特許 5718893 近接場光利用ヘッド及びそれを備えた情報記録再生装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5718893

(24)【登録日】2015年3月27日

(45)【発行日】2015年5月13日

(54)【発明の名称】近接場光利用ヘッド及びそれを備えた情報記録再生装置

(51)【国際特許分類】

   G11B 5/31 20060101AFI20150423BHJP

   G11B 5/02 20060101ALI20150423BHJP

【ＦＩ】

   G11B5/31 Z

   G11B5/02 T

【請求項の数】9

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2012-501758(P2012-501758)

(86)(22)【出願日】2011年2月18日

(86)【国際出願番号】JP2011053437

(87)【国際公開番号】WO2011105286

(87)【国際公開日】20110901

【審査請求日】2013年12月10日

(31)【優先権主張番号】特願2010-37988(P2010-37988)

(32)【優先日】2010年2月23日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000002325

【氏名又は名称】セイコーインスツル株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100154863

【弁理士】

【氏名又は名称】久原 健太郎

(74)【代理人】

【識別番号】100142837

【弁理士】

【氏名又は名称】内野 則彰

(74)【代理人】

【識別番号】100123685

【弁理士】

【氏名又は名称】木村 信行

(72)【発明者】

【氏名】平田 雅一

(72)【発明者】

【氏名】千葉 徳男

(72)【発明者】

【氏名】大海 学

(72)【発明者】

【氏名】篠原 陽子

(72)【発明者】

【氏名】田邉 幸子

(72)【発明者】

【氏名】田中 良和

【審査官】 斎藤 眞

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００８−１５２８９７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−００６８０３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−１１４１８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２００９／００８４８８（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ１１Ｂ ５／００−５／０２４

Ｇ１１Ｂ ５／３１

Ｇ１１Ｂ ７／１２−７／２２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

記録媒体を近接場光によって加熱するとともに前記記録媒体に対して記録磁界を与えることにより、磁化反転を生じさせ、情報を記録させる近接場光利用ヘッドであって、
前記記録媒体の表面に対向配置されたスライダと、
前記スライダに固定され、光束を伝搬するコアを有する光導波路と、
前記記録媒体側の前記コアの先端部の少なくとも光軸が横切る部分を覆う遮光膜と、
前記コアの先端部の前記遮光膜で覆われていない部分に備えられた基部と、
前記記録媒体に露出した光散乱体先端部とを備えており、
前記基部と前記光散乱体先端部を構成するとともに、前記コア及び前記基部の境界部分に前記光束が照射されることにより、前記境界部分を介して生じる表面プラズモンを用いて前記光散乱体先端部から近接場光を発生させる光散乱体とを備えることを特徴とする近接場光利用ヘッド。

【請求項2】

前記光導波路は、前記コアの先端部に向うにつれて前記光束のスポットサイズを絞り込むスポットサイズ変換器であることを特徴とする請求項１に記載の近接場光利用ヘッド。

【請求項3】

前記遮光膜は、前記光散乱体に対して斜めに備えられており、前記コアの前記記録媒体側に向うにつれて前記遮光膜と前記光散乱体との間隔が狭くなるように備えられていることを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の近接場光利用ヘッド。

【請求項4】

前記スライダに固定され、前記光導波路の前記記録媒体側とは逆側の端側に前記光束を導入するレーザを備えることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の近接場光利用ヘッド。

【請求項5】

前記スライダに固定され、前記光導波路の前記記録媒体側とは逆側の端側に前記光束を導入する第２の光導波路を備えることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の近接場光利用ヘッド。

【請求項6】

前記基部と前記光散乱体先端部とが異なる幅を有することを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の近接場光利用ヘッド。

【請求項7】

前記基部が前記コアの先端部と同じ幅を有することを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の近接場光利用ヘッド。

【請求項8】

前記基部が前記コアの先端部の側面に設けられていることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の近接場光利用ヘッド。

【請求項9】

請求項１から請求項８のいずれかに記載の近接場光利用ヘッドと、前記記録媒体とを有する情報記録再生装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、近接場光を利用して記録媒体に各種の情報を記録再生するヘッド及びそれを備えた情報記録再生装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

近年、コンピュータ機器におけるハードディスクドライブ等の情報記録再生装置は、より大量かつ高密度情報の記録再生を行いたい等のニーズを受けて、さらなる高密度化が求められている。そのため、隣り合う磁区同士の影響や、熱揺らぎを最小限に抑えるために、保磁力の強いものを記録媒体として採用することが考えられている。そのため、記録媒体に情報を記録することが困難になっていた。

