特許 5715114 基板印刷装置および基板印刷システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5715114

(24)【登録日】2015年3月20日

(45)【発行日】2015年5月7日

(54)【発明の名称】基板印刷装置および基板印刷システム

(51)【国際特許分類】

   B41F 15/36 20060101AFI20150416BHJP

   B41F 15/40 20060101ALI20150416BHJP

   B41F 15/08 20060101ALI20150416BHJP

   B41F 15/26 20060101ALI20150416BHJP

   H05K 3/34 20060101ALI20150416BHJP

【ＦＩ】

   B41F15/36 A

   B41F15/40 B

   B41F15/08 303E

   B41F15/26 A

   H05K3/34 505D

【請求項の数】6

【全頁数】19

(21)【出願番号】特願2012-279559(P2012-279559)

(22)【出願日】2012年12月21日

(65)【公開番号】特開2014-121846(P2014-121846A)

(43)【公開日】2014年7月3日

【審査請求日】2013年10月24日

(73)【特許権者】

【識別番号】000010076

【氏名又は名称】ヤマハ発動機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100104433

【弁理士】

【氏名又は名称】宮園 博一

(72)【発明者】

【氏名】藤本 猛志

【審査官】 亀田 宏之

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１２−１７１１５４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−７６４４８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ４１Ｆ １５／３６

Ｂ４１Ｆ １５／０８

Ｂ４１Ｆ １５／２６

Ｂ４１Ｆ １５／４０

Ｈ０５Ｋ ３／３４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

印刷対象の基板に粘性材を印刷するためのマスクと、
前記基板と前記マスクとの少なくとも一方を上下方向に移動させることにより、前記基板と前記マスクとの間の上下方向の距離を変更可能な上下移動機構と、
前記基板と前記マスクとを当接させる版合わせ動作よりも前の時点において、前記基板の印刷準備動作と並行して前記上下移動機構を動作させ、前記基板と前記マスクとの間の上下方向の距離を、印刷後の前記基板と前記マスクとを離間させる版離れ距離から、前記版離れ距離よりも小さく、かつ、前記マスクと前記基板とが接触しない印刷待機距離に変更させる制御を行う制御部とを備える、基板印刷装置。

【請求項2】

前記印刷待機距離は、少なくとも前記マスクの上下方向のたわみ量を考慮して設定されている、請求項１に記載の基板印刷装置。

【請求項3】

前記マスクは、未印刷の前記基板に粘性材を第１の高さを有するように印刷する第１印刷を行うための小型部品用マスクと、前記小型部品用マスクにより印刷された前記第１の高さの粘性材を逃がすように基板接触面側に逃がし部が形成され、前記第１印刷後の前記基板に、粘性材を前記第１の高さよりも大きい第２の高さを有するように印刷する第２印刷を行うための大型部品用マスクとのうち、少なくとも前記大型部品用マスクを含み、
前記大型部品用マスクに対する前記印刷待機距離は、前記第１印刷によって前記基板上に形成された粘性材の前記第１の高さと、前記大型部品用マスクの上下方向のたわみ量とを考慮して設定されている、請求項２に記載の基板印刷装置。

【請求項4】

印刷対象の前記基板を保持するとともに、水平方向に移動可能に構成された基板作業テーブルと、
前記基板作業テーブルの上方で前記マスクを保持する印刷テーブルとをさらに備え、
前記上下移動機構は、前記印刷テーブルに設けられ前記マスクを上下方向に移動させるマスク昇降機構からなる、請求項１〜３のいずれか１項に記載の基板印刷装置。

【請求項5】

印刷対象の基板に粘性材を印刷するためのマスクを用いて前記基板に第１印刷を行うように構成され、前記基板と前記マスクとの少なくとも一方を上下方向に移動させることにより、前記基板と前記マスクとの間の上下方向の距離を変更可能な第１印刷装置と、
印刷対象の基板に粘性材を印刷するためのマスクを用いて前記第１印刷装置による前記第１印刷後の前記基板に第２印刷を行うように構成され、前記基板と前記マスクとの少なくとも一方を上下方向に移動させることにより、前記基板と前記マスクとの間の上下方向の距離を変更可能な第２印刷装置とを備え、
前記第１印刷装置および前記第２印刷装置の少なくとも一方は、前記基板と前記マスクとを当接させる版合わせ動作よりも前の時点において、前記基板の印刷準備動作と並行して、前記基板と前記マスクとの間の上下方向の距離を、印刷後の前記基板と前記マスクとを離間させる版離れ距離から、前記版離れ距離よりも小さく、かつ、前記マスクと前記基板とが接触しない印刷待機距離に変更させるように構成されている、基板印刷システム。

【請求項6】

前記第１印刷装置は、印刷対象の基板に粘性材を第１の高さを有するように印刷する小型部品用マスクを用いて前記第１印刷を行うように構成され、
前記第２印刷装置は、前記小型部品用マスクにより印刷された前記第１の高さの粘性材を逃がすように基板接触面側に逃がし部が形成され、前記第１印刷後の前記基板に、粘性材を前記第１の高さよりも大きい第２の高さを有するように印刷する大型部品用マスクを用いて前記第２印刷を行うように構成され、
前記第２印刷装置は、前記第２印刷を実行する際、前記第１印刷後の前記基板と前記大型部品用マスクとを当接させる版合わせ動作よりも前の時点において、前記第１印刷後の前記基板と前記大型部品用マスクとの間の上下方向の距離を、前記第２印刷後の前記基板と前記大型部品用マスクとを離間させる版離れ距離から、前記版離れ距離よりも小さく、かつ、前記大型部品用マスクと前記第１印刷後の前記基板上の前記第１の高さの粘性材とが接触しない印刷待機距離に変更するように構成されている、請求項５に記載の基板印刷システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板印刷装置および基板印刷システムに関し、特に、基板に対してマスク印刷を行う基板印刷装置および基板印刷システムに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、基板に対してマスク印刷を行う基板印刷装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。

【0003】

上記特許文献１には、半田ペーストや導電性ペーストなどの粘性材を印刷するためのマスクと、マスクの下方で基板を保持するとともに基板を上下方向および水平方向に移動可能に構成された基板保持移動ユニットとを備える基板印刷装置が開示されている。この基板印刷装置では、概して７ステップの作業工程により基板印刷が行われる。まず、第１ステップで基板の搬入および保持（固定）が実施され、第２ステップでマスクに対する基板の水平方向の位置合わせが実施され、その後、第３ステップで基板を上昇させてマスクに当接させる版合わせが実施される。続いて、第４ステップで粘性材のマスク印刷が実施され、第５ステップで基板を下降させてマスクから離間させる版離れが実施され、第６ステップで基板保持（固定）が解除され、第７ステップで印刷済みの基板が搬出される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１２−１７１１５４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

上記のような基板印刷装置では、基板印刷に要する時間の短縮が望まれている。基板印刷装置は回路基板の製造ラインに設置され、大量の基板を繰り返し印刷することから、上記各工程の内、いずれかの工程の作業時間が短縮されれば、所定の生産枚数全部を処理するために要する時間の短縮に寄与することが可能となる。

