特許 5726512 コンタクト装置、測定システムおよび検査システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5726512

(24)【登録日】2015年4月10日

(45)【発行日】2015年6月3日

(54)【発明の名称】コンタクト装置、測定システムおよび検査システム

(51)【国際特許分類】

   G01R 1/073 20060101AFI20150514BHJP

   G01R 31/02 20060101ALI20150514BHJP

   H05K 3/00 20060101ALI20150514BHJP

【ＦＩ】

   G01R1/073 F

   G01R31/02

   H05K3/00 T

【請求項の数】10

【全頁数】26

(21)【出願番号】特願2010-292101(P2010-292101)

(22)【出願日】2010年12月28日

(65)【公開番号】特開2012-141148(P2012-141148A)

(43)【公開日】2012年7月26日

【審査請求日】2013年11月22日

【前置審査】

(73)【特許権者】

【識別番号】000227180

【氏名又は名称】日置電機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100104787

【弁理士】

【氏名又は名称】酒井 伸司

(72)【発明者】

【氏名】吉池 達悦

(72)【発明者】

【氏名】細谷 和俊

(72)【発明者】

【氏名】柳沢 浩一

【審査官】 續山 浩二

(56)【参考文献】

【文献】 特開平０７−０６３７８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０００−３３８１６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−３３３４５９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０００−２２７４５１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０６−２５８３７４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００１−０３３５１５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭５９−０７５１６３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｒ １／０７３

Ｇ０１Ｒ ３１／０２

Ｈ０５Ｋ ３／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ベース部の一面に複数の接触子が配列された測定用治具と、複数の測定点が規定された測定対象体および前記測定用治具の少なくとも一方を他方に対して移動させる移動機構と、前記各測定点のうちの任意の２つの間についての電気的パラメータを測定する測定装置に対する前記各接触子の接続態様を切り替える接続切替え部と、前記移動機構を制御して前記少なくとも一方を前記他方に対して移動させて前記各測定点のうちの少なくとも一部に対して前記各接触子のうちの一部をコンタクトさせると共に前記接続切替え部を制御して当該一部の接触子のうちのいずれかを前記測定装置に接続させる制御部とを備えたコンタクト装置であって、
前記測定用治具は、複数の接触子が相互に電気的に接続された状態で前記ベース部の一面に第１の向きに沿って配列された接触子列を複数有する接触子群を複数備えて当該各接触子群毎に当該各接触子列が当該第１の向きと交差する第２の向きに沿って並んで配置され、かつ当該各接触子群毎の前記第２の向きが互いに交差するように前記各接触子が配列されると共に、異なる前記各接触子群に属する前記各接触子が前記第１の向きおよび前記第２の向きにおいて交互に並ぶように前記各接触子列が配列され、
前記接続切替え部は、前記各接触子列を前記接続態様の切替え単位として当該各接触子列のうちの任意の２列を前記測定装置に接続可能に構成され、
前記移動機構は、前記測定対象体および前記測定用治具の少なくとも一方を他方に対する接近方向および離間方向に移動させる接離動機構と、前記測定対象体および前記測定用治具の少なくとも一方を他方における当該一方に対する対向面に沿って回転させる回転機構とを備えて構成され、
前記制御部は、前記測定装置が前記電気的パラメータを測定する前記任意の２つの測定点のうちの一方に対して前記各接触子列のうちの１つにおける前記各接触子のうちの少なくとも１個がコンタクトする第１の条件、前記任意の２つの測定点のうちの他方に対して前記各接触子列のうちの他の１つにおける前記各接触子のうちの少なくとも１個がコンタクトする第２の条件、および前記任意の２つの測定点に対して同じ前記接触子列に属する前記接触子がコンタクトしない第３の条件を前記少なくとも一方を前記接近方向に移動させたときにすべて満たす位置関係で前記測定対象体および前記測定用治具が対向するように前記移動機構を制御可能な制御データが予め記録された測定手順データに基づき、前記回転機構を制御して前記少なくとも一方を前記対向面に沿って回転させると共に、前記接離動機構を制御して前記少なくとも一方を前記前記接近方向に移動させ、かつ前記接続切替え部を制御して、前記１つの接触子列における前記各接触子、および前記他の１つの接触子列における前記各接触子を前記測定装置に接続させるコンタクト装置。

【請求項2】

前記移動機構は、前記測定対象体および前記測定用治具の少なくとも一方を他方における当該一方に対する対向面に沿って移動させる平行移動機構を備えて構成されている請求項１記載のコンタクト装置。

【請求項3】

前記測定対象体における一方の面に規定された前記各測定点にコンタクトさせる前記各接触子を有する前記測定用治具としての第１の測定用治具と、前記測定対象体における他方の面に規定された前記各測定点にコンタクトさせる前記各接触子を有する前記測定用治具としての第２の測定用治具と、前記第１の測定用治具および前記測定対象体の少なくとも一方を他方に対して移動させる前記移動機構としての第１の移動機構と、前記第２の測定用治具および前記測定対象体の少なくとも一方を他方に対して移動させる前記移動機構としての第２の移動機構とを備え、
前記第１の移動機構および前記第２の移動機構における前記回転機構は、前記測定対象体に対する前記第１の測定用治具の相対的な回転角と、前記測定対象体に対する前記第２の測定用治具の相対的な回転角とをそれぞれ独立して前記少なくとも一方を前記対向面に沿って回転可能に構成されている請求項１または２記載のコンタクト装置。