【0003】

そこで、上述した不具合を解消するために、近接場光を利用して磁区を局所的に加熱して一時的に保磁力を低下させ、その間に記録媒体への書き込みを行う熱アシスト磁気記録方式の情報記録再生装置が考案され開発が進められている。

【0004】

熱アシスト磁気記録方式による情報記録再生装置には、近接場光を発生させるための近接場光素子およびそれを駆動させるための光学系が必要となる。これら近接場光素子と光学系は、各種のものが考案されている。

【0005】

例えば特許文献１および特許文献２に示されるように、主磁極に隣接するように近接場光を発生する金等からなる光散乱体を設け、レーザからの光を光散乱体に照射する構成が知られている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２００５−００４９０１号公報

【特許文献2】特開２００８−１５９１５８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかしながら、上述の従来技術による近接場光利用ヘッドでは、高い記録密度に対応することが困難である。特許文献１においては図３や図１８に示すように、レーザからの光を空中伝搬によって光散乱体に照射している。レーザからの光をレンズで絞ってはいるが、光散乱体の寸法は小さいため、光散乱体に照射されない漏れ光成分が多くなってしまう。漏れ光の多くは記録媒体に照射され記録媒体を加熱してしまう。本来、近接場光により記録媒体の微小領域を加熱することで高密度記録を実現する熱アシスト磁気記録であるが、漏れ光のために微小領域だけを加熱することができず、そのために高密度記録を実現できないおそれがある。

【0008】

また、特許文献２のような構成においては図６に示すように、光導波路の出射端面に光散乱体（近接場光散乱板）を設けており、レーザからの光を光導波路を介して光散乱体に照射している。しかし、光導波路の光路となる部分の断面積が光散乱体よりも大きくなるため、特許文献１と同様に漏れ光が発生してしまい、同様に高密度記録を実現できないおそれがある。

【0009】

そこで本発明は、このような事情に考慮してなされたもので、その目的は、漏れ光をなくし近接場光成分のみで記録媒体を加熱できるような構成を提案し、それにより高密度記録を実現できる近接場光利用ヘッド及びそれを備えた情報記録再生装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明は、上記目的を達成するために、以下の手段を提供する。
本発明に係る熱アシスト磁気記録のための近接場光利用ヘッドは、記録媒体を近接場光によって加熱するとともに記録媒体に対して記録磁界を与えることにより、磁化反転を生じさせ、情報を記録させるものであり、記録媒体の表面に対向配置されたスライダと、スライダに固定され、光束を伝搬するコアを有する光導波路と、記録媒体側のコアの先端部の少なくとも光軸が横切る部分を覆う遮光膜と、コアの先端部の遮光膜で覆われていない部分に備えられた基部と、記録媒体に露出した光散乱体先端部とを備えており、コア及び基部の境界部分に光束が照射されることにより、境界部分を介して生じる表面プラズモンを用いて光散乱体先端部から近接場光を発生させる光散乱体とを備えることを特徴とするものである。

【0011】

本発明に係る熱アシスト磁気記録のための近接場光利用ヘッドにおいては、コアにより伝搬された光束は遮光膜によって漏れ出ることなく、一度光散乱体上の表面プラズモンを介して、近接場光として初めてスライダ表面に発生する。よって、記録媒体には近接場光のみが照射され、コアからの伝搬光が照射されることがない。よって、記録媒体のうち近接場光のサイズに対応した微小領域のみが加熱されるため、記録媒体に書き込む情報の密度を向上させることができる。

【0012】

また、本発明に係る熱アシスト磁気記録のための近接場光利用ヘッドは、コアの先端部に向うにつれて光束のスポットサイズを絞り込む光導波路がスポットサイズ変換器であることを特徴とするものである。

【0013】

本発明に係る熱アシスト磁気記録のための近接場光利用ヘッドにおいては、スポットサイズ変換器を伝搬する光のスポットサイズを縮小できるため、微小寸法の光散乱体に効率よく光を照射することができる。よって、エネルギー効率の良い情報記録を実現することができる。

【0014】

また、本発明に係る熱アシスト磁気記録のための近接場光利用ヘッドにおいて、遮光膜は、光散乱体に対して斜めに備えられており、コアの記録媒体側に向うにつれて遮光膜と光散乱体との間隔が狭くなるように備えられていることを特徴とするものである。

【0015】

本発明に係る熱アシスト磁気記録のための近接場光利用ヘッドにおいては、コアを伝播してきた光を、遮光膜によって光散乱体に寄せるように集中させることができるため、より多くの光を光散乱体に照射することができ、より高い効率で近接場光を発生させることができる。

