発明の名称 複合酸化物薄膜製造用組成物
出願人 東ソー・ファインケム株式会社 (識別番号 301005614)
特許公開件数ランキング 1078 位(29件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 1290 位(22件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-5702258
公報発行日 2015年4月15
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5702258
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