【0006】

また、プリント基板に実装される電子部品の小型化に伴い、０６０３サイズ（０．６ｍｍ×０．３ｍｍ）や０４０２サイズ（０．４ｍｍ×０．２ｍｍ）などの小型部品（極小部品）と、シールド部品などの大型部品とが混在して基板に実装されるようになっている。これらの小型部品（極小部品）と大型部品とに適切な転写量で粘性材を印刷するためには、厚みの小さい小型部品用の第１のマスクと、厚みの大きい大型部品用の第２のマスクとの２種類のマスクを用意して、１枚の基板に対する印刷を２回に分けて実施することが考えられる。この場合、１枚の基板に対して２回の印刷動作を実施する必要が生じるため、基板印刷に要する時間の短縮の必要性が高い。

【0007】

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、基板印刷に要する時間を短縮することが可能な基板印刷装置および基板印刷システムを提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記目的を達成するために、この発明の第１の局面における基板印刷装置は、印刷対象の基板に粘性材を印刷するためのマスクと、基板とマスクとの少なくとも一方を上下方向に移動させることにより、基板とマスクとの間の上下方向の距離を変更可能な上下移動機構と、基板とマスクとを当接させる版合わせ動作よりも前の時点において、基板の印刷準備動作と並行して上下移動機構を動作させ、基板とマスクとの間の上下方向の距離を、印刷後の基板とマスクとを離間させる版離れ距離から、版離れ距離よりも小さく、かつ、マスクと基板とが接触しない印刷待機距離に変更させる制御を行う制御部とを備える。

【0009】

この発明の第１の局面による基板印刷装置では、上記のように、基板とマスクとを当接させる版合わせ動作よりも前の時点において、基板の印刷準備動作と並行して上下移動機構を動作させ、基板とマスクとの間の上下方向の距離を、印刷後の基板とマスクとを離間させる版離れ距離から、版離れ距離よりも小さく、かつ、マスクと基板とが接触しない印刷待機距離に変更させる制御を行う制御部を設けることによって、版合わせ動作の一部（基板とマスクとを接近させる動作）を版合わせ前の基板の印刷準備動作中に先行（並行）して実施することができる。これにより、版合わせ動作を実施するときには、予めマスクと基板とが印刷待機距離まで接近した状態から、版合わせ動作を開始することができるので、その分、版合わせのための上下方向の移動距離を短縮することができる。その結果、版合わせ動作に要する時間を短縮することができるので、基板印刷に要する時間を短縮することができる。

【0010】

上記第１の局面による基板印刷装置において、好ましくは、印刷待機距離は、少なくともマスクの上下方向のたわみ量を考慮して設定されている。ここで、基板印刷に用いるマスクは、開口が所定パターンで形成された板部材であるので、基板とマスクとを版合わせする前の基板とマスクとが離間した状態では上下方向にたわみが発生する。本発明では、少なくともマスクの上下方向のたわみ量を考慮して印刷待機距離を設定することによって、印刷待機距離をマスクのたわみを考慮した上で最大限小さくすることができる。これにより、版合わせ動作に先立って基板とマスクとをできるだけ接近させることができるので、版合わせ動作に要する時間をより短縮することができる。

【0011】

この場合、好ましくは、マスクは、未印刷の基板に粘性材を第１の高さを有するように印刷する第１印刷を行うための小型部品用マスクと、小型部品用マスクにより印刷された第１の高さの粘性材を逃がすように基板接触面側に逃がし部が形成され、第１印刷後の基板に、粘性材を第１の高さよりも大きい第２の高さを有するように印刷する第２印刷を行うための大型部品用マスクとのうち、少なくとも大型部品用マスクを含み、大型部品用マスクに対する印刷待機距離は、第１印刷によって基板上に形成された粘性材の第１の高さと、大型部品用マスクの上下方向のたわみ量とを考慮して設定されている。このように構成すれば、小型部品のための第１印刷と大型部品のための第２印刷との２回に分けて印刷動作を実行する構成においても、マスクと基板とを印刷待機距離まで予め接近させた状態で版合わせを実施して、版合わせ動作に要する時間を短縮することができる。また、第２印刷の版合わせ時には、基板上には第１印刷による粘性材が形成されているので、本発明では、その点を考慮して、大型部品用マスクに対する印刷待機距離を、第１印刷によって基板上に形成された粘性材の第１の高さと、大型部品用マスクの上下方向のたわみ量とを考慮して設定することによって、第２印刷の際、基板上の粘性材と接触しないことを確保した印刷待機距離まで、大型部品用マスクと第１印刷後の基板とを予め接近させることができる。

【0012】

上記第１の局面による基板印刷装置において、好ましくは、印刷対象の基板を保持するとともに、水平方向に移動可能に構成された基板作業テーブルと、基板作業テーブルの上方でマスクを保持する印刷テーブルとをさらに備え、上下移動機構は、印刷テーブルに設けられマスクを上下方向に移動させるマスク昇降機構からなる。このように構成すれば、基板を保持する基板作業テーブル側の動作とは独立して、マスクを上下方向に移動させることができる。そのため、たとえば基板搬入時や、基板保持（固定）動作時や、その他基板を移動させて印刷準備を行う作業中など、版合わせ前の任意のタイミングでマスクと基板とを印刷待機距離まで接近させることができる。

【0013】

この発明の第２の局面における基板印刷システムは、印刷対象の基板に粘性材を印刷するためのマスクを用いて基板に第１印刷を行うように構成され、基板とマスクとの少なくとも一方を上下方向に移動させることにより、基板とマスクとの間の上下方向の距離を変更可能な第１印刷装置と、印刷対象の基板に粘性材を印刷するためのマスクを用いて第１印刷装置による第１印刷後の基板に第２印刷を行うように構成され、基板とマスクとの少なくとも一方を上下方向に移動させることにより、基板とマスクとの間の上下方向の距離を変更可能な第２印刷装置とを備え、第１印刷装置および第２印刷装置の少なくとも一方は、基板とマスクとを当接させる版合わせ動作よりも前の時点において、基板の印刷準備動作と並行して、基板とマスクとの間の上下方向の距離を、印刷後の基板とマスクとを離間させる版離れ距離から、版離れ距離よりも小さく、かつ、マスクと基板とが接触しない印刷待機距離に変更させるように構成されている。

【0014】

この発明の第２の局面による基板印刷システムでは、上記のように、第１印刷装置および第２印刷装置の少なくとも一方を、基板とマスクとを当接させる版合わせ動作よりも前の時点において、基板の印刷準備動作と並行して、基板とマスクとの間の上下方向の距離を、印刷後の基板とマスクとを離間させる版離れ距離から、版離れ距離よりも小さく、かつ、マスクと基板とが接触しない印刷待機距離に変更させるように構成する。これにより、第１印刷装置による第１印刷と第２印刷装置による第２印刷との２回に分けて印刷動作を実行する構成においても、版合わせ動作の一部（基板とマスクとを接近させる動作）を版合わせ前の基板の印刷準備動作中に先行（並行）して実施することができる。これにより、第１印刷および第２印刷の少なくとも一方において版合わせ動作を実施するときには、予めマスクと基板とが印刷待機距離まで接近した状態から、版合わせ動作を開始することができるので、その分、版合わせのための上下方向の移動距離を短縮することができる。その結果、版合わせ動作に要する時間を短縮することができるので、基板印刷に要する時間を短縮することができる。