【0016】

また、本発明に係る熱アシスト磁気記録のための近接場光利用ヘッドは、スライダに固定され、光導波路の記録媒体側とは逆側の端側に光束を導入するレーザを備えることを特徴とするものである。

【0017】

本発明に係る熱アシスト磁気記録のための近接場光利用ヘッドにおいては、レーザをスライダの直近に配することができるため、効率よくレーザの光を光導波路に伝えることができる。よって、エネルギー効率の良い情報記録を実現することができる。

【0018】

また、本発明に係る熱アシスト磁気記録のための近接場光利用ヘッドは、スライダに固定され、光導波路の記録媒体側とは逆側の端側に光束を導入する第２の光導波路を備えることを特徴とするものである。

【0019】

本発明に係る熱アシスト磁気記録のための近接場光利用ヘッドにおいては、レーザをスライダから遠方に配置し、第２の光導波路を用いてレーザと光導波路を接続できるため、レーザ搭載箇所の自由度が向上する。スライダよりも大きなレーザを用いることが容易になり、大きなエネルギーを光導波路に供給できる。よって、ＳＮの高い情報記録を実現することができる。

【0020】

また、本発明に係る熱アシスト磁気記録のための近接場光利用ヘッドは、基部と光散乱体先端部とが異なる幅を有することを特徴とするものである。

【0021】

本発明に係る熱アシスト磁気記録のための近接場光利用ヘッドにおいては、大きな基部で光導波路からの光束を効率よく受け止め、小さな光散乱体先端部で微小な近接場光を発生させることができる。よって、エネルギー効率が良く、かつ高密度な情報記録を実現することができる。

【0022】

また、本発明に係る熱アシスト磁気記録のための近接場光利用ヘッドは、基部がコアの先端部と同じ幅を有することを特徴とするものである。

【0023】

本発明に係る熱アシスト磁気記録のための近接場光利用ヘッドにおいては、基部で光導波路からの光束を効率よく受け止めることができる。よって、エネルギー効率の良い情報記録を実現することができる。

【0024】

また、本発明に係る熱アシスト磁気記録のための近接場光利用ヘッドは、基部がコアの先端部の側面に設けられていることを特徴とするものである。

【0025】

本発明に係る熱アシスト磁気記録のための近接場光利用ヘッドにおいては、基部で光導波路からの光束を効率よく受け止めることができる。よって、エネルギー効率の良い情報記録を実現することができる。

【0026】

また、本発明に係る情報記録再生装置は、上記本発明の熱アシスト磁気記録のための近接場光利用ヘッドと、記録媒体と、を有することを特徴とするものである。

【0027】

本発明に係る情報記録再生装置においては、本発明の熱アシスト磁気記録のための近接場光利用ヘッドを備えているので、高い記録密度を実現することができる。

【発明の効果】

【0028】

本発明に係る熱アシスト磁気記録のための近接場光利用ヘッドによれば、光源および導波路からの漏れ光をなくし近接場光成分のみで記録媒体を加熱でき、それにより高密度記録を実現できる情報記録再生装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0029】

【図1】本発明の第１実施形態に係る情報記録再生装置を示す構成図である。

【図2】図１に示すヘッドジンバルアセンブリの斜視図である。

【図3】図２のＡ−Ａ’線に沿う断面図である。

【図4】図３のうち導光部３０３と主磁極３１０の記録媒体Ｄ近傍の一部を拡大した図である。

【図5】図４をスライダ２のＡＢＳから見た下面図である。

【図6】本発明の第１実施形態に係るスライダ２の流出端側から再生素子３０４とクラッド３１２および遮光膜３１４を透過して、コア３１１と光散乱体３１３を見た図である。

【図7】図６のバリエーションを示す図である。

【図8】図６の別のバリエーションを示す図である。

【図9】図６の別のバリエーションを示す図である。

【図10】図９のバリエーションを示す図である。

【図11】図９の別のバリエーションを示す図である。

【図12】図４のバリエーションを示す図である。

【図13】本発明の第２実施形態に係るヘッドジンバルアセンブリを示す斜視図である。

【図14】図１３のＢ−Ｂ’線に沿う断面図である。

【図15】図１４のうち導光部５０１と主磁極３１０の記録媒体Ｄ近傍の一部を拡大した図である。

【図16】本発明の第３実施形態に係るヘッドジンバルアセンブリの断面図である。

【図17】図１６のうち導光部と主磁極３１０の記録媒体Ｄ近傍の一部を拡大した図である。

【発明を実施するための形態】

【0030】

（第１実施形態）
以下、本発明に係る第１実施形態を、図１から図８を参照して説明する。図１は、本実施形態に係る情報記録再生装置１を示す構成図である。なお、本実施形態の情報記録再生装置１は、磁気記録層を有する記録媒体Ｄに対して、熱アシスト磁気記録方式で書き込みを行う装置である。

