(58)【調査した分野】(Int.Cl.,DB名)
【図面の簡単な説明】
【0007】
【
図1】チャープパルス増幅システムのダイアグラムを表す図である。
【
図2】入射角18°におけるグレーティング間隔0.1メータの1200ライン/mmグレーティング圧縮器について波長に対する分散をプロットしたグラフを表す図である。
【
図3】グレーティング間隔0.1メータの1200ライン/mmグレーティングについて入射角度の関数として1030nmにおける分散およびRDSの計算値を示すグラフを表す図である。
【
図4】グレーティング間隔0.1メータの1200ライン/mmグレーティングについて入射角度の関数として1030nmにおける分散およびRDSの計算値を示すグラフを表す図である。
【
図5】本発明の観点によるファイバ伸張器の断面を表す図である。
【
図6】
図5に示されるファイバの設計上の屈折率プロファイルを表す図である。
【
図7】
図6に示される屈折率プロファイルにより製造されたファイバの実測された屈折率プロファイルを表す図である。
【
図8】
図5−7に示されるファイバの具体的な設計、および動作の詳細を説明する表である。
【
図9】
図5−7に示されるファイバの具体的な設計、および動作の詳細を説明する表である。
【
図10】
図5−7に示されるファイバの分散、RDS、および減衰を図解するグラフ表す図である。
【
図11】
図5−7に示されるファイバの分散、RDS、および減衰を図解するグラフ表す図である。
【
図12】
図5−7に示されるファイバ伸張器を採用する伸張器ユニットのそれぞれ異なる構成のダイアグラム表す図である。
【
図13】
図5−7に示されるファイバ伸張器を採用する伸張器ユニットのそれぞれ異なる構成のダイアグラム表す図である。
【
図14】
図5−7に示されるファイバ伸張器を採用する伸張器ユニットのそれぞれ異なる構成のダイアグラム表す図である。
【
図15】グレーティング圧縮ユニットの分散、およびRDSを整合させるために第二のファイバと組み合わせた
図5−7に示されるファイバ伸張器の使用を図解するグラフ表す図である。
【
図16】グレーティング圧縮ユニットの分散、およびRDSを整合させるために第二のファイバと組み合わせた
図5−7に示されるファイバ伸張器の使用を図解するグラフ表す図である。
【
図17】グレーティング圧縮ユニットの分散、およびRDSを整合させるために第二のファイバと組み合わせた
図5−7に示されるファイバ伸張器の使用を図解するグラフ表す図である。
【
図18】グレーティング圧縮ユニットの分散、およびRDSを整合させるために第二のファイバと組み合わせた
図5−7に示されるファイバ伸張器の使用を図解するグラフ表す図である。
【
図19】本発明のさらなる観点によって伸張器モジュールを構築する方法のフローチャート表す図である。
【発明を実施するための形態】
【0008】
本発明のよりよい理解のために、添付の図、および添付の請求の範囲とにより以下に説明する。なお、これらの図面中の構成要素は必ずしも寸法通りではない。
本発明の観点は、特定の波長帯、例えば1000−1100nm内で動作する短パルスファイバレーザでのチャープ増幅のための伸張器モジュールを全てファイバベースで提供するシステムと技術に向けられている。本発明の第一の観点は、伸張器モジュールそのものに直接使われてもよい新しいファイバ伸張器に向けられている。本発明のさらなる観点によれば、伸張器モジュールは、新しいファイバ伸張器と、伸張器モジュールが所望の総合的分散および総合的RDSを有するように選択された少なくとも一つの異なるファイバとを組合せ、共に接合することによって構築される。
【0009】
伸張器モジュールの設計において出てくる問題の議論にしたがって、新しいファイバ伸張器の詳細な説明と、および伸張器モジュールを構成するためにファイバ伸張器とその他のファイバとの好適な組合せとが提供される。説明されるシステムおよび技術は、一般的に広く使われているグレーティング圧縮器と組み合わせて使われるために十分高いRDSを有する全ファイバ伸張器モジュールを構成するために使われるということに留意されたい。
【0010】
高いパルスエネルギーを持つ短パルスファイバレーザは、マイクロマシニング(micromachining)や類似のものなど多くの用途に望ましい。短パルス、つまり持続時間が1ピコ秒より短く、マイクロジュールレベル、あるいはミリジュールレベルものパルスエネルギーを有する短パルスを生成するための耐久性のある方式として、チャープパルス増幅が示されている。
