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特許5719651イオン注入量測定装置およびイオン注入量測定方法
発明の名称 イオン注入量測定装置およびイオン注入量測定方法
出願人 株式会社神戸製鋼所 （識別番号 1199）
特許公開件数ランキング 123 位（88件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 163 位（58件）（共同出願を含む）
出願人 株式会社コベルコ科研 （識別番号 130259）
特許公開件数ランキング 1200 位（6件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 1057 位（6件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-5719651
公報発行日 2015年5月20
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5719651
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