【請求項4】

前記測定用治具は、前記各接触端子列が互いに平行となるように前記各接触子が配列されている請求項１から３のいずれかに記載のコンタクト装置。

【請求項5】

前記測定用治具は、前記接触子と、前記測定点に対するコンタクト時に前記接触子を当該測定点に対して付勢する付勢部材とを備えて、前記接触子が前記付勢部材を介して前記ベース部に取り付けられている請求項１から４のいずれかに記載のコンタクト装置。

【請求項6】

前記測定用治具は、前記接触子および前記付勢部材が導電性樹脂材料で一体成形されている請求項５記載のコンタクト装置。

【請求項7】

前記測定用治具は、前記接触子としてのピンプローブが前記ベース部に植設されている請求項１から４のいずれかに記載のコンタクト装置。

【請求項8】

前記測定用治具は、前記ベース部としてのプリント基板を備えて構成され、
前記プリント基板には、前記複数の接触子を相互に電気的に接続するための導体パターンが形成されている請求項１から７のいずれかに記載のコンタクト装置。

【請求項9】

請求項１から８のいずれかに記載のコンタクト装置と、前記測定装置とを備えて、前記測定用治具の前記各接触子を介して前記各測定点のうちの任意の２点間の電気的パラメータを測定可能に構成されている測定システム。

【請求項10】

請求項９記載の測定システムと、前記測定装置によって測定された前記電気的パラメータに基づいて前記測定対象体の良否を検査する検査部とを備えている検査システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、測定用治具に配列された複数の接触子を測定対象体の各測定点にコンタクトさせるコンタクト装置、およびそのコンタクト装置を備えて構成された測定システム、並びに、その測定システムを備えて構成された検査システムに関するものである。

【背景技術】

【0002】

この種のコンタクト装置を備えた測定システムを有する検査システムとして、出願人は、プリント配線基板検査装置（以下、単に「検査装置」ともいう）を特開２００２−１８９０４８号公報において開示している。出願人が開示している検査装置は、上側フィクスチャおよび下側フィクスチャを備えると共に、上側フィクスチャを昇降させる機構、および下側フィクスチャを昇降させる機構（以下、これらを「昇降機構」ともいう）を備えて構成されている。この場合、上側フィクスチャには、被検査基板（以下、「検査対象基板」ともいう）の一方の面（上面）に規定された複数の測定点（検査点）の位置や数に対応して複数のプローブピンが配設されている。また、下側フィクスチャには、検査対象基板の他方の面（下面）に規定された複数の測定点（検査点）の位置や数に対応して複数のプローブピンが配設されている。

【0003】

この検査装置による検査対象基板の検査に際しては、まず、両フィクスチャの間に検査対象基板を配置した状態において、両昇降機構によって両フィクスチャを検査対象基板に向けて昇降させる。この際には、検査対象基板における一方の面（上面）の各測定点に上側フィクスチャの各プローブピンがコンタクトさせられると共に、検査対象基板における他方の面（下面）の各測定点に下側フィクスチャの各プローブピンがコンタクトさせられる。次いで、両フィクスチャの各プローブピンを介して検査対象基板の任意の測定点間の電気的パラメータを順次測定し、その測定結果に基づいて測定点間に短絡や断線が生じているか否かが検査される。なお、出願人が開示している検査装置では、上側フィクスチャに設けられた切欠部を挿通可能に配設された導通部材を備え、検査対象基板の検査に際しては、この導通部材を利用した電気的検査が実施されるが、検査装置の構成および動作原理についての理解を容易とするために、この導通部材に関連する事項についての説明を省略する。

【0004】

一方、特開２００３−２０７５４６号公報には、複数のセンサ要素が相互にシールドされた状態でマトリクス状に等間隔で配置されると共に、検査対象の基板（以下、「検査対象基板」ともいう）に検査信号を供給するための複数のコンタクトプローブ（検査プローブ）が配設されたセンサプローブボードと、任意の検査プローブを発振器に接続するマトリクスボードと、センサプローブボードからの信号に基づいて検査対象基板を電気的に検査するコントローラとを備えた検査システムが開示されている。この場合、上記のセンサプローブボードにおける各センサ要素は、配線パターン、ボンディング用パッドおよびケーブルを介して、上記のコントローラにそれぞれ接続されている。また、上記のマトリクスボードは、各検査プローブにつき１つのアナログスイッチ（または、リレー）を備え、各アナログスイッチの一方の端子がグラインド（アース）に接続されると共に、他方の端子が発振器に接続されている。