【0011】
図1は、代表的なチャープパルス増幅システム20のダイアグラムを示す。低パワーのフェムト秒発振器21がパルス出力22を発生し、通常、10
3倍以上にパルス出力を伸張する伸張器モジュール23に送り込まれる。伸張器モジュール23はパルスのピークパワーを低減するために非常に分散が大きい。それから、伸張されたパルス出力24は高パワーの増幅器25によってリニアに増幅される。増幅され伸張されたパルス出力26は、その後、伸張器ユニットとは逆の分散を持つ分散要素である圧縮ユニット27によって再圧縮されて、増幅され再圧縮されたパルス出力28をもたらす。
【0012】
群速度分散の特性を明らかにするために、異なるパラメータとその微分係数を用いる。光ファイバの場においてはDパラメータが一般的に用いられる。Dパラメータは以下のように定義される。
【数1】
ここで、Tgは群遅延、λは波長である。レーザの場の内部では、伝播定数(β)の二次微分であるβ
2を使うことがより一般的である。
【数2】
ここでωは角振動数である。これら二つのパラメータは以下のように一意的に関連している。
【数3】
ここでcは真空中の光の速度である。これ以降の本説明の中ではDパラメータが使われる。
【0013】
現在のチャープ増幅システムでは、伸張ユニットおよび圧縮ユニットは、自由空間回折グレーティングの対を用いて作られる。しかし、一般的にいえば、多くの理由により、ファイバベースの方式が自由空間光学系の方式よりも望ましい。一般に、ファイバベースの構成要素は、対応する自由空間光学系の構成要素と比較してサイズが小さく、より安定性がよく、寿命が長く、かつコストが安い。
【0014】
現在のところ、圧縮器ユニットについては全ファイバ方式を用いて製造される可能性はない。数ナノジュール以上のパルスエネルギーについては、圧縮後の高いピーク強度が、圧縮器ファイバ中の非線形性による顕著なパルス歪につながる。しかし、増幅および圧縮前のレーザ出力のパワーが比較的低いため、これらの高いピーク強度は伸張器ユニットに関しては問題ではない。従って、伸張器ユニットが全ファイバ方式を用いて作られるならば、圧縮器ユニットも含めすべてのレーザ増幅システムは、いかなる自由空間光学系を使用せずにファイバから製造されるであろう。
【0015】
しかし、伸張器として用いるファイバの設計には多くの問題がある。一つの問題は、理想的には、伸張器は、単一の波長でだけでなく、パルスの全スペクトル範囲、一般的にはパルスの持続時間に依存するが5−20nmの範囲で、圧縮器グレーティングの分散を整合するべきである。
図2は、1200ライン/mmのグレーティング圧縮器の分散(Dパラメータ)42が、入射角度18°、グレーティングの距離0.1メータにおける波長の関数としてプロットされているグラフ40を示す。
図2の図解のように、一般にグレーティング圧縮器は比較的大きい分散勾配を有する。
【0016】
分散および分散勾配の補償のためのファイバを設計するとき、有用な指標は相対分散勾配(RDS)であって、それは以下のように定義される。
【数4】
【0017】
ファイバが分散および分散要素の分散勾配を補償するとき、ファイバは分散要素として同一のRDSを持つべきである。RDSは以下の式によって伝播定数の三次、および二次微分の比に関連している。
【数5】
【0018】
ファイバ伸張器の設計における一般的な問題は十分高いRDSを得ることである。これは圧縮器グレーティングの一般的な特性による。十分な伸張比を得るために、通常5ps/nmから数100ps/nmの範囲の分散Dが必要とされる。あまりにも長いグレーティング間の距離を必要とせずにそのような分散係数を得るためには、比較的低い入射角でグレーティングを動作させることが必要である。しかし、このことが比較的高いRDSの値につながる。この例が、グレーティング間隔が0.1メータで1200ライン/mmのグレーティングについて、入射角の関数として1030nmにおいて計算された分散62とRDS82のグラフ60および80である
図3および
図4に示されている。
【0019】
本発明の観点が、これらの問題およびその他の問題に対処する新しいファイバ伸張器の設計を提供する。いま述べているファイバの例は、負の分散D、およびRDS>0.005nm