【0031】

図１に示すように本実施形態の情報記録再生装置１において、スライダ２が固定されたサスペンション３が、キャリッジ１１に固定されている。スライダ２とサスペンション３を合わせて、ヘッドジンバルアセンブリ１２と呼ぶ。円盤状の記録媒体Ｄはスピンドルモータ７によって所定の方向に回転する。キャリッジ１１はピボット１０を中心に回転可能になっており、制御部５からの制御信号によって制御されるアクチュエータ６によって回転し、スライダ２を記録媒体Ｄ表面の所定の位置に配置することができる。ハウジング９はアルミニウムなどから成る箱状（図１では説明を分かりやすくするため、ハウジング９の周囲を取り囲む周壁を省略している）ものであり、上記の部品をその内部に格納している。スピンドルモータ７はハウジング９の底面に固定されている。スライダ２は記録媒体Ｄに向けて磁場を発生させる記録素子（図示略）と、近接場光を発生する導光部（図示略）と、記録媒体Ｄに記録された情報を再生する再生素子（図示略）を有している。記録素子と再生素子は、サスペンション３およびキャリッジ１１に沿って敷設されたフレキシブル配線１３、キャリッジ１１側面に設けられたターミナル１４およびフラットケーブル４を介して制御部５に接続されている。

【0032】

記録媒体Ｄは１枚でも良いが、図１に示すように複数枚設けても良い。記録媒体Ｄの枚数が増えれば、ヘッドジンバルアセンブリ１２の個数も増加する。図１では記録媒体Ｄの片面側のみにヘッドジンバルアセンブリ１２が設けられている構成を示しているが、両面に設けても良い。よって、ヘッドジンバルアセンブリ１２の個数は、最大で記録媒体Ｄの枚数の倍になる。これにより、情報記録再生装置１台当たりの記録容量の増加を図ることができる。

【0033】

図２は第１実施形態に係るヘッドジンバルアセンブリ１２の拡大図である。サスペンション３は、ステンレス薄板を材料とするベースプレート２０１、ヒンジ２０２、ロードビーム２０３、フレクシャ２０４からなる。ベースプレート２０１は、その一部に設けられた取り付け穴２０１ａにより、キャリッジ１１に固定されている。ヒンジ２０２はベースプレート２０１とロードビーム２０３を接続している。ヒンジ２０２はベースプレート２０１とロードビーム２０３よりも薄くなっており、ヒンジ２０２を中心としてサスペンション３がたわむようになっている。フレクシャ２０４はロードビーム２０３、ヒンジ２０２に固定された細長い部材であり、ロードビーム２０３やベースプレート２０１よりも薄くなっており、たわみやすく出来ている。フレクシャ２０４の先端には略直方体形状のスライダ２が固定されている。

【0034】

スライダ２の表面のうちフレクシャ２０４に固定された面の反対面は、記録媒体Ｄに対向する面である。この面は回転する記録媒体Ｄによって生じた空気流の粘性から、スライダ２が浮上するための圧力を発生させる面であり、ＡＢＳ（Ａｉｒ Ｂｅａｒｉｎｇ Ｓｕｒｆａｃｅ）と呼ばれている。ＡＢＳ上には図示を略した凹凸形状が設けられており、スライダ２と記録媒体Ｄ間に所望の圧力分布を発生させている。スライダ２を記録媒体Ｄから離そうとする正圧とスライダ２を記録媒体Ｄに引き付けようとする負圧と、サスペンション３による押しつけ力の釣り合いで、スライダ２は所望の状態で浮上している。記録媒体Ｄとスライダ２のすきまの最低値は１０ｎｍ程度もしくはそれ以下となっている。サスペンション３による押しつけ力は主にヒンジ２０２の弾性により発生している。また、記録媒体Ｄ表面のうねりに対して、ヒンジ２０２およびフレクシャ２０４がたわむことで、所望の浮上状態を維持することが出来る。

【0035】

フレクシャ２０４上にはフレキシブル配線１３が設けられている。フレクシャ２０４は略コ字状の開口部を有しており、この開口部に囲まれて舌状となったパッド部２０４ａ上にスライダ２が固定されている。スライダ２の端部のうち、サスペンション３の根本側（キャリッジ１１側）は流入端と呼ばれている。その反対のサスペンション３の先端側は、スライダ２の流出端と呼ばれている。これらは、前述の記録媒体Ｄによる空気流の方向に基づいて名付けられている。サスペンション３の根本側から延設されたフレキシブル配線１３は途中から２本に分岐し、前述の開口部およびスライダ２の両側を回り込むように、スライダ２の流出端側に接続されている。