【0015】

上記第２の局面による基板印刷システムにおいて、好ましくは、第１印刷装置は、印刷対象の基板に粘性材を第１の高さを有するように印刷する小型部品用マスクを用いて第１印刷を行うように構成され、第２印刷装置は、小型部品用マスクにより印刷された第１の高さの粘性材を逃がすように基板接触面側に逃がし部が形成され、第１印刷後の基板に、粘性材を第１の高さよりも大きい第２の高さを有するように印刷する大型部品用マスクを用いて第２印刷を行うように構成され、第２印刷装置は、第２印刷を実行する際、第１印刷後の基板と大型部品用マスクとを当接させる版合わせ動作よりも前の時点において、第１印刷後の基板と大型部品用マスクとの間の上下方向の距離を、第２印刷後の基板と大型部品用マスクとを離間させる版離れ距離から、版離れ距離よりも小さく、かつ、大型部品用マスクと第１印刷後の基板上の第１の高さの粘性材とが接触しない印刷待機距離に変更するように構成されている。このように構成すれば、大型部品用マスクを用いて第２印刷を行う際に、大型部品用マスクと第１印刷後の基板上の第１の高さの粘性材とが接触しない印刷待機距離まで、大型部品用マスクと第１印刷後の基板とを予め接近させることができる。

【発明の効果】

【0016】

本発明によれば、上記のように、基板印刷に要する時間を短縮することができる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】本発明の一実施形態による基板印刷システムの構成を模式的に示した平面図である。

【図2】本発明の一実施形態による印刷装置の小型部品用マスクを示す模式図である。

【図3】本発明の一実施形態による印刷装置の大型部品用マスクを示す模式図である。

【図4】本発明の一実施形態による印刷装置の構成を模式的に示した平面図である。

【図5】本発明の一実施形態による印刷装置をＸ方向から見た模式的な断面図である。

【図6】本発明の一実施形態による印刷装置の制御的な構成を示したブロック図である。

【図7】小型部品用マスクと基板との印刷待機距離を説明するための模式図である。

【図8】大型部品用マスクと基板との印刷待機距離を説明するための模式図である。

【図9】本発明の一実施形態による印刷装置の基板印刷作業時の動作概要を示す制御フロー図である。

【図10】本発明の一実施形態による基板印刷システムの変形例を示した模式図（平面図）である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

【0019】

まず、図１〜図９を参照して、本発明の一実施形態による印刷装置１００、２００および基板印刷システム３００の構造について説明する。なお、本実施形態では、本発明の「基板印刷装置」を印刷装置１００および２００にそれぞれ適用した例について説明する。

【0020】

本実施形態による印刷装置１００および２００は、図１に示すように、装置本体内に搬送されるプリント基板（以下、「基板」という）５の上面に半田ペーストをマスク印刷する基板印刷装置である。本実施形態では、印刷装置１００が小型部品用マスク（極小部品用マスク）６により第１印刷を行った後、印刷装置２００が第１印刷後の基板５に対して大型部品用マスク７により第２印刷を行うことによって、１枚の基板５に対する半田印刷作業が実施される。また、本実施形態では、これらの印刷装置１００と印刷装置２００とによって、基板５に対する半田印刷を行う基板印刷システム３００が構成されている。印刷装置１００および２００は、それぞれ、本発明の「第１印刷装置」および「第２印刷装置」の一例である。また、小型部品用マスク６および大型部品用マスク７は、共に、本発明の「マスク」の一例である。

【0021】

印刷装置１００および２００は、搬送方向（Ｘ方向）に延びる基板搬送ライン上で直列に接続されている。印刷装置１００は、搬送方向上流側（Ｘ方向左側）のローダＬＤから未印刷の基板５を搬入し、第１印刷実行後、搬送方向下流側（Ｘ方向右側）の印刷装置２００に第１印刷後の基板５を搬出するように構成されている。印刷装置２００は、上流側の印刷装置１００から第１印刷後の基板５を搬入し、第２印刷実行後、下流側装置Ｍに第２印刷後の基板５を搬出するように構成されている。なお、基板５の搬送方向がＸ方向であり、水平面内でＸ方向と直交する方向がＹ方向である。また、ＸおよびＹ方向と直交する上下方向がＺ方向である。このような構成により、印刷装置１００および２００（基板印刷システム３００）は、１本の搬送ラインを有するプリント回路基板の基板製造ラインの一部を構成している。

【0022】

印刷装置１００の小型部品用マスク６には、図２に示すように、たとえば０６０３サイズや０４０２サイズの小型部品のランドに対応したパターンの微小な開口６ａが形成されている。小型部品用マスク６の厚みは、小型部品（極小部品）に適した厚みである第１の膜厚Ｔｈ１（たとえば、約５０μｍ〜約７５μｍ）に形成されている。小型部品用マスク６を用いて半田印刷を行うことにより、基板５の表面（印刷面）には、小型部品に適した半田高さＨ１の半田Ｓｄ１が形成される。なお、半田高さＨ１は、第１の膜厚Ｔｈ１と同じか、半田Ｓｄ１に作用する重力のため第１の膜厚Ｔｈ１より僅かに小さい高さとなる。半田高さＨ１は、本発明の「第１の高さ」の一例である。また、半田Ｓｄ１は、本発明の「粘性材」の一例である。

【0023】

印刷装置２００の大型部品用マスク７には、図３に示すように、たとえばシールド部品などの大型部品のランドに対応したパターンの開口７ａが形成されている。大型部品用マスク７の厚みは、小型部品用マスク６の厚みよりも大きく、大型部品に適した厚みである第２の膜厚Ｔｈ２（たとえば、約１５０μｍ）に形成されている。また、大型部品用マスク７の基板接触面（下面）側には、小型部品用マスク６の開口パターンに対応する所定領域を覆うように凹状の逃がし部７ｂが形成されている。凹状の逃がし部７ｂの深さＨｄは、小型部品用マスク６の厚みＴｈ１より大きい（すなわちＴｈ２＞Ｔｈ１）。これにより深さＨｄは、小型部品用マスク６により形成される半田Ｓｄ１の半田高さＨ１よりも大きくなる。このため、小型部品用マスク６を用いた第１印刷後の基板５に対して大型部品用マスク７の版合わせを行うと、小型部品用マスク６により形成された半田Ｓｄ１が凹状の逃がし部７ｂの内部に収まり、大型部品用マスク７と半田Ｓｄ１とが非接触の状態に保たれる。この状態で大型部品用マスク７の半田印刷を行うことにより、基板５には、半田Ｓｄ１に追加して、大型部品に適した半田高さＨ２（第２の膜厚Ｔｈ２と同じか作用する重力のため僅かに小さい。且つ、Ｈ２＞Ｈ１）の半田Ｓｄ２が形成される。なお、半田高さＨ２は、本発明の「第２の高さ」の一例である。また、半田Ｓｄ２は、本発明の「粘性材」の一例である。

