすることにより増加することができる。個々のデータ・ポイントのために、メモリ・セルは、あらかじめ「完全に」非晶質(高い抵抗)の状態120に調整することができる。そのようなメモリ・セルは、また、完全に結晶質(低い抵抗)の状態130にしてもよい。この方法では、中間抵抗状態の連続スペクトルを得ることができる。しかしながら、多数の状態を区別することの困難性から、実際上の条件の下では、離散的な比較的少ない数の状態140のみが実施でき、そのような状態を検出することは、メモリ・セルの間の比較的小さい電流および/または電圧の違い
を計測する
ことを含む。例を図示すると、セルあたり3つのデータ・ビットを記憶することは、8つの離散的な抵抗値120、130及び6つの値140の組み合わせを含みうる。ただし、請求の範囲に記載される内容は上記に限定されない。
【0009】
数学的に
図1の態様を記述するために、抵抗性メモリ・セルの状態は、1次元の状態関数ζによって特徴づけることができる。換言すれば、メモリ・セルの状態は、1つの状態パラメータ(または状態変数)により識別することができ、状態パラメータは比較的低い電界または低い電圧
で計測される電気抵抗ρ
lowを含みうる
(非破壊読み出し)。したがって、状態関数は、一般にζ=ζ(ρ
low)の形をとることができる。ρ
lowにおける添え字”low”は、メモリ・セルの状態が永続的に変化することを避けるた
め、その抵抗を比較的低い電界(または電圧)のもとで計測し得ること
(非破壊読み出し)を強調するものである。特定の例を示すために、個々のプログラム・パルス
(書き込みパルス)の印加前に、最初にメモリ・セルは、振幅が1.58mAの矩形パルスを用いて完全に非晶質/高抵抗の状態に設定することができる。当然、プログラム・パルスのそのような詳細は、単なる一例であって、請求の範囲に記載する内容が制限されるものではない。
【0010】
上述したように、メモリ・セルの状態は、複数の独立
した状態変数x
1、x
2、x
3、x
4、…、x
nによって特徴付けることができ、ここでnは整数である(状態変数は時間に依存しうるが、時間変数tは明示しない)。N
iは、実用的な状況(例えば、そのような状態の計測に関する物理的制約を考慮する)のもとで、個々の状態変数X
iが含みうる状態の数を表すことができる。
【0011】
多次元状態関数ζによって表される、利用可能なメモリ状態の最大数N
maxは、1状態変数当たりの利用可能な状態N
iの積として表される。
【数1】
その結果、状態の総数Nは下記の式で表される。
【数2】
したがって、(一次元の状態を使用するのではなく)多次元状態を使用して記憶データを特徴づけると、データの値を定めるために、相対的に多数の利用可能な状態を提供することができる。
【0012】
特定の例を示すために、n = 2として上記の式を適用すると、状態関数はζ = ζ (x
1、 x
2)と記述される。ここで、x
1 = ρ
lowであり、x
2 = V
thである。換言すれば、上記の状態変数x
1 = ρ
lowに、第二の状態変数x
2 = V
thを加えている。そのような状態変数は、互いに独立とすることができる。状態変数x
1 = ρ
lowは、比較的低い電界(または電圧)で計測されるメモリ・セルの抵抗を含むことができ、x
2 = V
thは、比較的高い電界(または電圧)で計測される閾値電圧を含むことができ、詳細は下記で説明される。
【0013】
図2は、ある実施形態における例えばPCMメモリ・セルにおいて、メモリ・セルに書き込まれ、記憶される状態変数V
th及びρ
lowの値のプロット200を示す。そのような状態変数により表されるデータ・ビットは、特定のデータ・ビットに対応する特定のパルス振幅及びパルス形状を含む電気的なプログラム・パルス
(書き込みパルス)を印加することにより、メモリ・セルに書き込むことができる。例えばある実施形態では、プログラム・パルスのパルス振幅及びパルス形状は、特定の低フィールド
での状態変数ρ
low及び高フィールド
での状態変数V
thを互い
に独立に選択するために特定の値に調整することができる。用語「フィールド」は、読み出し処理中に印加される電界または電圧を指す。特定の例では、相対的に低い電圧(例えば20mV)で測定されるρ
lowは低フィールド
での状態変数として選択し、セルの閾値電圧V
thは高フィールド
での状態変数として選択することができる。したがって、対応する状態関数は、ζ=ζ(ρ
low、V
th)と記述することができる。
【0014】