【0005】

この検査システムによる検査対象基板の検査に際しては、まず、センサプローブボードの各検査プローブを検査対象基板の配線パターンに接触させると共に各センサ要素を検査対象のパターンに対して対向配置させる。次いで、コントローラがマトリクスボードを制御することにより、任意の検査プローブに接続されているスイッチを接地させると共に、他のスイッチをオープン状態とさせる。これにより、接地されたスイッチに接続されている検査プローブを介して検査対象基板の配線パターンに発振器から検査信号が供給される。次いで、コントローラは、センサプローブボードの各センサ要素からの出力信号を順次Ａ／Ｄ変換してメモリに記憶させた後に、記憶させたデジタルデータを、そのデジタルデータの基となる信号を出力したセンサ要素の位置に応じて配置することで画像データを生成する（画像処理の実行）。これにより、各検査プローブを介して配線パターンに検査信号を供給したことで検査対象のパターンから輻射（放射）された電界の強度分布を特定可能な画像がＣＲＴに表示される。この後、検査対象基板の設計データと、ＣＲＴに表示された画像とに基づき、オペレータによって検査対象基板のパターン（配線パターン）の良否が検査される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２００２−１８９０４８号公報（第３−５頁、第１−５図）

【特許文献2】特開２００３−２０７５４６号公報（第３−１１頁、第１−３３図）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

ところが、出願人が開示している検査装置、および従来の検査システムには、以下の解決すべき課題や問題点が存在する。すなわち、出願人が開示している検査装置では、検査対象基板における各測定点の位置や数に対応して複数のプローブピンを配設した上側フィクスチャおよび下側フィクスチャを使用して検査対象基板を検査する構成（各測定点間の電気的パラメータを測定する構成）が採用されている。したがって、出願人が開示している検査装置では、各測定点の位置や数が相違する検査対象基板を検査する際に、その検査対象基板における各測定点の位置や数に対応して複数のプローブピンを配設した上側フィクスチャおよび下側フィクスチャを別途用意する必要がある。また、出願人が開示している検査装置では、測定点の数と同数のプローブピンを配設すると共に、接続用配線を介してこれらすべてのプローブピンをスキャナ（接続切替え機）に対して個別に接続する必要がある。したがって、測定点の数が多い検査対象基板を検査するには、各プローブピンをスキャナに対して接続するための接続用配線の本数も多数となるため、この接続用配線の配線作業が煩雑となっている。

【0008】

さらに、測定点の数が多い検査対象基板を検査するには、多数のプローブピンを測定回路に対して個別的に接続／切断可能な大型のスキャナ（接続ポートやスイッチ等の数が多数のスキャナ）を搭載する必要がある。このように、出願人が開示している検査装置では、検査対象基板の種類毎に専用のフィクスチャを用意する必要性があり、また、各プローブピンのスキャナに対する配線作業が煩雑であると共に、大型のスキャナを搭載する必要があることから、検査装置の製造コストの低減が困難となっており、これに起因して、検査対象基板の検査に要するコストを低減するのが困難となっている。このため、この点を改善するのが好ましい。

【0009】

一方、従来の検査システムでは、複数のセンサ要素をマトリクス状に等間隔で配置したセンサプローブボードを使用して検査対象基板を検査するための画像データを取得する構成が採用されている。この従来の検査システムでは、種類が異なる検査対象基板毎にセンサプローブボードを用意する必要がないため、この点においては、検査システムの製造コストを低減できる可能性がある。しかしながら、従来の検査システムでは、センサプローブボードにおいて検査対象基板と対向する部位の全域に各センサ要素をマトリクス状に配置しているため、検査対象基板における各測定点の数と同数のピンプローブを配設した（測定点が存在しない部位にはピンプローブを配設していない）上記のフィクスチャにおけるピンプローブの数よりも、そのセンサ要素の数が非常に多くなっている。

【0010】

したがって、従来の検査システムでは、各センサ要素をスキャナ（各センサ要素からの出力信号を順次Ａ／Ｄ変換器等に順次入力するための接続切替え機）に対して接続するための接続用配線の本数も多数となっており、この接続用配線の配線作業が、出願人が開示している検査装置における上記の配線作業よりも一層煩雑となっている。また、従来の検査システムでは、出願人が開示している検査装置のフィクスチャにおけるプローブピンの数よりも多数のセンサ要素をＡ／Ｄ変換器等に対して個別的に接続／切断可能とするために一層大型のスキャナを搭載する必要もある。このように、従来の検査システムでは、出願人が開示している検査装置と比較して、各センサ要素のスキャナに対する配線作業が一層煩雑であると共に、一層大型のスキャナを搭載する必要があることから、検査システムの製造コストを低減するのが困難となっており、これに起因して、検査対象基板の検査に要するコストを低減するのが困難となっているという問題点がある。

【0011】

本発明は、かかる解決すべき課題および問題点に鑑みてなされたものであり、測定や検査に要するコストを十分に低減し得るコンタクト装置、測定システムおよび検査システムを提供することを主目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0012】