【0024】

したがって、印刷装置１００と印刷装置２００とは、１枚の基板５の半田印刷用の開口パターンを、厚みの異なる小型部品用マスク６（小型部品用の開口６ａのパターン）と大型部品用マスク７（大型部品用の開口７ａのパターン）とに分担し、個別に（順次）半田印刷を行う。これにより、部品サイズに応じたアスペクト比（半田高さ／半田底面積、すなわち、マスク厚み／開口面積）の半田Ｓｄ１および半田Ｓｄ２をそれぞれ基板５の表面（印刷面）上に形成することが可能である。この結果、基板５への部品実装後、リフロー処理によって部品接合を行う際に、大型部品に対する半田量が少なすぎて接合が不十分になったり、小型部品に対する半田量が多すぎて接合不良が生じたりすることを抑制して、適正な半田量での半田接合が可能となる。

【0025】

印刷装置１００と印刷装置２００とは、基板印刷に用いるマスクが互いに異なる点を除き、装置構成は同様であるので、印刷装置１００の装置構成についてのみ説明する。

【0026】

図４および図５に示すように、印刷装置１００は、基台１と、基板５の保持および搬送を行う基板作業テーブル２と、マスク（小型部品用マスク６）を保持する印刷テーブル３と、スキージユニット４とを備えている。また、印刷装置１００には、それぞれ一対のコンベアレールからなる、基板搬入のための搬入コンベア１１と基板搬出のための搬出コンベア１２とがＸ方向の両端に配置されている。また、印刷装置１００には、以下に説明する各部の動作制御を行うための後述する制御装置８０（図６参照）が内蔵されている。

【0027】

基板作業テーブル２は、搬入コンベア１１から基板５を受け取り、印刷作業時には基板５を支持して印刷テーブル３に対して固定し、印刷後の基板５を搬出コンベア１２に搬送する機能を有している。図５に示すように、基板作業テーブル２は、水平面内で移動可能に構成された可動台２１と、可動台２１上に配置された搬送方向（Ｘ方向）に延びる一対のコンベアレールからなる搬送コンベア２２（図４参照）と、搬送コンベア２２上の基板５を搬送コンベア２２から上方に離間した状態で印刷作業可能なように保持（固定）するためのクランプユニット２３と、可動台２１に設けられたマスク認識カメラ２４とを含む。

【0028】

可動台２１は、Ｙ軸移動機構２５と、Ｙ軸移動機構２５上に配置されたＸ軸移動機構２６およびＲ軸移動機構２７とによって、水平面内でＹ方向、Ｘ方向および鉛直軸（Ｚ軸）回りのＲ方向に移動可能に構成されている。具体的には、Ｙ軸移動機構２５は、基台１上にＹ方向に延びるガイドレール２５ａと、Ｙ方向に延びるねじ軸２５ｂと、ねじ軸２５ｂを回転駆動するサーボモータ（Ｙ軸）２５ｃとを有する。ガイドレール２５ａ上にはＸ軸移動機構２６およびＲ軸移動機構２７を介して可動台２１がＹ方向に移動可能に支持されており、サーボモータ２５ｃを駆動することにより可動台２１がＹ方向に移動する。

【0029】

Ｘ軸移動機構２６は、Ｙ軸移動機構２５上に配置されたＸ方向に延びるガイドレール２６ａと、Ｘ方向に延びるねじ軸２６ｂと、ねじ軸を回転駆動するサーボモータ（Ｘ軸）２６ｃ（図６にのみ図示）とを有し、基板５マスクとの位置合わせの際にサーボモータ２６ｃを駆動することによりガイドレール２６ａ上の可動台２１をＸ方向に小移動させる。また、Ｒ軸移動機構２７は、詳細な図示を省略するが、可動台２１をＺ軸回りに回動可能に支持する回動軸（図示せず）と、可動台２１を回動軸回りに回動させるサーボモータ（Ｒ軸）２７ａ（図６にのみ図示）とを有している。

【0030】

図４および図５に示すように、一対のコンベアレールからなる搬送コンベア２２は、Ｘ方向に延びるように設けられており、搬送コンベア２２の位置を搬入コンベア１１および搬出コンベア１２のＹ軸座標に一致させることで、基板搬入および搬出が可能である。搬入コンベア１１および搬出コンベア１２は、印刷装置１００のＹ２方向側の所定位置（同じＹ座標位置）に配置されている。

【0031】

図５に示すように、クランプユニット２３は、一対のコンベアレールからなる搬送コンベア２２をＹ方向両外側から抱え込むようにして可動台２１上に設けられている。クランプユニット２３は、基板５を把持して固定するためのクランプ機構５１と、搬送コンベア２２上の基板５を持ち上げて支持するための支持機構５２とを含んでいる。クランプ機構５１は、図示しないエアシリンダを駆動させてクランプ部５１ｂをクランプ部５１ａに近付く方向に変位させることによって、搬送コンベア２２上の基板５をＹ方向の両側から挟み込んで把持することが可能なように構成されている。なお、エアシリンダを逆方向に作動させればクランプが解除される。支持機構５２は、バックアップピン５２ａとバックアップピン５２ａを上下に移動させる昇降機構５２ｂとを含み、バックアップピン５２ａを基板５の下面に下側から接触させ、昇降機構５２ｂによって搬送コンベア２２上の基板５を持ち上げて支持するように構成されている。支持機構５２によって持ち上げられた基板５がクランプ機構５１によって把持されることにより、基板５が搬送コンベア２２から上方に離間した状態で固定的に保持（クランプ）され、基板作業テーブル２上で基板５に印刷作業を行うことが可能となる。

【0032】

マスク認識カメラ２４は、ＣＣＤエリアセンサなどからなり、Ｘ方向に延びるガイドレール２４ａを介して可動台２１上に撮像方向を上方に向けて取り付けられている。このため、マスク認識カメラ２４は、基板作業テーブル２の移動に伴ってＹ方向に移動可能で、図示しないサーボモータおよびねじ軸により可動台２１上でＸ方向に移動可能となっている。マスク認識カメラ２４は、印刷テーブル３に保持されたマスク（小型部品用マスク６）の下面側に付されたマスク認識マーク（図示せず）を下方から撮像して、マスク（小型部品用マスク６）の位置および姿勢を認識するために設けられている。

【0033】

また、図４および図５に示すように、基台１上には、搬入コンベア１１および搬出コンベア１２のそれぞれの上方を跨いでＹ方向に延びるように設けられた一対のフレーム構造体１３が、Ｘ方向（基板搬送方向）に所定の間隔を隔てて一対配置されている。また、各々のフレーム構造体１３は、門型構造を有しており、基台１のＹ方向の両端部近傍から上方に延びる一対の脚部１３ａと、脚部１３ａの上端同士を水平方向に繋ぐ梁部１３ｂとを含んでいる。

【0034】

図５に示すように、印刷テーブル３は、一対のフレーム構造体１３によりＸ方向の両側を支持され、基板作業テーブル２よりも上方の位置に配置されている。印刷テーブル３は、水平方向に固定で、上下方向（Ｚ方向）に移動可能に構成されている。具体的には、印刷テーブル３は、マスクが着脱可能に組み付けられた略矩形状のマスク固定部材３１と、マスク固定部材３１を昇降（Ｚ軸方向移動）させるマスク昇降機構３２とを有している。なお、マスク昇降機構３２は、本発明の「上下移動機構」の一例である。なお、上述の通り、印刷装置１００のマスク固定部材３１には、小型部品用マスク（極小部品用マスク）６が組み付けられている。一方、印刷装置２００のマスク固定部材３１には、大型部品用マスク７が組み付けられている。

