特許5725482膜蒸着のための液体流量制御

発明の名称　膜蒸着のための液体流量制御

出願人　エムエスピー　コーポレーション　（識別番号 506286940）

　　　　特許公開件数ランキング 16409 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 13778 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5725482

公報発行日　2015年5月27

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5725482

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