上記目的を達成すべく請求項１記載のコンタクト装置は、ベース部の一面に複数の接触子が配列された測定用治具と、複数の測定点が規定された測定対象体および前記測定用治具の少なくとも一方を他方に対して移動させる移動機構と、前記各測定点のうちの任意の２つの間についての電気的パラメータを測定する測定装置に対する前記各接触子の接続態様を切り替える接続切替え部と、前記移動機構を制御して前記少なくとも一方を前記他方に対して移動させて前記各測定点のうちの少なくとも一部に対して前記各接触子のうちの一部をコンタクトさせると共に前記接続切替え部を制御して当該一部の接触子のうちのいずれかを前記測定装置に接続させる制御部とを備えたコンタクト装置であって、前記測定用治具は、複数の接触子が相互に電気的に接続された状態で前記ベース部の一面に第１の向きに沿って配列された接触子列を複数有する接触子群を複数備えて当該各接触子群毎に当該各接触子列が当該第１の向きと交差する第２の向きに沿って並んで配置され、かつ当該各接触子群毎の前記第２の向きが互いに交差するように前記各接触子が配列されると共に、異なる前記各接触子群に属する前記各接触子が前記第１の向きおよび前記第２の向きにおいて交互に並ぶように前記各接触子列が配列され、前記接続切替え部は、前記各接触子列を前記接続態様の切替え単位として当該各接触子列のうちの任意の２列を前記測定装置に接続可能に構成され、前記移動機構は、前記測定対象体および前記測定用治具の少なくとも一方を他方に対する接近方向および離間方向に移動させる接離動機構と、前記測定対象体および前記測定用治具の少なくとも一方を他方における当該一方に対する対向面に沿って回転させる回転機構とを備えて構成され、前記制御部は、前記測定装置が前記電気的パラメータを測定する前記任意の２つの測定点のうちの一方に対して前記各接触子列のうちの１つにおける前記各接触子のうちの少なくとも１個がコンタクトする第１の条件、前記任意の２つの測定点のうちの他方に対して前記各接触子列のうちの他の１つにおける前記各接触子のうちの少なくとも１個がコンタクトする第２の条件、および前記任意の２つの測定点に対して同じ前記接触子列に属する前記接触子がコンタクトしない第３の条件を前記少なくとも一方を前記接近方向に移動させたときにすべて満たす位置関係で前記測定対象体および前記測定用治具が対向するように前記移動機構を制御可能な制御データが予め記録された測定手順データに基づき、前記回転機構を制御して前記少なくとも一方を前記対向面に沿って回転させると共に、前記接離動機構を制御して前記少なくとも一方を前記前記接近方向に移動させ、かつ前記接続切替え部を制御して、前記１つの接触子列における前記各接触子、および前記他の１つの接触子列における前記各接触子を前記測定装置に接続させる。この場合、「所定の向き（第１の向きおよび第２の向き）において交互に並ぶ」との状態には、「所定の向きに沿った直線上において交互に並ぶ」との状態だけでなく、「所定の向きに沿って千鳥足状に交互に並ぶ」との状態がこれに含まれる。

【0013】

請求項２記載のコンタクト装置は、請求項１記載のコンタクト装置において、前記移動機構は、前記測定対象体および前記測定用治具の少なくとも一方を他方における当該一方に対する対向面に沿って移動させる平行移動機構を備えて構成されている。

【0014】

請求項３記載のコンタクト装置は、請求項１または２記載のコンタクト装置において、前記測定対象体における一方の面に規定された前記各測定点にコンタクトさせる前記各接触子を有する前記測定用治具としての第１の測定用治具と、前記測定対象体における他方の面に規定された前記各測定点にコンタクトさせる前記各接触子を有する前記測定用治具としての第２の測定用治具と、前記第１の測定用治具および前記測定対象体の少なくとも一方を他方に対して移動させる前記移動機構としての第１の移動機構と、前記第２の測定用治具および前記測定対象体の少なくとも一方を他方に対して移動させる前記移動機構としての第２の移動機構とを備え、前記第１の移動機構および前記第２の移動機構における前記回転機構は、前記測定対象体に対する前記第１の測定用治具の相対的な回転角と、前記測定対象体に対する前記第２の測定用治具の相対的な回転角とをそれぞれ独立して前記少なくとも一方を前記対向面に沿って回転可能に構成されている。

【0015】

請求項４記載のコンタクト装置は、請求項１から３のいずれかに記載のコンタクト装置において、前記測定用治具は、前記各接触端子列が互いに平行となるように前記各接触子が配列されている。

【0018】

請求項５記載のコンタクト装置は、請求項１から４のいずれかに記載のコンタクト装置において、前記測定用治具は、前記接触子と、前記測定点に対するコンタクト時に前記接触子を当該測定点に対して付勢する付勢部材とを備えて、前記接触子が前記付勢部材を介して前記ベース部に取り付けられている。

【0019】

請求項６記載のコンタクト装置は、請求項５記載のコンタクト装置において、前記測定用治具は、前記接触子および前記付勢部材が導電性樹脂材料で一体成形されている。

【0020】

請求項７記載のコンタクト装置は、請求項１から４のいずれかに記載のコンタクト装置において、前記測定用治具は、前記接触子としてのピンプローブが前記ベース部に植設されている。