【0036】

図３は図２のＡ−Ａ’断面を示す図である。スライダ２はスライダ基部３０１、記録素子３０２、導光部３０３、再生素子３０４から構成される。スライダ基部３０１の流出端側の側面に、記録素子３０２、導光部３０３、再生素子３０４が順に積層されている。また、スライダ基部３０１とパッド部２０４ａに挟まれるようにレーザ３０５が固定されている。レーザ３０５は端面発光型レーザであり、レーザ光が出射する端面が導光部３０３に光学的に接続されている。レーザ３０５はフレキシブル配線１３等を介して制御部５に接続されている。制御部５の電気信号に基づいてレーザ３０５が発光動作するようになっている。スライダ基部３０１は略直方体状の部材であり、ＡｌＴｉＣ材からなる。

【0037】

記録素子３０２は、スライダ基部３０１の流出端側の側面に固定された副磁極３０６と、ヨーク３０７を介して副磁極３０６に接続され記録媒体Ｄに対して垂直な記録磁界を主磁極３１０と、ヨーク３０７を中心としてヨーク３０７の周囲を螺旋状に巻回するコイル３０８とを備えている。主磁極３１０、副磁極３０６及びヨーク３０７は、磁束密度が高い高飽和磁束密度（Ｂｓ）材料（例えば、ＣｏＮｉＦｅ合金、ＣｏＦｅ合金等）により形成されている。また、コイル３０８は、ショートしないように、隣り合うコイル線間、ヨーク３０７、主磁極３１０、副磁極３０６との間に隙間が空くように配置されており、この状態で絶縁体３０９によってモールドされている。そして、コイル３０８は、情報に応じて変調された電流が制御部５から供給されるようになっている。よって、主磁極３１０、副磁極３０６、ヨーク３０７及びコイル３０８は、全体として電磁石を構成している。なお、主磁極３１０及び副磁極３０６は、記録媒体Ｄに対向する端面がスライダ２のＡＢＳと面一となるように設計されている。

【0038】

導光部３０３は、一端側がフレクシャ２０４側に向くと共に、他端側が記録媒体Ｄ側に向いた状態で、記録素子３０２に隣接して固定されている。より具体的には、主磁極３１０に隣接して固定されている。この導光部３０３は、多面体のコア３１１と、コア３１１を内部に閉じ込めるクラッド３１２と、後述の光散乱体３１３および遮光膜３１４から構成されており、全体として略板状に形成されている。コア３１１は光学的に透明でクラッド３１２よりも屈折率が大きい材料で構成されている。例えばコア３１１にゲルマニウムをドープしたＳｉＯ２を用い、クラッド３１２に純ＳｉＯ２を用いることができる。また、コア３１１にＴａ２Ｏ５を用い、クラッド３１２にアルミナを用いることもできる。レーザ３０５からのレーザ光が赤外光であればコア３１１にシリコンを用いることもできる。コア３１１の一端側の一部はクラッド３１２から露出しており、レーザ３０５の出射端面と接触しており、前述の導光部３０３とレーザ３０５との光学的接続を実現している。また、コア３１１の一端側には反射面３１１ａが設けられており、レーザ３０５からの光束の向きが略９０度変わるように反射させて、コア３１１長手方向へ光束を入射させている。コア３１１は一端側から他端側に向かう長手方向に直交する断面が三角形になっており、その断面積が他端側に向かって漸次減少するように絞り成形されており、反射面３１１ａによって反射された光束を集光させながら他端側に向けて伝播させている。つまり、コア３１１とクラッド３１２は、導入された光束のスポットサイズを絞るスポットサイズ変換器を構成している。

【0039】

また、再生素子３０４は、記録媒体Ｄから漏れ出ている磁界の大きさに応じて電気抵抗が変換する磁気抵抗効果膜である。この再生素子３０４には、図示しないリード膜等を介して制御部５からバイアス電流が供給されている。これにより制御部５は、記録媒体Ｄから漏れ出た磁界の変化を電圧の変化として検出することでき、この電圧の変化から信号の再生を行うことができるようになっている。

