特許5721132真空処理装置用シャワーヘッド・アセンブリ及び真空処理装置用シャワーヘッド・アセンブリを真空処理チャンバに締結する方法

発明の名称　真空処理装置用シャワーヘッド・アセンブリ及び真空処理装置用シャワーヘッド・アセンブリを真空処理チャンバに締結する方法

出願人　オルボテック　エルティ　ソラー，エルエルシー　（識別番号 509263179）

　　　　特許公開件数ランキング 966 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 956 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5721132

公報発行日　2015年5月20

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5721132

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