【0021】

請求項８記載のコンタクト装置は、請求項１から７のいずれかに記載のコンタクト装置において、前記測定用治具は、前記ベース部としてのプリント基板を備えて構成され、前記プリント基板には、前記複数の接触子を相互に電気的に接続するための導体パターンが形成されている。

【0022】

請求項９記載の測定システムは、請求項１から８のいずれかに記載のコンタクト装置と、前記測定装置とを備えて、前記測定用治具の前記各接触子を介して前記各測定点のうちの任意の２点間の電気的パラメータを測定可能に構成されている。

【0023】

請求項１０記載の検査システムは、請求項９記載の測定システムと、前記測定装置によって測定された前記電気的パラメータに基づいて前記測定対象体の良否を検査する検査部とを備えている。

【発明の効果】

【0024】

請求項１記載のコンタクト装置では、複数の接触子が相互に電気的に接続された状態でベース部の一面に第１の向きに沿って配列された接触子列を複数備えると共に各接触子列が第１の向きと交差する第２の向きに沿って並んで配置された測定用治具を用いる。この際に、測定装置が電気的パラメータを測定する任意の２つの測定点のうちの一方に対して各接触子列のうちの１つにおける各接触子のうちの少なくとも１個がコンタクトする第１の条件、任意の２つの測定点のうちの他方に対して各接触子列のうちの他の１つにおける各接触子のうちの少なくとも１個がコンタクトする第２の条件、および任意の２つの測定点に対して同じ接触子列に属する接触子がコンタクトしない第３の条件を測定対象体および測定用治具の少なくとも一方を他方に対する接近方向に移動させたときにすべて満たす位置関係で測定対象体および測定用治具が対向するように移動機構を制御可能な制御データが予め記録された測定手順データに基づき、制御部が、測定対象体および測定用治具の少なくとも一方を回転機構によって他方における一方に対する対向面に沿って回転させると共に、測定対象体および測定用治具の少なくとも一方を接離動機構によって他方に対する接近方向に移動させ、かつ、１つの接触子列における各接触子、および他の１つの接触子列における各接触子を接続切替え部によって測定装置に接続させる。

【0025】

したがって、請求項１記載のコンタクト装置によれば、移動機構（回転機構）によって測定用治具および測定対象体の少なくとも一方を他方における一方に対向する対向面に沿って回転させることで測定対象体の各測定点に対する各接触子の相対的な位置を容易に変更することができるため、各測定点の規定位置が相違する複数種類の測定対象体に対して測定用治具の各接触子を確実かつ容易にコンタクトさせることができる。このため、種類が相違する測定対象体毎に専用の測定用治具を製造するのと比較して、コンタクト装置の製造コストを低減することができる結果、測定装置による電気的パラメータの測定に要するコストを十分に低減することができる。また、このコンタクト装置によれば、複数の接触子を相互に接続した接触子列毎に接続切替え部に対して接続する構成を採用したことで、各センサ要素を個別的にスキャナに接続する必要がある従来の検査システムと比較して、測定用治具と接続切替え部との間を接続する接続用配線の本数を少数とすることができる結果、配線作業が容易になるだけでなく、接続ポートの数が少ない接続切替え部を採用してコンタクト装置を構成することができるため、これら点においてもコンタクト装置の製造コストを低減することができる結果、測定装置による電気的パラメータの測定に要するコストを十分に低減することができる。
また、このコンタクト装置によれば、複数の接触子列を有する接触子群を複数備えると共に、各接触子群毎の第２の向きが互いに交差するように各接触子を配列させて測定用治具を構成したことにより、１つの接触子群だけを有する測定用治具と比較して、より多くの測定点について「第１の条件」、「第２の条件」および「第３の条件」を満たす位置関係となるように測定用治具および測定対象体を対向させることができるだけでなく、各接触子群毎に各接触子列における各接触子の配列方向（第１の向き）が相違する状態となっているため、各接触子の配列方向における端部において接続切替え部に対する接続用配線を引き出す場合には、この接続用配線の引き出し部の位置が各接触子群毎に大きく離間した状態となる結果、接続用配線の接続作業を一層容易とすることができる。
さらに、このコンタクト装置によれば、異なる各接触子群に属する各接触子が第１の向きおよび第２の向きにおいて交互に並ぶように各接触子列を配列させて測定用治具を構成したことにより、相互に絶縁された状態の「異なる接触子群に属する接触子」が測定用治具の一面における極く狭い領域内に隣接しているため、測定対象体の極く狭い領域内に複数の測定点が存在する場合においても、より多くの測定点に対して「第１の条件」、「第２の条件」および「第３の条件」を満たすように相互に絶縁された状態の各接触子をコンタクトさせることができる。

【0026】

また、請求項２記載のコンタクト装置によれば、測定対象体および測定用治具の少なくとも一方を他方における一方に対する対向面に沿って移動させる平行移動機構を備えて移動機構を構成したことにより、回転機構による回転だけでは「第１の条件」、「第２の条件」および「第３の条件」を満たす位置関係で測定用治具および測定対象体を対向させるのが困難な測定点が存在する場合においても、平行移動機構によって測定対象体および測定用治具の少なくとも一方を対向面に沿って平行移動させることで、より多くの測定点について「第１の条件」、「第２の条件」および「第３の条件」を満たす位置関係となるように測定用治具および測定対象体を対向させることができる。