【0040】

導光部３０３と主磁極３１０近傍の詳細構造について図４および図５を用いて説明する。図４は導光部３０３と主磁極３１０の記録媒体Ｄ近傍の一部を拡大した断面図である。図５は図４をスライダ２のＡＢＳから見た下面図である。主磁極３１０はクラッド３１２に接しているが、記録媒体Ｄ近傍ではクラッド３１２側に埋め込まれるようにせり出した主磁極先端３１０ａを有している。主磁極先端３１０ａの記録媒体Ｄに対向する端面がスライダ２のＡＢＳと面一となっている。主磁極先端３１０ａの一側面上には光散乱体３１３が構成されている。コア３１１は他端側の側面がクラッド３１２から露出した露出部３１１ｂを有しており、露出部３１１ｂを介して光散乱体３１３と接している。コア３１１の他端側は遮光膜３１４により覆われている。光散乱体３１３は金、銀、プラチナ等の材料からなっている。遮光膜３１４はアルミニウム等の材料からなっている。本実施形態では、遮光膜３１４は、光散乱体３１３に対して斜めに備えられており、コア３１１の記録媒体側に向うにつれて遮光膜３１４と光散乱体３１３との間隔が狭くなるよう（絞り込み構造）に備えられている。前述のようにコア３１１とクラッド３１２はスポットサイズ変換器を構成しているが、絞り込み構造の手前で、コア３１１とクラッド３１２界面の全反射による光絞り込みの限界となるコア寸法となっている。具体的にはレーザ３０５の光束が可視光や近赤外光の場合、コア断面がおおよそ数μｍ程度の寸法となっている。これ以下になると光束をコア内に閉じこめることが出来ず、漏れ出してしまう。しかし、絞り込み構造に備えられた遮光膜３１４のために光束が外部に漏れ出ることがなく、遮光膜３１４とコア３１１との界面を反射しながら露出部３１１ｂに集中し、露出部３１１ｂを介して光散乱体３１３に効率よく照射される。光散乱体３１３に照射された光束は表面プラズモンに変換されて、光散乱体３１３表面を伝搬し、光散乱体３１３の記録媒体Ｄ側の端面（光散乱体先端部）で近接場光を発生させる。つまり、コア３１１の先端部で光束が終端するが、その後は光束が表面プラズモンに変換されて光散乱体３１３の記録媒体Ｄ側の端面から近接場光が発生する。光散乱体３１３は主磁極先端３１０ａと接しているため、主磁極先端３１０ａからの磁束と、光散乱体３１３からの近接場光が、極めて近接した形で発生する。

【0041】

図６は図４と同じ箇所を示す図であり、スライダ２の流出端側から再生素子３０４とクラッド３１２および遮光膜３１４を透過して、コア３１１と光散乱体３１３を見た図である。光散乱体３１３は記録媒体Ｄ面と垂直方向に長い略直方体形状を有しており、その幅は数十ｎｍ以下である。コア３１１は、記録素子３０２側の側面の一部である露出部３１１ｂのみで光散乱体３１３に接している。近接場光のスポットサイズは光散乱体３１３の記録媒体Ｄ側の寸法と同程度である。

【0042】

図７は図６のバリエーションを示す図である。光散乱体３１３は記録媒体Ｄ側が細くなっている羽子板状の形状を有している。記録媒体Ｄ側の光散乱体３１３の幅は数十ｎｍ以下である。光散乱体３１３のコア３１１側は、コア３１１と同じ幅でコア３１１と接している。

【0043】

図８および図９は図６の別のバリエーションを示す図である。コア３１１の他端側が尖った形状となっている。このようにコア３１１は光束を伝搬できるような多面体形状であればどのような形状でも良い。また、コア３１１とクラッド３１２はスポットサイズ変換器ではなくて単なる光導波路でも良い。光散乱体３１３は図８では直線状、図９では露出部３１１ｂと重なる部分が広く、記録媒体Ｄと対向する側が細いへら状になっている。このように光散乱体３１３は露出部３１１ｂと重なる部分と記録媒体Ｄに対向する光散乱体先端部を有していればどのような形状でも良い。

【0044】

図１０は図９のバリエーションを示す図である。コア３１１の他端側がへら状の光散乱体３１１に平面形状が一致するように、記録媒体Ｄに対向するところまで延長された延長部３１１ｃを有している。図１１は図９の別のバリエーションを示す図である。このように平面から構成される多面体形状だけでなく曲面から構成されても良い。

【0045】

図１２は図４のバリエーションを示す図である。このようにコア３１１と遮光膜３１４の間に第２のコア３１５をはさんでも良い。この場合、レーザ３０５からの光束は、遮光膜３１４と第２のコア３１５との界面を反射しながら露出部３１１ｂに集中する。また、第２のコア３１５は光散乱体３１３の一部を覆っており、遮光膜３１４と光散乱体３１３の接触を防ぎ、これらの材料が拡散する等の変質を起こすことを防いでいる。