【0035】

マスク昇降機構３２は、一対のフレーム構造体１３に支持されており、ガイド軸３２ａ、ねじ軸３２ｂ、ねじ軸３２ｂに螺合する昇降ナット３２ｃ、および、昇降ナット３２ｃを駆動するＺ軸モータ３２ｄを含む。マスク昇降機構３２は、昇降ナット３２ｃを回転駆動することによりねじ軸３２ｂを昇降させ、ねじ軸３２ｂの先端に固定されたマスク固定部材３１を昇降させるように構成されている。マスク昇降機構３２は、マスク固定部材３１に装着されたマスク（小型部品用マスク６）を上下方向（Ｚ方向）に移動させることにより、基板作業テーブル２の基板５とマスク（小型部品用マスク６）との間の上下方向の距離を変更可能に構成されている。

【0036】

これにより、印刷時には、印刷テーブル３は、マスク昇降機構３２によってＺ２方向に下降して小型部品用マスク６を基板５の上面に当接させる版合わせ動作を行うとともに、印刷後には、Ｚ１方向に上昇して小型部品用マスク６を基板５の上面から離間させる版離れ動作を行うように構成されている。なお、版合わせにおいて、印刷テーブル３が保持する小型部品用マスク６の基板５との水平面内における詳細な位置合わせ（Ｘ、ＹおよびＲ方向位置）は、基板作業テーブル２（Ｘ軸移動機構２６、Ｙ軸移動機構２５およびＲ軸移動機構２７）によって実施される。

【0037】

図４および図５に示すように、スキージユニット４は、Ｘ方向に延びる可動梁４２の中央部で支持され、印刷テーブル３の上方に配置されている。スキージユニット４は、小型部品用マスク６の上面（Ｚ１側）に対してペースト状の半田を押圧しながらＹ方向に往復して摺動するスキージ４１と、印刷時にスキージ４１を昇降させる図示しない昇降機構と、小型部品用マスク６に対するスキージ４１の傾き方向および傾き角度を変更するための図示しないスキージ角度可変機構とを含む。また、可動梁４２は、一対のフレーム構造体１３の上面上にＹ方向に沿って延びるように設けられた一対のガイドレール４３上で移動可能に支持されている。そして、可動梁４２は、フレーム構造体１３にＹ方向に沿って設けられた図示しないねじ軸およびサーボモータ（スキージ軸）４４（図６にのみ図示）によってＹ方向に移動可能に構成されている。スキージユニット４は、版合わせのため下降したマスク（小型部品用マスク６）に当接するまでスキージ４１を下降させた上で、可動梁４２の移動に伴ってスキージユニット４をスキージ４１ごとＹ方向に移動させることにより、印刷動作を行うように構成されている。そして、スキージユニット４は、印刷動作後スキージ４１を上昇させてマスク（小型部品用マスク６）から離れるようにするとともに、版離れのため上昇するマスク（小型部品用マスク６）に対して距離を保つべく、さらにスキージ４１を上昇させる。

【0038】

また、フレーム構造体１３のＹ１方向側には、基板認識カメラ１５がＸ方向に移動可能に設けられている。具体的には、Ｘ方向に延びる梁１４が一対のフレーム構造体１３に両端を支持されており、基板認識カメラ１５が梁１４に設けられたガイドレール１５ａによりＸ方向に移動可能に支持されている。基板認識カメラ１５は、図示しないねじ軸およびカメラ軸（Ｘ軸）モータによってＸ方向に駆動される。基板認識カメラ１５は、ＣＣＤエリアセンサなどからなり、撮像方向を下方に向けて設置されている。基板認識カメラ１５は、基板作業テーブル２がＹ１方向に移動し基板５が基板認識カメラ１５の下方に位置した状態で、基板５の上面に付された図示しない基板認識マークを撮像して、クランプユニット２３に把持された基板５の位置および姿勢を認識するように構成されている。

【0039】

また、図６に示すように、制御装置８０は、演算処理部８１、記憶部８２、外部入出力部８３、画像処理部８４およびモータ制御部８５によって主に構成されている。また、制御装置８０は、表示ユニット８６と接続されている。なお、演算処理部８１は、本発明の「制御部」の一例である。

【0040】

演算処理部８１はＣＰＵからなり、印刷装置１００（２００）の動作を全般的に統括している。記憶部８２は、演算処理部８１が実行可能な制御プログラムなどが格納されている動作プログラム記憶部８２ａと、印刷動作を行う際に必要となるデータ類が格納されている制御データ記憶部８２ｂとを含んでいる。

【0041】

また、外部入出力部８３は、各種センサ類およびアクチュエータ類からの入出力を制御する機能を有している。画像処理部８４は、基板認識カメラ１５およびマスク認識カメラ２４の各々が撮像した画像データの処理を行って、印刷装置１００（２００）の動作に必要とされるデータを内部的に生成する。

【0042】

モータ制御部８５は、演算処理部８１から出力される制御信号に基づいて、印刷装置１００の各サーボモータ（基板作業テーブル２のＹ軸移動機構２５、Ｘ軸移動機構２６およびＲ軸移動機構２７の各サーボモータ、印刷テーブル３のサーボモータ（Ｚ軸）３２ｄ、スキージユニット４のサーボモータ４４など）を制御するように構成されている。また、モータ制御部８５は、各サーボモータが有するエンコーダ（図示せず）からの信号に基づいて基板作業テーブル２（基板５）の水平面内（Ｘ軸、Ｙ軸およびＲ軸方向）の位置座標、印刷テーブル３の高さ位置（Ｚ方向）などを認識可能に構成されている。

【0043】

ここで、図７に示すように、本実施形態では、第１印刷を行う印刷装置１００の演算処理部８１（図６参照）は、基板５の搬入後、基板５と小型部品用マスク６との版合わせ動作よりも前の時点において、基板５の印刷準備動作と並行して印刷テーブル３のマスク昇降機構３２を動作させ、基板５と小型部品用マスク６との間の上下方向（Ｚ方向）の距離を、第１印刷後の基板５と小型部品用マスク６とを離間させる版離れ距離Ｄ１から、版離れ距離Ｄ１よりも小さく、かつ、小型部品用マスク６と基板５とが接触しない印刷待機距離Ｄ２に変更させる制御（先行下降動作）を行うように構成されている。これは、後述するように、図９のステップＳ６における版合わせ動作の一部を、印刷準備動作中に先行して実施することに相当する。なお、本実施形態では、印刷装置１００の印刷準備動作は、後述する基板搬入、基板固定、基板マーク認識および印刷位置への移動までの処理（ステップＳ１〜Ｓ３およびＳ５）を含む。

【0044】

まず、版離れ距離について説明する。版離れ距離は、印刷によって形成される半田の半田高さと、マスクのたわみ量と、基板（または基板上に形成された半田）にマスクが接触しないことを確実にするための安全マージンとによって決定される。

【0045】

小型部品用マスク６の場合、第１印刷後の版離れ距離Ｄ１は、印刷高さ（版合わせ時の高さ位置）Ｈ０を基準にとり、半田Ｓｄ１の半田高さＨ１（基板５上の半田の最大高さ）、小型部品用マスク６のたわみ量ΔＨ１、安全マージンＨ_ｍとすると、下式で表される。
Ｄ１＝Ｈ１＋ΔＨ１＋Ｈ_ｍ