−1を有する。このファイバは、例えばYbファイバ利得帯(増幅窓)、即ち1000nmと1100nmの間のファイバレーザで作用する短パルスレーザ用のチャープパルス増幅システムの伸張器モジュールで使用するために設計されている。しかし、ここに説明されるファイバ設計は、他の波長帯、例えば一般にTi−サファイアレーザによって使われる800nm帯や、既存の分散補償ファイバ技術で一般的に使われる1550nm帯などで動作する短パルスレーザ用のチャープパルス増幅システムで使用するために修正してもよい。
【0020】
新しいファイバは、それぞれが屈折率を持つ複数の領域を生成するためにドープされた適切な材料で製造される。これらの領域は、ファイバの長手方向に伸びる中心部コア領域と、コア領域を取り囲む連続した層として配される一連の同心領域とを含む。ファイバは、例えば修正化学気相堆積(MCVD)技術や類似の技術など、業界で知られた技術を用いて作られる。
【0021】
図5は、寸法どおりではないが、新しい伸張ファイバ100の断面の図解を示す。
図5に示されるように、ファイバは以下の領域を含む。半径がr
1であるコア101、外側の半径がr
2である内側の溝102、外側の半径がr
3である環状部103、外側の半径がr
4である外側の溝、および外側の半径がr
0である外側のクラッド。さらにファイバは(図示しない)一つ以上の外側の保護層を備えてもよい。
【0022】
図6は、ファイバに望ましい屈折率プロファイル120の図解を示し、
図7は、望ましい屈折率プロファイルに従って製造されたファイバから得られた実測による屈折率プロファイル140を示す。本説明のために、外側のクラッドの屈折率はn
0として表され、コア、内側の溝、環状部、および外側の溝の屈折率はそれぞれn
1〜n
4として表される。さらに、外側のクラッドの屈折率n
0がそれぞれのファイバ領域についての有効屈折率差Δnを決定するために使われる。つまり、
Δn
1=n
1−n
0;
Δn
2=n
2−n
0;
Δn
3=n
3−n
0;および
Δn
4=n
4−n
0
である。
【0023】
図6および7に示されるように、屈折率プロファイル120,140は、コア領域101に対応する中心部の突起121、141、内側の溝部102に対応する溝部122、142、環状領域103に対応する肩部123、143、および外側の溝部104に対応するより小さい溝部124、144を含む。
【0024】
図8は、以下のファイバ領域部の材料、ドーパント、有効屈折率、幅、および外側半径のそれぞれについての詳細を説明する表200を示す。
【0025】
五つのファイバ領域のすべての材料はSiO
2である。個々の領域のそれぞれは適当な量のドーパントを加えることにより作られる。外側のクラッド105は、ドープされず、屈折率n
0を有する。外側のクラッドの外側半径は62.5マイクロメータである。したがってファイバ伸張器の直径は125マイクロメータである。
【0026】
コア101は、屈折率を高めるドーパントGeO
2をドープされ、有効屈折率差Δn
1=n
1−n
0=21.9×10
−3、および半径0.98マイクロメータを有する。
【0027】
内側溝部102は、屈折率を下げるドーパントGeO
2およびFの混合物をドープされ、有効屈折率差Δn
2=n
2−n
0=−8.9×10
−3、幅2.96マイクロメータ、および外側半径3.94マイクロメータを有する。選択肢として、溝部はFだけでドープされてもよい。
【0028】
環状部103は、屈折率を高めるドーパントGeO
2およびFの混合物をドープされ、有効屈折率差Δn
3=n
3−n
0=6.8×10
−3、幅1.38マイクロメータ、および外側半径5.32マイクロメータを有する。選択肢として、環状部はGeO
2だけでドープされてもよい。
【0029】
外側溝部104は、屈折率を高めるドーパントP
2O
5およびFの混合物をドープされ、有効屈折率差Δn
4=n
4−n
0=−1.0×10
−3、幅1.76マイクロメータ、および外側半径7.08マイクロメータを有する。選択肢として、混合ドーパントはGeO
2を含んでもよい。第二の選択肢として、外側溝部はFだけでドープされてもよい。
【0030】
図9は、
図8に説明される表200に従って製造されるファイバの種々の特性を説明する表210である。これらの特性は、1030nmおよび1060nmにおける、相対分散勾配、分散、減衰、およびモードフィールド径を含む。さらに表は、直径30mmの心棒に一巻きしたときの損失が0.5dBとなる波長とファイバのカットオフ波長とを説明している。
