特許5725610スパッタリングターゲット及びその製造方法

発明の名称　スパッタリングターゲット及びその製造方法

出願人　三菱マテリアル株式会社　（識別番号 6264）

　　　　特許公開件数ランキング 359 位（31件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 160 位（56件）（共同出願を含む）

出願人　ソーラーフロンティア株式会社　（識別番号 513009668）

　　　　特許公開件数ランキング 4781 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 11686 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5725610

公報発行日　2015年5月27

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5725610

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