【0046】

本実施の形態によって、コア３１１により伝搬された光束は遮光膜３１４によって漏れ出ることなく、一度光散乱体３１３上の表面プラズモンを介して、近接場光として初めてスライダ２表面に発生する。よって、記録媒体Ｄには近接場光のみが照射され、コア３１１からの伝搬光が照射されることがない。よって、記録媒体Ｄのうち近接場光のサイズに対応した微小領域のみが加熱されるため、記録媒体Ｄに書き込む情報の密度を向上させることができる。

【0047】

（第２実施形態）
以下、本発明に係る第２実施形態を、図１３から図１５を参照して説明する。第１実施形態と同一箇所については同一符号を付して詳細な説明を省略する。本実施形態が第１実施形態と異なる点は、レーザをスライダから離れた場所に搭載し、レーザとスライダを光ファイバで接続した点と、スライダ中の導光部と記録素子の積層の順序が異なる点である。

【0048】

図１３は第２実施形態に係るヘッドジンバルアセンブリ１２の拡大図である。フレクシャ２０４上にはフレキシブル配線４０３が設けられている。レーザ４０１はフレクシャ２０４のうちベースプレート２０１上に載る部分の一部に設けられている。レーザ４０１とフレキシブル配線４０３は電気的に接続され、制御部５の電気信号に基づいてレーザ４０１が発光動作するようになっている。レーザ４０１の出射端には光ファイバ４０２が光学的に接続されている。光ファイバ４０２のもう一端は、スライダ２に設けられた後述の導光部５０１と光学的に結合している。また、光ファイバ４０２はスリーブ４０４をもちいて光ファイバ４０２の長手方向が自由になるように支持されている。

【0049】

図１４は図１３のＢ−Ｂ’断面である。スライダ２はスライダ基部３０１、導光部５０１、記録素子３０３、再生素子３０４から構成される。スライダ基部３０１の流出端側の側面に、導光部５０１、記録素子３０３、再生素子３０４が順に積層されている。また、光ファイバ４０２がスライダ基部３０１とパッド部２０４ａに挟まれるように固定されており、その端面は光ファイバ４０２の長手方向に対して傾斜した反射面４０２ａを形成している。

【0050】

導光部５０１は、一端側がフレクシャ２０４側に向くと共に、他端側が記録媒体Ｄ側に向いた状態で、スライダ基部３０１に隣接して固定されている。この導光部５０１は、多面体のコア５０４と、コア５０４を内部に閉じ込めるクラッド５０３と、光散乱体３１３および遮光膜３１４から構成されており、全体として略板状に形成されている。それぞれの材料は第１実施形態と同様である。コア５０４の一端側はクラッド５０３から露出しており、光ファイバ４０２の側面と接触しており、前述の導光部５０１と光ファイバ４０２との光学的接続を実現している。光ファイバ４０２により伝搬された光束は、反射面４０２ａにてその向きが略９０度曲げられ、コア５０４長手方向へ入射する。コア５０４は一端側から他端側に向かう長手方向に直交する断面が三角形になっており、その断面積が他端側に向かって漸次減少するように絞り成形されており、入射した光束を集光させながら他端側に向けて伝播させている。つまり、コア５０４とクラッド５０３は、導入された光束のスポットサイズを絞るスポットサイズ変換器を構成している。

【0051】

記録素子３０２の形状は第１実施形態と同様であるが、固定される向きが異なり、導光部５０１側に主磁極３１０が設けられ、再生素子３０４側に副磁極３０６が設けられる。

【0052】

導光部５０１と主磁極３１０近傍の詳細構造について図１５を用いて説明する。図１５は導光部５０１と主磁極３１０の記録媒体Ｄ近傍の一部を拡大した断面図である。主磁極３１０はクラッド５０３に接しているが、記録媒体Ｄ近傍ではクラッド５０３側に埋め込まれるようにせり出した主磁極先端３１０ａを有している。主磁極先端３１０ａの一側面上には光散乱体３１３が構成されている。コア５０４は前述の他端側の側面がクラッド５０３から露出した露出部５０４ｂを有しており、露出部５０４ｂを介して光散乱体３１３と接している。コア５０４の他端側は遮光膜３１４により覆われている。前述のように光ファイバ４０２からの光束はコア５０４の一端側から他端側に伝搬するが、遮光膜３１４のために外部に漏れ出ることがなく、遮光膜３１４とコア５０４との界面を反射しながら露出部５０４ｂに集中し、露出部５０４ｂを介して光散乱体３１３に照射される。光散乱体３１３に照射された光束は表面プラズモンに変換されて、光散乱体３１３表面を伝搬し、光散乱体３１３の記録媒体Ｄ側の端面で近接場光を発生させる。