図2では、特定の例を示す。1.64mAの振幅を有するプログラム・パルスをメモリ・セルの状態220を設定するために用いることができ、1.73mAの振幅を有するプログラム・パルスをメモリ・セルの状態230を設定するために用いることができ、1.81mAの振幅を有するプログラム・パルスをメモリ・セルの状態240を設定するために用いることができ、1.89mAの振幅を有するプログラム・パルスをメモリ・セルの状態250を設定するために用いることができる。しかし、上記の事項は請求の範囲に記載する内容を制限するものではない。メモリ・セルの状態220、230、240及び250内の値の変化を、プログラム・パルスの形状を変えることにより決定することができる。そのようなパルス形状は
、パルスのピー
ク振幅から実質的にゼ
ロ振幅までの時間幅(パルス減衰)として
定義される
トレーリングエッジを含むものとし得る。メモリ・セル状態220、230、240及び250の各
組の最も低い値は、185ナノ秒(ns)の
トレーリングエッジを持つプログラム・パルスを用いて設定することができ、次に高い値は125ナノ秒(ns)の
トレーリングエッジを持つプログラム・パルスを用いて設定することができ、さらに次に高い値は65ナノ秒(ns)の
トレーリングエッジを持つプログラム・パルスを用いて設定することができる。最後に、メモリ・セル状態220、230、240および250の各セットで最も高い値は、5.0ナノ秒の
トレーリングエッジを有するプログラム・パルスを使用して設定することができる。したがって、プログラム・パルス
の特定の特徴(例えば振幅および/または
トレーリングエッジ)を、特定の状態値を設定するために用いることができる。換言すれば、プログラム・パルスの振幅および/または
トレーリングエッジを、対応するメモリ・セルの状態によって特徴付けられる特定のデータの値を記憶するようにメモリ・セルをプログラムするために調整することができる。例えば、プロット200は16
個の異なった状態を示し、そのような状態は16
個の異なったデータの値を記憶するために使用することができる。説明に役立つ例を示すと、2.0ボルトの閾値電圧と2800万
(28.0×106)オームの低フィールド抵抗を持つメモリの状態に対応する、ビット列1101で表されるデータの値を決定することが
できる。さらに、そのようなメモリ状態はピーク振幅が1.73mAで
トレーリングエッジが65nmの書き込みパルスを印加することで設定することができる。加えて、ρ
lowとV
thの2次元状態空間内のほぼすべての状態点にアクセスできるように、プログラム・パルスの振幅および/または
トレーリングエッジを微小のステップ(図示せず)で調整することができる。従って、
比較的大量のデータをメモリ・セルに記憶するために
、プロットされた16
個の値よりも多くの状態値を使用することができ、それによりデータ記憶密度が向上する。もちろん、状態変数により特徴付けられるデータ記憶のそのような詳細は単なる一例であって、請求の範囲に記載される内容を制限するものではない。
【0015】
他の実施形態では、相対的に低い電圧で計測されるメモリ・セルの抵抗ρ
lowを低フィールド
での状態変数として選択することができ、相対的に高い電圧で計測されるメモリ・セル抵抗ρ
highを高フィールド
での状態変数として選択することができる。したがって、対応する状態関数はζ = ζ (ρ
low, ρ
high)と記述することができる。例えばメモリ・セルに対する電流と電圧の関係が非線形であるため、変数ρ
low、ρ
highは互いに独立となりうる。そのような関係が
図3及び
図4に示され、ある実施形態における、メモリ・セルの電流対印加電圧の関係がプロットされている。したがって、ρ
lowおよびρ
highを含んでいるそのような状態関数は、特定の材料および/または設計のために、閾値電圧によって特徴付けることができないメモリ(例えばRRAM(登録商標)等)に対して有用となりうる。
【0016】
図3及び
図4におけるプロット300および400は、メモリ・セルに対する様々なプログラム・パルスの電流の振幅及び
トレーリングエッジの値に対するサブスレッショルド電流対電圧の関係のプロットを含む。特に、プロット300は高フィールド領域を示すのに対し、プロット400はプロット300の低フィールド領域を拡大した部分を示す。特定の例を示すと、プロット310及び410はプログラム・パルスの電流の振幅が1.73mAで
トレーリングエッジが185nsに対応し、プロット320及び420はプログラム・パルスの電流の振幅が1.73mAで