【0031】
表210に示されるように、1030nmにおいて、ファイバは、相対分散勾配0.0094nm
−1、分散−164ps/(nm−km)、減衰2.9dB/km、およびモードフィールド径2.9マイクロメータを有する。1060nmにおいて、ファイバは、相対分散勾配0.130nm
−1、分散−236ps/(nm−km)、減衰2.6dB/km、およびモードフィールド径3.0マイクロメータを有する。
【0032】
さらに表210に示されるように、直径30mmの心棒に一巻きしたときの損失が0.5dBとなる波長は1072nmである。ファイバのカットオフ波長は970nmである。ファイバは、選択された動作波長範囲以下でカットオフ波長を有するように設計されているということに留意されたい。
図10は、分散222およびRDS224が波長の関数としてプロットされるグラフ220を示す。
図11は、減衰232が波長の関数としてプロットされるグラフ230を示す。
【0033】
ここに説明されているファイバは、全ファイバ伸張ユニットを形成するために様々な構成で使われる。これらの構成のいくつかが
図12−14に模式的に示されている。
【0034】
図12は伸張モジュール240の図解を示し、一本の新しいファイバ伸張器242が、適当なパッケージ244に組み込まれ、上に述べられたパルス伸張機能をそれ自体が備えるように使用される。この方法は、ファイバ伸張器242の分散とRDSとを所与の圧縮器ユニットの分散とRDSとに調整する必要なしに整合させるために使用される。もし、ファイバ伸張器242の必要な長さが十分に短ければ、ファイバは緩く巻いたコイルの形でパッケージ244に組み込まれてもよい。もっと長いファイバ242は、巻き枠や他の適当な構造物を用いて、パッケージ244に組み込まれてもよい。
【0035】
本発明の更なる観点により、新しいファイバ伸張器に基づく伸張ユニットの分散とRDSとが、選択された分散とRDSとを有する第二のファイバあるいはファイバデバイスとファイバ伸張器とを組み合わせることによって、正確にコントロールされる。以下で用いられるように、「ファイバ」という表現は、ファイバ、ファイバデバイス、ファイバベースの構造体、あるいはそれらの組合せなどを参照するものとして一般的に使用される。
【0036】
新しいファイバ伸張器と組み合わせて使用するのに適切な第二のファイバを選択することにより、ファイバ伸張器および第二のファイバのいずれかあるいはその両方の長さを切り揃えることで、伸張モジュールの総合的な分散と総合的な相対分散勾配の両方を正確にコントロールすることが可能である。所望の結果、即ち、特定の圧縮モジュールと伸張器モジュールとの整合を達成すべく新しいファイバ伸張器が一つ以上の他のファイバと組み合わされている伸張器モジュールに本義論を適用することが可能であるということに留意すべきである。
【0037】
第二のファイバは、様々な物理的構成で新しいファイバ伸張器と組み合わされてよい。例えば、
図13に図示されるように、ファイバ伸張器252と第二のファイバ254とは接合点256で互いに結合され、CPAシステムへの組み込みのために単一のパッケージ258の中に共に収納される。代替として、
図14に図示されるように、伸張器モジュール260は、接合点272で共に結合されるファイバ伸張器268と第二のファイバ270のそれぞれを収納する複数のパッケージユニット262および264からなる。新しいファイバ伸張器と第二のファイバの組合せに基づく伸張器モジュールは、得られるRDSの量のコントロールの柔軟性だけでなく、二つのファイバそれぞれの長さを調整することによって、分散およびRDSを個別に非常に正確なコントロールで調整できることを備えている。
【0038】
例えば、正の分散Dと負のRDSとを有する第二のファイバとファイバ伸張器とを組み合わせることによって、伸張器ファイバ単体のRDSよりも高いRDSを持つ伸張器ユニットを組み立てることが可能である。一つの典型的な実施例において、ファイバ伸張器は、より高次のモード(HOM)、例えばLP
02モードで動作する正のDと負のRDSとを有するファイバデバイスと組み合わされた。実施例で用いられたファイバデバイスは、フェムトコンプ(FemtoComp)(登録商標、以下同)という名称でOFSから商業的に入手可能である。
図15および
図16は、如何にして新しいファイバ(1030nmにおけるD=−164ps/(nm−km)、およびRDS=0.0094nm