【0027】

また、請求項３記載のコンタクト装置によれば、測定対象体における一方の面に規定された各測定点にコンタクトさせる各接触子を有する第１の測定用治具および測定対象体の少なくとも一方を他方に対して移動させる第１の移動機構と、測定対象体における他方の面に規定された各測定点にコンタクトさせる各接触子を有する第２の測定用治具および測定対象体の少なくとも一方を他方に対して移動させる第２の移動機構とを備えると共に、測定対象体に対する第１の測定用治具の相対的な回転角と、測定対象体に対する第２の測定用治具の相対的な回転角とをそれぞれ独立して上記の少なくとも一方を他方における対向面に沿って回転可能に両移動機構における回転機構を構成したことにより、一方の面および他方の面において測定点の規定位置が相違する測定対象体に対しても、測定対象体に対する第１の測定用治具の相対的な回転角と、測定対象体に対する第２の測定用治具の相対的な回転角とを互いに相違させるように回転させることができるため、より多くの測定点について「第１の条件」、「第２の条件」および「第３の条件」を満たす位置関係となるように測定用治具および測定対象体を対向させることができる。

【0028】

さらに、請求項４記載のコンタクト装置によれば、各接触端子列が互いに平行となるように各接触子を配列させて測定用治具を構成したことにより、各接触子列が互いに非平行の測定用治具と比較して、測定用治具を容易に設計、製造することができるため、コンタクト装置の製造コストを一層低減することができる結果、測定装置による電気的パラメータの測定に要するコストを一層低減することができる。

【0031】

また、請求項５記載のコンタクト装置によれば、測定点に対するコンタクト時に接触子を測定点に対して付勢する付勢部材を介して接触子をベース部に取り付けて測定用治具を構成したことにより、測定対象体に反りや変形が生じている場合や、高さが相違する測定点に対しても、各測定点に対して各接触子を確実にコンタクトさせることができる。

【0032】

さらに、請求項６記載のコンタクト装置によれば、接触子および付勢部材を導電性樹脂材料で一体成形して測定用治具を構成したことにより、接触子と付勢部材とを別個に形成して一体化させる作業が不要となる分だけ、測定用治具の製造コストを十分に低減することができる。

【0033】

また、請求項７記載のコンタクト装置によれば、接触子としてのピンプローブをベース部に植設して測定用治具を構成したことにより、各接触子が伸縮するため、測定対象体に反りや変形が生じている場合や、高さが相違する測定点に対しても、各測定点に対して各接触子を確実にコンタクトさせることができる。

【0034】

さらに、請求項８記載のコンタクト装置によれば、複数の接触子を相互に電気的に接続するための導体パターンを有するベース部としてのプリント基板を備えて測定用治具を構成したことにより、各接触子列に属する各接触子を、接続用配線を用いて相互に接続する配線作業を不要にできるため、測定用治具の製造コストを一層低減することができる。

【0035】

また、請求項９記載の測定システムによれば、請求項１から８のいずれかに記載のコンタクト装置と、測定装置とを備えて、測定用治具の各接触子を介して各測定点のうちの任意の２点間の電気的パラメータを測定可能に構成したことにより、測定対象体の種類毎に専用の測定用治具を使用する構成と比較して、１つの測定用治具によって種類が相違する各種の測定対象体における測定点に各接触子をコンタクトさせることができるため、電気的パラメータの測定に要するコストを十分に低減することができるだけでなく、種類が相違する測定対象体についての電気的パラメータを測定する都度、測定用治具を交換する作業が不要となるため、複数種類の測定対象体についての電気的パラメータを短時間でしかも容易に測定することができる。

【0036】

また、請求項１０記載の検査システムによれば、請求項９記載の測定システムと、測定装置によって測定された電気的パラメータに基づいて測定対象体の良否を検査する検査部とを備えて構成したことにより、測定対象体の種類毎に専用の測定用治具を使用する構成と比較して、１つの測定用治具によって種類が相違する各種の測定対象体における各測定点に各接触子をコンタクトさせることができるため、測定点の良否の検査に要するコストを十分に低減することができるだけでなく、種類が相違する測定対象体を検査する都度、測定用治具を交換する作業が不要となるため、複数種類の測定対象体（検査対象体）を短時間でしかも容易に検査することができる。

【図面の簡単な説明】

【0037】

【図1】基板検査装置１の構成を示す構成図である。

【図2】測定用治具２０における各接触子Ｐａ１〜Ｐａｊ，Ｐｂ１〜ＰｂＮの配列状態について説明するための平面図である。

【図3】測定用治具２０の断面図である。

【図4】検査対象基板１００の一例について説明するための平面図である。

【図5】検査対象基板１００の各測定点Ｐ１，Ｐ２・・と測定用治具２０における各接触子Ｐａ１〜ＰａＮ，Ｐｂ１〜ＰｂＮとの位置関係について説明するための説明図である。

【図6】図５に示す状態の検査対象基板１００に対して回転中心Ｏを中心として測定用治具２０を矢印Ｂの向きに回転させた状態における各測定点Ｐ１，Ｐ２・・と測定用治具２０における各接触子Ｐａ１〜ＰａＮ，Ｐｂ１〜ＰｂＮとの位置関係について説明するための説明図である。

