特許第5721132号(P5721132)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許5721132真空処理装置用シャワーヘッド・アセンブリ及び真空処理装置用シャワーヘッド・アセンブリを真空処理チャンバに締結する方法
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  • 特許5721132-真空処理装置用シャワーヘッド・アセンブリ及び真空処理装置用シャワーヘッド・アセンブリを真空処理チャンバに締結する方法 図000002
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