特許5722890モノシランを製造するための設備および方法

発明の名称　モノシランを製造するための設備および方法

出願人　シュミット　シリコン　テクノロジー　ゲゼルシャフト　ミット　ベシュレンクテル　ハフツング　（識別番号 510261201）

　　　　特許公開件数ランキング 30460 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 9069 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5722890

公報発行日　2015年5月27

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5722890

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