−1)をフェムトコンプ(1030nmにおけるD=69ps/(nm−km)、およびRDS=−0.0093nm
−1)と組み合わせることにより、1030nmにおけるRDSが0.0025nm
−1であるグレーティング圧縮器が整合されるかを示す。
【0039】
図15は、新しいファイバ(下側のプロット302)とフェムトコンプファイバデバイス(上側のプロット304)とについて波長の関数として分散がプロットされるグラフ300を示す。
図16は、入射角18°、グレーティングの間隔0.1mで動作する1200ライン/mm圧縮器グレーティングの目標とする分散、−Dのプロット312を含むグラフ310を示す。
図16のグラフはさらに、142メータのフェムトコンプのHOMファイバが続く119メータの新しいファイバを組み合わせることにより得られる分散のプロット314を図解する。
【0040】
代替として、負の分散Dと負のRDSとを有する第二のファイバあるいはファイバデバイスと伸張器ファイバとを組み合わせることによって、伸張器ファイバ単体のRDSよりも低いRDSを持つ伸張器ユニットを組み立てることが可能である。例えば、そのようなファイバの一つは、OFSのクリアライト(ClearLite)(登録商標、以下同)980−14、あるいはコーニングのHI−1060のような標準の低カットオフシングルモードファイバである。
図17および18は、如何にして新しいファイバ(1030nmにおけるD=−164ps/(nm−km)、およびRDS=0.0094nm
−1)をクリアライト980−14(1030nmにおけるD=−44ps/(nm−km)、およびRDS=−0.0041nm
−1)と組み合わせることにより、1030nmにおけるRDSが0.0068nm
−1であるグレーティング圧縮器が整合されるかを示す。
【0041】
図17は、新しいファイバ(下側のプロット322)とクリアライト980−14シングルモードファイバ(上側のプロット324)とについて波長の関数として分散がプロットされるグラフ320を示す。
図18は、入射角30°、グレーティングの間隔0.1mで動作する1200ライン/mm圧縮器グレーティングの目標とする分散、−Dのプロット332を説明するグラフ330を示す。
図18のグラフはさらに、6.5メータのクリアライト980−14ファイバが続く7.8メータの新しいファイバを組み合わせることにより得られる分散のプロット334を図解する。
【0042】
伸張器ファイバをOFSのクリアライト980−14やコーニングのHI−1060のような標準の低カットオフファイバに接合することに起因する接合損失が試験された。これらのファイバは、帯域1000nmから1100nmで動作するファイバレーザに日常的に使われている。開示および図面が参照のためそのすべてがここに引用される米国特許第6,565,269号明細書に述べられている熱的に拡張されたモードフィールド技術を用いて、クリアライト980−14への0.17dBの接合損失が示されている。
【0043】
図19は、本発明の更なる観点による一般的な方法350のフローチャートを示す。ステップ351で、新しいファイバ伸張器が用意される。ステップ352で、少なくともその一つがファイバ伸張器の分散とRDSとは異なる分散とRDSとを有する第二のファイバが用意される。ステップ353で、それぞれの伸張器ファイバと第二のファイバが共に接合されるとき、ファイバ伸張器と第二のファイバとが一体となった総分散および総RDSが選択された圧縮器の分散とRDSとに整合するように、それぞれの伸張器ファイバと第二のファイバの長さが調節される。
【0044】
上に述べられたシステムと技術は、従来の技術を越える数多くの利点を備えるということが認識されよう。グレーティングベースの伸張器と比較して、本発明によるシステムはRDSおよび分散の両方のより正確なコントロールを備える。さらに、ここに述べられるシステムはより小さいサイズ、よりよい安定性、より長い寿命、およびより低いコストという利点を備える。
【0045】
上に述べられたことは当業者が発明を実施することを可能にする詳細を含むが、記述は本質的に例示的なものであり、これらの教えることの恩恵を受ける当業者には多くの修正、および変形が明らかであることが認識されるべきである。したがって、本発明はここに添付される請求の範囲によってのみ規定され、かつ請求の範囲は従来技術によって許容されるかぎり広く解釈されるものであると意図される。