トレーリングエッジが5.0nsに対応し、プロット330及び430はプログラム・パルスの電流の振幅が1.89mAで
トレーリングエッジが185nsに対応し、プロット340及び440はプログラム・パルスの電流の振幅が1.89mAで
トレーリングエッジが5.0sに対応する。プロット300は、高フィールド
での状態変数が上述したような閾値電圧V
thまたは高フィールド(高電圧)
での抵抗のいずれかによって表されることを示す。しかしながらプロット400は、低フィールド領域では、電流と電圧の関係が実質的に線形となりうることを示している。したがって、ρ
lowおよびρ
highは相対的に低い電圧(例えば20ミリボルト(mV)または200mV)で決定及び測定される場合には、電流−電圧の関係は線形となり、それらは独立
した状態変数で無くなりうる。一方、2つの十分に異なる電圧、例えば20mVおよび2000mVで測定される抵抗は、そのような広い電圧の範囲では電流−電圧の関係が非線形であるため、独立した状態変数になりうる。
【0017】
図5は、ある実施形態におけるメモリ・セルに対する書き込み処理500の流れ図である。ブロック510では、例えばメモリ・コントローラがメモリ・セルに書き込むべき書き込みビット・データ対応してプログラム・パルスの特定の特徴を決定することができる。そのような特徴は
、上述したように、パルス
のピーク振幅
、および/または
、パルスのトレーリングエッジを含むパルスの形状を含むことがで
きる。例えば、書き込みビット・データは一連の4ビットワード(例えば1011、1010、0101等)を含むことができる。実施態様において、そのような4ビットワードは、例えば抵抗および閾値電圧のような、2つの独立
した状態変数によって表される特定のメモリ・セルの状態に、個々に対応することができる。例えば
図2に示されるような個々のメモリ状態は、特定の書き込みパルスの振幅および/または形状を印加することによりメモリ・セルに設定することができる。したがって、ブロック520では、書き込みビット・データを
、対応するプログラム・パルスに変換することができる。ブロック530では、そのようなプログラム・パルスを生成し、ブロック540においてそれぞれのメモリ・セルに印加することができる。したがって、個々のメモリ・セルは、単独のプログラム・パルスを印加することによって、多ビットのデータを記憶することができる。当然、書き込み処理500のような詳細は単なる一例であり、請求の範囲に記載される内容を制限するものではない。例えば、メモリの状態は2つ以上の状態変数によって表わすことができ、そして多ビット・データは実質的に任意の数のビットを含むことができる。
【0018】
図6は、ある実施形態におけるメモリ・セルに対する読み出し処理の流れ図である。ブロック610では、記憶された多ビット・データの値に対応するメモリ状態を表す第一の変数を計測するために、メモリ・セルに第1の
条件を
適用することができる。例えば、そのようなメモリ状態は、
図2に示される16個のメモ
リ状態の中の
1つのメモリ状態を含むことができる。特定の実施態様において、第1の
条件は、メモリ・セルの状態を変えることがな
い、相対的に低い電界(または低電圧)
を含むことができる
(非破壊読み出し)。そのような第1の
条件は、例えば、低フィールド抵抗ρ
lowを含む、低フィールド
での状態変数を計測するために用いられることができる。低い電界の印加により生じる電流を、ρ
lowの値を得るために計測することができる。
【0019】
ブロック620において、第2の変数を計測するために、第2の
条件をメモリ・セルに
適用することができる。例えば、そのような第2の
条件は、相対的に高い電界(または高い電圧)
を含むことができる。そのような第2の
条件は、例えば閾値電圧V
thを含む高フィールド
での状態変数を計測するために用いられうる。特定の実施態様において、閾値イベントが検出されるまで、印加電圧を相対的に小さいステップで増加することができる。例えば、閾値イベントは、メモリ・セルの電流がメモリ・セルの製造に用いた材料と関連する閾値電流の値に達するまでまたは超えるまで増加したときに起こりうる。そのような測定プロセスの第1のおよび/または次のステップがV
thを測定することができないとき、閾値イベントが検出されるまで、印加電圧を更なるステップによって増加して、V
thの測定値を発生させることができ、これをメモリ・セルの第2の
条件とすることができる。例えば、特定のメモリ・セルに対して、0.6Vの印加電圧は実質的に閾値電流I
thより小さい測定電流を発生するので、V