【0046】

一方、小型部品用マスク６（印刷装置１００）による第１印刷前の状態では、未印刷の基板５には半田Ｓｄ１が形成されていない。このため、第１印刷前の状態では、小型部品用マスク６のたわみ量ΔＨ１を考慮して、基板５と小型部品用マスク６とが非接触のまま、下式に示す印刷待機距離Ｄ２まで印刷テーブル３（小型部品用マスク６）を下降させることが可能となる。
Ｄ２＝ΔＨ１＋Ｈ_ｍ
つまり、第１印刷前の状態では、第１印刷後の最大半田高さＨ１に相当する距離だけ、小型部品用マスク６を下降させておくことが可能である。これにより、印刷装置１００による小型部品用マスク６の版合わせ前に、版離れ距離Ｄ１から、基板５とは干渉しない印刷待機距離Ｄ２まで印刷テーブル３を予め下降させておく（小型部品用マスク６を基板５に接近させる）ことが可能となる。

【0047】

また、本実施形態では、図８に示すように、第２印刷を行う印刷装置２００の演算処理部８１（図６参照）は、第１印刷後の基板５の搬入後、基板５と大型部品用マスク７との版合わせ動作よりも前の時点において、基板５の印刷準備動作と並行して印刷テーブル３のマスク昇降機構３２を動作させ、基板５と大型部品用マスク７との間の上下方向の距離を、第２印刷後の基板５と大型部品用マスク７とを離間させる版離れ距離Ｄ３から、版離れ距離Ｄ３よりも小さく、かつ、大型部品用マスク７と基板５とが接触しない印刷待機距離Ｄ４に変更させる制御（先行下降動作）を行うように構成されている。これは、後述するように、図９のステップＳ１４における版合わせ動作の一部を、印刷準備動作中に先行して実施することに相当する。なお、本実施形態では、印刷装置２００の印刷準備動作は、後述する基板搬入、基板固定、基板マーク認識および印刷位置への移動までの処理（ステップＳ１１〜Ｓ１３およびＳ１５）を含む。

【0048】

大型部品用マスク７（印刷装置２００）の場合、第２印刷後の版離れ距離Ｄ３は、印刷高さ（版合わせ時の高さ位置）Ｈ０を基準にとり、半田Ｓｄ２の半田高さＨ２（基板５上の半田の最大高さ）、大型部品用マスク７のたわみ量ΔＨ２、安全マージンＨ_ｍとすると、下式で表される。
Ｄ３＝Ｈ２＋ΔＨ２＋Ｈ_ｍ

【0049】

一方、大型部品用マスク７（印刷装置２００）による第２印刷前の状態では、第１印刷後の基板５には半田Ｓｄ２が形成されておらず、半田高さＨ１の半田Ｓｄ１のみが形成されている。このため、第２印刷前の状態では、半田Ｓｄ１の半田高さＨ１および大型部品用マスク７のたわみ量ΔＨ２を考慮して、基板５上の半田Ｓｄ１と大型部品用マスク７とが非接触のまま、下式に示す印刷待機距離Ｄ４まで大型部品用マスク７を下降させることが可能となる。
Ｄ４＝Ｈ１＋ΔＨ２＋Ｈ_ｍ
つまり、第２印刷前の状態では、第２印刷前の最大半田高さＨ１と第２印刷後の最大半田高さＨ２との差分に相当する距離だけ、大型部品用マスク７を下降させておく（大型部品用マスク７を基板５に接近させる）ことが可能である。これにより、印刷装置２００による大型部品用マスク７の版合わせ前に、版離れ距離Ｄ３から、基板５とは干渉しない印刷待機距離Ｄ４まで印刷テーブル３を予め下降させておく（大型部品用マスク７を基板５に接近させる）ことが可能となる。

【0050】

ここで、半田高さＨ１は、小型部品用マスク６の厚みに相当することから、制御データ記憶部８２ｂに生産対象の基板５の基板データの一部として予め格納されている。また、安全マージンＨ_ｍは、制御データ記憶部８２ｂに予め設定された所定値である。また、マスクのたわみ量ΔＨ１およびΔＨ２は、主としてマスクの寸法（縦横、厚み）に依存する。このため、マスクの寸法と、その寸法でのたわみ量ΔＨとを対応付けたテーブルが予め作成され、制御データ記憶部８２ｂに格納されている。演算処理部８１は、制御データ記憶部８２ｂから、基板データに登録された小型部品用マスク６の寸法に対応するたわみ量ΔＨ１および大型部品用マスク７の寸法に対応するたわみ量ΔＨ２を取得するように構成されている。

【0051】

次に、図１および図３〜図９を参照して、本実施形態による印刷装置１００および２００（基板印刷システム３００）の基板印刷作業時の動作について説明する。以下では、以下の制御処理は、各印刷装置１００および２００の制御装置８０（演算処理部８１）によって行われる。なお、以下では、区別のために便宜的に、印刷装置１００の演算処理部８１（図６参照）を「演算処理部８１ａ」とし、印刷装置２００の演算処理部８１を「演算処理部８１ｂ」として説明する。

【0052】

まず、図９に示すように、ステップＳ１〜Ｓ１０において、印刷装置１００による第１印刷が実施される。図１に示すように、ステップＳ１において、印刷装置１００の演算処理部８１ａは、基板作業テーブル２のＹ座標を搬入コンベア１１の位置に一致させ、未印刷の基板５を搬送コンベア２２上に搬入させる。基板５が搬送コンベア２２上に搬入されると、ステップＳ２において、クランプユニット２３（図５参照）により基板５がクランプ（固定）される。

【0053】

ステップＳ３では、図４に示すように、基板作業テーブル２がＹ１方向に移動して、基板認識カメラ１５の下方に位置付けられ、基板認識カメラ１５による基板５の基板認識マークの撮像（画像認識）が行われる。基板認識カメラ１５のＸ方向移動と、基板作業テーブル２のＹ方向移動とが同期して行われることにより、基板５の所定位置に付された基板認識マーク（図示せず）が基板認識カメラ１５の下方に位置付けられ、基板認識マークの撮像（画像認識）が行われる。

【0054】

このステップＳ３と並行して、印刷装置１００の演算処理部８１ａは、ステップＳ４において小型部品用マスク６の先行下降動作（図７参照）を実施する。演算処理部８１ａは、基板認識カメラ１５と基板作業テーブル２とによる基板認識マークの撮像作業と並行して印刷テーブル３のマスク昇降機構３２を動作させ、印刷テーブル３の小型部品用マスク６と、印刷高さＨ０に保持された基板５との距離が版離れ距離Ｄ１から印刷待機距離Ｄ２になるまで小型部品用マスク６を下降させる。

【0055】

次に、ステップＳ５において、基板作業テーブル２がＹ２方向に移動して小型部品用マスク６による印刷位置への移動が行われる。なお、少なくとも初回の基板印刷時には、小型部品用マスク６のマスク認識マーク（図示せず）の下方に基板作業テーブル２のマスク認識カメラ２４が位置付けられ、マスク認識カメラ２４によるマスク認識マークの撮像（画像認識）が行われる。ステップＳ３の基板認識マークの認識結果およびマスク認識マークの認識結果から、基板作業テーブル２に保持された基板５の水平方向の位置および姿勢と、印刷テーブル３に装着された小型部品用マスク６の水平方向の位置および姿勢との相対位置関係が取得される。ステップＳ５では、これらの画像認識結果に基づいて基板作業テーブル２が水平面内で移動することにより、基板５と小型部品用マスク６とのＸ方向、Ｙ方向およびＲ方向の各位置座標が一致する。