【0053】

本実施の形態によっても、第１実施形態と同様の効果を実現することができる。また、主磁極３１０を光散乱体３１３に対してスライダ２の流出端とは反対側に配しているため、記録媒体Ｄを光散乱体３１３からの近接場光で加熱し、その後主磁極３１０からの磁束で書き込みをおこなうことができ、効率良く情報の記録を実現することができる。

【0054】

（第３実施形態）
以下、本発明に係る第３実施形態を、図１６と図１７を参照して説明する。第１および第２実施形態と同一箇所については同一符号を付して詳細な説明を省略する。本実施形態が第１実施形態と異なる点は、主磁極と副磁極の間に導光部を設けている点、またスライダにレーザを直接搭載している点である。

【0055】

図１６は第３実施形態に係るヘッドジンバルアセンブリ１２の断面図である。記録素子３０２は、クラッド３１２ａ内にモールドされた主磁極３１０、副磁極３０６およびコイル３０８と、主磁極３１０および副磁極３０６の間に配置されたヨーク３０７と、を備えている。

【0056】

副磁極３０６は、再生素子３０４上に配置されるとともに、ヨーク３０７の一端側が接続されている。コイル３０８は、ヨーク３０７を中心としてヨーク３０７の周囲に螺旋状に形成されている。また、ヨーク３０７には貫通孔３０７ａが形成され、この貫通孔３０７ａ内を貫通するようにコア３１１が配置されている。そして、ヨーク３０７の他端側には主磁極３１０が接続されている。

【0057】

スライダ基部３０１には、レーザ光源６０１が搭載されている。レーザ光源６０１は、スライダ基部３０１の上面に固定されたレーザマウント６０２と、レーザマウント６０２の前端面６０２ａに固定された半導体レーザチップ６０３と、を有している。レーザマウント６０２は、例えばスライダ基部３０１と同一材料により構成され、記録媒体Ｄの面と平行方向における外形がスライダ基部３０１と同等に形成された板状の部材であり、上面側がフレクシャ２０４のパッド部２０４ａに固定されている。すなわち、スライダ基部３０１は、パッド部２０４ａとの間にレーザマウント６０２を挟持した状態でパッド部２０４ａに固定されている。なお、図示しないがレーザマウント６０２には電気配線が固定されている。この電気配線によりフレキシブル配線１３と半導体レーザチップ６０３が電気的に接続されている。半導体レーザチップ６０３は、その出射側端面を下方に向けた状態で、かつコア３１１の一端側端面に対向するように配置されている。半導体レーザチップ６０３からの光束はコア３１１に導入され、コア３１１の他端側に導かれる。また、半導体レーザチップ６０３の出射側端面と、コア３１１との間に間隔を有しているが、この間隔内にコア３１１と同等の屈折率を有するオイル等を介在させても構わない。

【0058】

図１７は導光部と主磁極３１０の記録媒体Ｄ近傍の一部を拡大した断面図である。光散乱体３１３、コア３１１、第２のコア３１５、主磁極３１０の順に積層されている。主磁極先端３１０ａは、第１および第２実施形態における遮光膜３１４の役割を兼ねている。

【0059】

本実施の形態によっても、第１実施形態と同様の効果を実現することができる。また、スライダ３における最も前端側に、光散乱体３１３と主磁極３１０とを配置できるので、光散乱体３１３から散乱した近接場光と、主磁極３１０による磁界を記録媒体Ｄに最も接近した状態で発生させることができる。これにより、記録媒体Ｄへの記録をスムーズ、かつ高精度に行うことができる。

【0060】

なお、本発明の技術範囲は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述した実施形態に種々の変更を加えたものを含む。すなわち、上述した実施形態で挙げた構成等はほんの一例に過ぎず、適宜変更が可能である。また、上述した各実施形態を適宜組み合わせて採用することも可能である。

【符号の説明】

【0061】

Ｄ記録媒体 １情報記録再生装置 ２スライダ ３サスペンション １１キャリッジ １２ヘッドジンバルアセンブリ １３フレキシブル配線 ２０４フレクシャ ２０４ａパッド部 ３０６副磁極 ３０８コイル ３１０主磁極 ３１１コア ３１１ｂ露出部 ３１２クラッド ３１３光散乱体 ３１４遮光膜

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】