【図7】図６に示す状態の検査対象基板１００測定点Ｐ９と、接触子列Ｌｂ５の接触子Ｐｂ８，Ｐｂ９および接触子列Ｌａ９の接触子Ｐａ５，Ｐａ６との位置関係について説明するための説明図である。

【図8】図６に示す状態の検査対象基板１００に対して測定用治具２０を矢印Ｃの向きに移動させた状態における各測定点Ｐ１，Ｐ２・・と測定用治具２０における各接触子Ｐａ１〜ＰａＮ，Ｐｂ１〜ＰｂＮとの位置関係について説明するための説明図である。

【図9】測定用治具２０Ａの断面図である。

【図10】測定用治具２０Ｂにおける各接触子ＰＢａ１〜ＰＢａＮ，ＰＢｂ１〜ＰＢｂＮの配列状態について説明するための平面図である。

【図11】測定用治具２０Ｃにおける各接触子群ＧＣａ，ＧＣｂの配置状態について説明するための平面図である。

【図12】測定用治具２０Ｄにおける各接触子群ＧＤａ，ＧＤｂの配置状態について説明するための平面図である。

【図13】測定用治具２０Ｅにおける各接触子群ＧＥａ（ＧＥｂ）の配置状態について説明するための平面図である。

【図14】測定用治具２０Ｆにおける各接触子ＰＦａ，ＰＦａ・・，ＰＦｂ，ＰＦｂ・・，ＰＦｃ，ＰＦｃ・・の配列状態について説明するための平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0038】

以下、コンタクト装置、測定システムおよび検査システムの実施の形態について、添付図面を参照して説明する。

【0039】

最初に、基板検査装置１の構成について、添付図面を参照して説明する。

【0040】

図１に示す基板検査装置１は、「コンタクト装置」を備えて構成された「測定システム」を有する「検査システム」の一例であって、移動機構２ａ，２ｂ、スキャナ３、測定部４、操作部５、データ入出力部６、表示部７、制御部８、記憶部９および測定用治具２０，２０を備えて、検査対象基板１００を電気的に検査可能に構成されている。この場合、この基板検査装置１では、移動機構２ａ，２ｂ、スキャナ３、制御部８および記憶部９が相まって「コンタクト装置」を構成する。また、この基板検査装置１では、上記の「コンタクト装置」を構成している要素と測定部４とが相まって「測定システム」を構成する。さらに、この基板検査装置１では、移動機構２ａに取り付けられている測定用治具２０が「第１の測定用治具」に相当し、移動機構２ｂに取り付けられている測定用治具２０が「第２の測定用治具」に相当する。

【0041】

この場合、測定用治具２０は、図２に示すように、接触子Ｐａ１〜ＰａＮのＮ個（以下、区別しないときには「接触子Ｐａ」ともいう）をＭ列備えると共に、接触子Ｐｂ１〜ＰｂＮのＮ個（以下、区別しないときには「接触子Ｐｂ」ともいう）をＭ列備え（Ｎ，Ｍは、それぞれ２以上の自然数：一例として、「Ｎ＝１０」、「Ｍ＝１０」）、これらがベース基板２１（「ベース部」の一例）の一面に規則的に配列されている。具体的には、測定用治具２０は、Ｎ×Ｍ個の接触子Ｐａからなる接触子群Ｇａ、およびＮ×Ｍ個の接触子Ｐｂからなる接触子群ＧｂのＬ群の接触子群（Ｌは、２以上の自然数：この例では、「Ｌ＝２」）を備えている。なお、図２では、各接触子Ｐａを左下がりの斜線で塗り潰すと共に、各接触子Ｐｂを右下がりの斜線で塗り潰して図示している。

【0042】

接触子群Ｇａは、Ｎ個の接触子Ｐａが導体パターン２２によって相互に電気的に接続された状態でベース基板２１の一面に矢印Ａａの向き（「第１の向き」の一例）に沿って配列されたＭ列の互いに平行な接触子列Ｌａ１〜ＬａＭを備えると共に、この接触子列Ｌａ１〜ＬａＭが矢印Ａａの向きと交差する（この例では、直交する）矢印Ａｂの向き（「第２の向き」の一例）に沿って並んで配置されている。また、接触子群Ｇｂは、Ｎ個の接触子Ｐｂが導体パターン２２によって相互に電気的に接続された状態でベース基板２１の一面に矢印Ａｂの向き（「第１の向き」の一例）に沿って配列されたＭ列の互いに平行な接触子列Ｌｂ１〜ＬｂＭを備えると共に、この接触子列Ｌｂ１〜ＬｂＭが矢印Ａｂの向きと交差する（この例では、直交する）矢印Ａａの向き（「第２の向き」の一例）に沿って並んで配置されている（「各接触子群毎の第２の方向が互いに交差するように各接触子が配列されている」との構成の一例）。

