特許5713419欠陥分類方法及び検査装置

発明の名称　欠陥分類方法及び検査装置

出願人　レーザーテック株式会社　（識別番号 115902）

　　　　特許公開件数ランキング 530 位（17件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 519 位（15件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5713419

公報発行日　2015年5月7

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5713419

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