【0056】

次に、ステップＳ６において、印刷テーブル３が小型部品用マスク６を下降させ、版合わせを行う。これにより、小型部品用マスク６が基板５に所定の押圧力で押圧されて密着する。このステップＳ６の版合わせの際には、印刷テーブル３（小型部品用マスク６）は、図７に示すように、版離れ距離Ｄ１よりも小さい印刷待機距離Ｄ２だけ下降して、印刷高さＨ０において基板５と小型部品用マスク６との版合わせを行う。この結果、ステップＳ６における版合わせに要する時間（Ｚ方向の移動距離）が最小化される。

【0057】

版合せが完了すると、ステップＳ７において、小型部品用マスク６を用いた第１印刷が実施される。すなわち、図５に示すように、小型部品用マスク６上に半田が供給された状態でスキージ４１を小型部品用マスク６上面に当接させ、スキージユニット４（可動梁４２）がＹ方向駆動されること（掻き取り動作）により、小型部品用マスク６を介して基板５の上面に半田が印刷される。第１印刷の結果、図７に示すように、小型部品用マスク６の開口パターンに応じた基板５上の位置に、半田高さＨ１の半田Ｓｄ１が形成される。第１印刷後、ステップＳ８において、基板５と小型部品用マスク６との距離が版離れ距離Ｄ１になるまで小型部品用マスク６（印刷テーブル３）がＺ１方向に上昇されて、小型部品用マスク６を基板５から離間させる版離れが行われる。

【0058】

次に、ステップＳ９において、クランプユニット２３による基板５のクランプ（固定）が解除され、基板５が搬送コンベア２２上に配置される。そして、ステップＳ１０において、図１に示すように、基板作業テーブル２（搬送コンベア２２）から第１印刷後の基板５が搬出コンベア１２に搬送され、後続の印刷装置２００へ搬出される。

【0059】

ステップＳ１１以降では、印刷装置２００による第２印刷が実施される。動作の内容は上記ステップＳ１〜Ｓ１０と基本的に同様であるので、簡略化して説明する。ステップＳ１１において、印刷装置１００から搬出された第１印刷後の基板５が搬入コンベア１１から基板作業テーブル２に搬入される。そして、ステップＳ１２でクランプユニット２３により基板５がクランプ（固定）され、ステップＳ１３で基板作業テーブル２がＹ１方向に移動して基板認識マークの認識が行われる。

【0060】

このステップＳ１３と並行して、印刷装置２００の演算処理部８１ｂは、ステップＳ１４において大型部品用マスク７の先行下降動作（図８参照）を実施する。演算処理部８１ｂは、基板認識カメラ１５と基板作業テーブル２とによる基板認識マークの撮像作業と並行して印刷テーブル３のマスク昇降機構３２を動作させ、印刷テーブル３の大型部品用マスク７と、印刷高さＨ０に保持された基板５との距離が版離れ距離Ｄ３から印刷待機距離Ｄ４になるまで大型部品用マスク７を下降させる。

【0061】

次に、ステップＳ１５において、基板作業テーブル２がＹ２方向に移動して大型部品用マスク７による印刷位置への移動が行われる。なお、印刷装置２００の少なくとも初回の基板印刷時には、印刷テーブル３の大型部品用マスク７のマスク認識マークの撮像（画像認識）が行われる。基板認識マークおよびマスク認識マークの画像認識の結果に基づき、大型部品用マスク７と基板５との水平面内の位置合わせが行われる。

【0062】

次に、ステップＳ１６において、印刷テーブル３が大型部品用マスク７を下降させ、版合わせ（図３参照）を行う。これにより、大型部品用マスク７が基板５に所定の押圧力で押圧されて密着する。このステップＳ１６の版合わせの際には、印刷テーブル３（大型部品用マスク７）は、図８に示すように、版離れ距離Ｄ３よりも小さい印刷待機距離Ｄ４だけ下降して、印刷高さＨ０において基板５と大型部品用マスク７との版合わせを行う。この結果、ステップＳ１６における版合わせに要する時間（Ｚ方向の移動距離）が最小化される。

【0063】

版合せが完了すると、ステップＳ１７において、第１印刷後の基板５に対する大型部品用マスク７を用いた第２印刷が実施される。第２印刷の結果、第１印刷による半田Ｓｄ１が形成された後の基板５に追加するようにして、大型部品用マスク７の開口パターンに応じた基板５上の位置に、半田高さＨ２の半田Ｓｄ２が形成される。第２印刷後、ステップＳ１８において、基板５と大型部品用マスク７との距離が版離れ距離Ｄ３になるまで大型部品用マスク７（印刷テーブル３）がＺ１方向に上昇されて、大型部品用マスク７を基板５から離間させる版離れが行われる。

【0064】

次に、ステップＳ１９において、クランプユニット２３による第２印刷後の基板５のクランプ（固定）が解除され、基板５が搬送コンベア２２上に配置される。そして、ステップＳ２０において、図１に示すように、基板作業テーブル２（搬送コンベア２２）から第２印刷後の基板５が搬出コンベア１２に搬送され、後続の下流側装置Ｍへ搬出される。

【0065】

以上のようにして、基板５に対する印刷装置１００および印刷装置２００の印刷動作が行われる。

【0066】

本実施形態では、上記のように、基板５と小型部品用マスク６（大型部品用マスク７）とを当接させる版合わせ動作よりも前の時点において、基板５の印刷準備動作と並行してマスク昇降機構３２を動作させ、基板５と小型部品用マスク６（大型部品用マスク７）との間の上下方向の距離を、印刷後の基板５と小型部品用マスク６（大型部品用マスク７）とを離間させる版離れ距離Ｄ１（Ｄ３）から、版離れ距離Ｄ１（Ｄ３）よりも小さく、かつ、小型部品用マスク６（大型部品用マスク７）と基板５とが接触しない印刷待機距離Ｄ２（Ｄ４）に変更させる制御を行う演算処理部８１ａ（８１ｂ）を設ける。これにより、版合わせ動作の一部（基板とマスクとを接近させる動作）を版合わせ前の基板５の印刷準備動作中に先行（並行）して実施することができる。その結果、版合わせ動作を実施するときには、予め小型部品用マスク６（大型部品用マスク７）と基板５とが印刷待機距離Ｄ２（Ｄ４）まで接近した状態から、版合わせ動作を開始することができるので、その分、版合わせのためのＺ方向の移動距離を短縮することができる。以上により、版合わせ動作に要する時間を短縮することができるので、基板印刷に要する時間を短縮することができる。