thは0.6より大きい可能性がある。従って、印加電圧を次のレベル、例えば0.7V(ステップサイズは0.1Vとする)に増加させることができる。電流は、このとき再び計測され、I
thと比較されうる。印加電圧は、V
thが検出されるまで、例えば計測される電流がI
thに近くなるまで(またはI
thより高くなるまで)、さらに増加しうる。もちろん、メモリ・セルの状態変数を測定するそのような方法の詳細は単なる一例であり、請求の範囲に記載される内容を制限するものでない。
【0020】
菱形ブロック630では
、メモリの状態を決定するため
に計測すべき付加的な状態変数を
メモリ・セルが含むかどうかの判定を行うことができる。もし含むのであれば、処理600は、そのような付加的な状態変数を計測するためにブロック620に戻ることができる。含まないのであれば、処理600はブロック640に進み、メモリの状態の少なくとも一部を、計測される2つ以上状態変数に基づき決定することができる。ブロック650では、そのようなメモリの状態に対応する多ビット・データの値を決定することができる。したがって、要約すると、メモリ・セルは特定の多次元のメモリ状態によってそのような多ビット・データを表すことにより、そのような多ビット・データを記憶することができる。したがって、特定のメモリ状態に対応する多ビット・データを決定した後に、そのようなメモリ・セルを読み取ることで、記憶された多ビット・データを得ることができる。もちろん、メモリ・セルまたはメモリの他の構成要素に適用されるそのような処理は、単なる一例であって、請求の範囲に記載される内容を制限するものではない。
【0021】
図7は、例えば上述したメモリ・セルのアレイからなるメモリ・デバイス710を備えるコンピュータ・システム700の典型的な実施形態を示す概略図である。コンピュータ・デバイス704は、メモリ・デバイス710を管理するように構成可能なあらゆるデバイス、機器および/または機械を代表することができる。メモリ・デバイス710は、メモリ・コントローラ715と、メモリ722とを含むことができる。一例として、コンピュータ・デバイス704は、1つ以上のコンピュータおよび/またはプラットフォーム(例えばデスクトップ・コンピュータ、ラップトップ・コンピュータ、ワークステーション、サーバ装置等または、一つ以上のパーソナル・コンピューティングまたは通信のデバイスまたは機器(例えばPDA、移動通信デバイス等)またはコンピュータ・システムおよび/または関連するサービスプロバイダ機能(例えばデータベースまたはデータ記憶サービスプロバイダ/システム)および/またはそれらのあらゆる組合せを含むことができるが、これらに限定されない。
【0022】
システム700に示される様々な機器、及び本明細書に示される処理および方法の全部または一部は、ハードウェア、ファームウェア、ソフトウェアまたはそれらの組み合わせを用いるか、さもなければ含めることにより実施することができることが認識される。したがって、一例として、コンピュータ・デバイス704は、バス740及びホストまたはメモリ・コントローラ715を通じてメモリ722に動作可能に結合される少なくとも一つの処理ユニット720含むことができる。処理ユニット720は、上述した処理500の少なくとも一部を適用する等、データ計算手順または処理の少なくとも一部を実行するように設定できる、1つ以上の回路を代表する。一例として、処理ユニット720は、一つ以上のプロセッサ、コントローラ、マイクロプロセッサ、マイクロコントローラ、特定用途向け集積回路、デジタル信号プロセッサ、プログラム可能な論理デバイス、フィールド・プログラマブル・ゲート・アレイ等またはあらゆるこれらの組み合わせを含むことができるが、これらに限定されない。処理ユニット720は、読み出し、書き込みおよび/または消去等の、メモリに関する演算を処理または/および開始するために、メモリ・コントローラ715と通信することができる。例えば、処理ユニット720は、メモリ・コントローラ715にプログラム・パルスをメモリ・デバイス710の一つ以上の特定のメモリ・セルに印加するように命令することができる。処理ユニット720は、メモリ・コントローラ715と通信するように構成されるオペレーティング・システムを含むことができる。そのようなオペレーティング・システムは、例えばバス740を通じてメモリ・コントローラ715に送信される命令を生成することができる。そのような命令は、例えば、
図6において上述した処理600のような処理を使用してメモリ・セルに記憶されているデータ値を読み出すための命令を含むことができる。
【0023】
メモリ722は、あらゆるデータ記憶の手法を代表する。メモリ722は、例えば、主記憶装置724および/または補助記憶装置726を含むことができる。主記憶装置724は、例えば、ランダム・アクセス・メモリ、読出し専用メモリなどを含むことができる。本例では処理ユニット720から分離されている例を示しているが、主記憶724の全部または一部は、処理ユニット720内に設けること、又は処理ユニット720と共同設置/共同接続することができることを理解されなければならない。
【0024】
補助記憶装置726は、例えば主記憶装置と同じまたは類似したタイプのメモリおよび/または、1つ以上のデータ記憶デバイスまたはシステム(例えばディスクドライブ、光ディスクドライブ、テープドライブ、SSD等)を含むことができる。特定の実施形態において、補助記憶装置726はコンピュータ読み取り可能な媒体728を動作可能に受け入れるようにする、またはコンピュータ読み取り可能な媒体728に接続可能にすることができる。コンピュータ読み取り可能な媒体728は、例えばシステム700の1つ以上の機器に対するアクセスが可能なデータ、コードおよび/または命令を、担持および/または作成することができる、あらゆる媒体を含むことができる。
【0025】
一実施形態では、処理ユニット720はメモリ・コントローラ715に対して、メモリ・デバイスに情報を記憶しまたは/およびメモリ・デバイスから情報を検索する命令を開始するために、1つ以上のアプリケーションのホストとなることができる。そのようなアプリケーションは、文書処理アプリケーション、音声通信アプリケーション、ナビゲーション・アプリケーション、その他を含むことができる。コンピュータ・デバイス704は、例えば入出力732を含むことができる。入出力732は、人間および/または機械からの入力を受け入れまたは取り込むように設定可能な、1つ以上のデバイスまたは機能、および/または、人間および/または機械に出力を送信または提供するように設定可能な1つ以上のデバイスまたは機能を代表する。一例として、入出力用デバイス732は、動作可能に設定されたディスプレイ、スピーカ、キーボード、マウス、トラックボール、タッチスクリーン、データ・ポートなどを含むことができるが、これらに限定されない。
【0026】
上記の詳細な説明において、多くの具体的な詳細は、請求の範囲に記載された内容の完全な理解を提供するために記載されている。しかしながら、請求の範囲に記載される内容がこれらの具体的な詳細を含まずに実施することができることは、当業者に理解されよう。請求の範囲に記載された内容を不明瞭にしないように、当業者にとって公知な方法、装置またはシステムの詳細は詳述されていない。
【0027】
本明細書で用いられている用語「および」、「および/または」及び「または」は、この語が使用される文脈に部分的に依存して様々な意味を含みうる。概して、「および/または」及び「または」は、A、BまたはCのようなリストに関して使用される場合には、A、B及びCは包括的であることを意図し、及びA、BまたはCは排他的であることを意図する。「一実施形態」または「ある実施形態」に対する本明細書全体にわたる言及は、その実施形態に関連して記述される特定の特徴、構造または特性が、請求の範囲に記載される内容の少なくとも1つの実施形態に含まれることを意味する。したがって、本明細書の様々な場所におけるフレーズ「一実施形態において」または「ある実施形態」は、必ずしも全てが同じ実施形態に言及しているわけではない。さらにまた、特定の特徴、構造または特性は、一つ以上の実施形態において組み合わせることができる。本明細書において記述される実施形態は、デジタル信号を使用して作動する機械、デバイス、エンジンまたは装置を含むことができる。そのような信号は、電子信号、光学的信号、電磁信号または位置間で情報を提供するあらゆる形態のエネルギーを含むことができる。
【0028】
現在考えられる実施形態例を図示及び記述しているが、請求の範囲に記載される内容から逸脱することなく種々の他の変更並びに均等物の置換が可能であることは当業者によって理解されよう。加えて、多くの変更は、本明細書において記述される主要な概念から逸脱することなく、特定の状況を請求の範囲に記載される内容の教示に適応させるために実行することができる。従って、請求の範囲に記載される内容は、開示される特定の実施形態に限定されず、そのような請求の範囲に記載される内容は、添付の請求の範囲に含まれる全ての実施形態及びそれらの均等物も含みうることを意図する。