【0067】

ここで、基板印刷に用いる小型部品用マスク６（大型部品用マスク７）は、開口６ａ（７ａ）が所定パターンで形成された板部材であるので、基板５と小型部品用マスク６（大型部品用マスク７）とを版合わせする前の基板５と小型部品用マスク６（大型部品用マスク７）とが離間した状態では、上下方向にたわみが発生する。本実施形態では、上記のように、少なくとも小型部品用マスク６（大型部品用マスク７）の上下方向のたわみ量ΔＨ１（ΔＨ２）を考慮して印刷待機距離Ｄ２（Ｄ４）を設定することによって、印刷待機距離Ｄ２（Ｄ４）をマスクのたわみを考慮した上で最大限小さくすることができる。これにより、版合わせ動作に先立って基板５と小型部品用マスク６（大型部品用マスク７）とをできるだけ接近させることができるので、版合わせ動作に要する時間をより短縮することができる。

【0068】

また、本実施形態では、上記のように、第１印刷によって基板５上に形成された半田Ｓｄ１の半田高さＨ１と、大型部品用マスク７の上下方向のたわみ量ΔＨ２とを考慮して、大型部品用マスク７に対する印刷待機距離Ｄ４を設定する。これにより、第２印刷の際、基板５上の半田Ｓｄ１と接触しないことを確保した印刷待機距離Ｄ４まで、大型部品用マスク７と第１印刷後の基板５とを予め接近させることができる。

【0069】

また、本実施形態では、上記のように、基板作業テーブル２と、印刷テーブル３とを設け、印刷テーブル３に設けられ小型部品用マスク６（大型部品用マスク７）を上下方向に移動させるマスク昇降機構３２を印刷テーブル３に設ける。これにより、基板５を保持する基板作業テーブル２側の動作とは独立して、小型部品用マスク６（大型部品用マスク７）を上下方向に移動させることができる。そのため、たとえば基板５の搬入時や、基板保持（固定）動作時や、その他基板を移動させて印刷準備を行う作業中など、版合わせ前の任意のタイミングで小型部品用マスク６（大型部品用マスク７）と基板５とを印刷待機距離Ｄ２（Ｄ４）まで接近させることができる。

【0070】

なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。

【0071】

たとえば、上記実施形態では、本発明の基板印刷装置の一例として、プリント基板に対する半田印刷作業を行う印刷装置１００（２００）に本発明を適用した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、スクリ−ンマスクを用いて基板印刷を行う基板印刷装置であれば、半田以外の粘性材（たとえば、銀ペーストなどの導電性ペーストなど）の印刷装置に、本発明を適用してもよい。

【0072】

また、上記実施形態では、２つの印刷装置が小型部品用マスクを用いた第１印刷と大型部品用マスクを用いた第２印刷とを行うことにより、１枚の基板を印刷する基板印刷システムを設けた例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、印刷装置を単体で使用してもよい。また、本発明では、印刷装置を３つ以上備えた基板印刷システムを構成してもよい。

【0073】

また、上記実施形態では、２つの印刷装置により第１印刷と第２印刷とを行う例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、１つの印刷装置に小型部品用マスクを含む第１印刷テーブルと大型部品用マスクを含む第２印刷テーブルとを設けて、第１印刷テーブルによる小型部品用マスクを用いた第１印刷後に、第２印刷テーブルによる大型部品用マスクを用いた第２印刷を実施するように印刷装置を構成してもよい。

【0074】

また、上記実施形態では、印刷装置１００と印刷装置２００との両方で先行下降動作（ステップＳ４およびＳ１４）を実施する例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、印刷装置１００および２００のうち、一方のみが先行下降動作を実施してもよい。

【0075】

また、上記実施形態では、基板マーク認識と並行して先行下降動作を実施する例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、先行下降動作は、少なくとも版合わせ動作よりも前の時点で、他の印刷準備動作と並行して行われればよい。したがって、版離れ後、基板搬出が行われてから、次の基板の版合わせまでの間であれば、どの時点で先行下降動作が実施されてもよい。たとえば、上記ステップＳ１（Ｓ１１）の基板搬入およびステップＳ２（Ｓ１２）の基板固定の実行時に先行下降動作が実施されてもよい。また、基板マーク認識の後、ステップＳ５（Ｓ１５）で基板作業テーブルが印刷位置へ移動する間に先行下降動作が実施されてもよい。また、基板搬出（ステップＳ１０およびＳ２０）と、次の基板搬入（ステップＳ１およびＳ１１）との間で予め先行下降動作を実施しておいて、基板とマスクとの距離が印刷待機距離にある状態で基板搬入が行われるようにしてもよい。

【0076】

また、上記実施形態では、印刷装置の印刷テーブルにマスク昇降機構を設け、基板に対してマスク（小型部品用マスク、大型部品用マスク）を上下移動させることにより版合わせ、版離れおよび先行下降動作を行うように構成した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、マスク昇降機構を設ける代わりに、基板作業テーブル側に基板昇降機構を設け、マスクに対して基板を上下移動させるように印刷装置を構成してもよい。この場合には、基板の上昇による版合わせ動作よりも前の時点で、印刷準備動作と並行して版離れ距離よりも小さい印刷待機距離まで基板を上昇させるように構成すればよい。このほか、印刷テーブル側にマスク昇降機構を設けるとともに、基板作業テーブル側に基板昇降機構を設け、基板とマスクとの両方が上下に移動するように印刷装置が構成されてもよい。この場合、基板とマスクとの一方または両方の移動によって、版離れ距離よりも小さい印刷待機距離まで基板とマスクとが先行して接近するように構成すればよい。

【0077】

また、上記実施形態では、２つの印刷装置を搬送ライン上で直列に並べた例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、図１０の変形例に示す基板印刷システム３１０のように、２つの印刷装置１００および２００をＸ方向の搬送ラインに対して並列に、Ｙ方向に並ぶように設けてもよい。この場合、基板印刷システム３１０には、基板５をＹ方向に搬送して印刷装置１００または２００に振り分けるコンベア１１０と、印刷装置１００による第１印刷後の基板５を上流側に戻して印刷装置２００に搬送するためのコンベア１２０とを設ければよい。

【0078】

また、上記実施形態では、基板を保持し、水平方向に移動可能な基板作業テーブルを印刷装置に設けた例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、基板作業テーブルを設けることなく、基板をＸ方向のみに搬送する単純なコンベアライン（基板搬送ラインの一部）によって基板が搬入および搬出される構成であってもよい。この場合、コンベアライン側に基板を所定位置で固定可能なクランプ機構を設け、印刷テーブル側のマスクを、Ｚ方向に加えて水平方向（Ｘ方向、Ｙ方向およびＲ方向）に移動可能に構成すればよい。

【符号の説明】

【0079】

２ 基板作業テーブル
３ 印刷テーブル
５ プリント基板（基板）
６ 小型部品用マスク（マスク）
７ 大型部品用マスク（マスク）
７ｂ 逃がし部
３２ マスク昇降機構（上下移動機構）
８１（８１ａ、８１ｂ） 演算処理部（制御部）
１００ 印刷装置（基板印刷装置、第１印刷装置）
２００ 印刷装置（基板印刷装置、第２印刷装置）
３００ 基板印刷システム
Ｈ１ 半田高さ（第１の高さ）
Ｈ２ 半田高さ（第２の高さ）
Ｄ１、Ｄ３ 版離れ距離
Ｄ２、Ｄ４ 印刷待機距離
Ｓｄ１、Ｓｄ２ 半田（粘性材）
ΔＨ１、ΔＨ２ たわみ量

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】