【0043】

また、この測定用治具２０では、上記の接触子群Ｇａに属する接触子列Ｌａ１〜ＬａＭ（以下、区別しないときには「接触子列Ｌａ」ともいう）の各接触子Ｐａと、接触子群Ｇｂに属する接触子列Ｌｂ１〜ＬｂＭ（以下、区別しないときには「接触子列Ｌｂ」ともいう）の各接触子Ｐｂとが矢印Ａａの方向および矢印Ａｂの方向において交互に並ぶように各接触子列Ｌａ，Ｌｂがベース基板２１の一方の面に配列されている（「異なる各接触子群に属する各接触子が交互に並ぶように各接触子が配列されている」との構成の一例）。この場合、この測定用治具２０では、各接触子列Ｌａ同士が相互に絶縁されると共に、各接触子列Ｌｂ同士が相互に絶縁されている。また、この測定用治具２０では、接触子群Ｇａに属する各接触子列Ｌａと接触子群Ｇｂに属する各接触子列Ｌｂとが相互に絶縁されている。したがって、各接触子列Ｌａの各接触子Ｐａと各接触子列Ｌｂの各接触子Ｐｂとが相互に絶縁されている。

【0044】

さらに、この測定用治具２０では、図３に示すように、一例として、多層基板（「プリント基板」の一例）によってベース基板２１が構成されている。この場合、このベース基板２１における導体パターン２２の一端部には、各接触子Ｐａ，Ｐｂを取り付けるための取付用パッド２２ａが形成され、導体パターン２２の他端部には、各導体パターン２２（各接触子Ｐａ，Ｐｂ）をスキャナ３に接続するための接続用配線を接続するための接続用パッド２２ｂが形成されている。

【0045】

また、この測定用治具２０では、ベース基板２１に取り付けるための基部３１と、基部３１と相まって「付勢部材」を構成する弾性変形部３２と、「接触子」に相当する接触子本体３３とが導電性樹脂材料で一体成形されて各接触子Ｐａ，Ｐｂが構成されている。この場合、各接触子Ｐａ，Ｐｂは、一例として、上記のベース基板２１における導体パターン２２の各取付用パッド２２ａに対して基部３１が導電性接着剤で接着されて取り付けられている（「接触子が付勢部材を介してベース部に取り付けられている」との構成の一例）。

【0046】

一方、移動機構２ａは、「第１の移動機構」に相当し、図１に示すように、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構１１ａおよび回転機構１２ａを備えて構成されている。また、移動機構２ｂは、「第２の移動機構」に相当し、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構１１ｂおよび回転機構１２ｂを備えて構成されている。なお、以下の説明において移動機構２ａ，２ｂを区別しないときには移動機構２といい、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構１１ａ，１１ｂを区別しないときにはＸ−Ｙ−Ｚ移動機構１１といい、回転機構１２ａ，１２ｂを区別しないときには回転機構１２という。

【0047】

Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構１１は、「接離動機構」および「平行移動機構」に相当し、後述するようにして、制御部８からの制御信号Ｓ１１ａ，Ｓ１１ｂ（以下、区別しないときには「制御信号Ｓ１１」ともいう）に従い、回転機構１２に取り付けられている測定用治具２０を、検査位置に保持されている検査対象基板１００に対する接近方向および離間方向（Ｚ方向）に移動させる（接離させる）と共に、測定用治具２０を検査対象基板１００の表面（「他方における一方に対する対向面」の一例）に沿って平行移動（Ｘ方向およびＹ方向に移動）させる（「測定対象体および測定用治具の少なくとも一方」が「測定用治具」の構成の例）。

【0048】

回転機構１２は、制御部８からの制御信号Ｓ１２ａ，Ｓ１２ｂ（以下、区別しないときには「制御信号Ｓ１２」ともいう）に従い、検査位置に保持されている検査対象基板１００の表面（「他方における一方に対する対向面」の一例）に沿って測定用治具２０を回転させる（「測定対象体および測定用治具の少なくとも一方」が「測定用治具」の構成の例）。この場合、この基板検査装置１では、「第１の移動機構」に相当する移動機構２ａにおける回転機構１２ａの検査対象基板１００に対する測定用治具２０の相対的な回転角と、「第２の移動機構」に相当する移動機構２ｂにおける回転機構１２ｂの検査対象基板１００に対する測定用治具２０の相対的な回転角とをそれぞれ独立して両測定用治具２０を検査対象基板１００の表面に沿って回転可能に構成されている。

【0049】

スキャナ３は、「接続切替え部」に相当し、制御部８からの制御信号Ｓ３に従い、両測定用治具２０における各接触子Ｐａ，Ｐｂの測定部４に対する接続態様を切り替える。この場合、この基板検査装置１では、前述したように、１つの接触子列Ｌａに属する各接触子Ｐａが導体パターン２２によって相互に接続されると共に、１つの接触子列Ｌｂに属する各接触子Ｐｂが導体パターン２２によって相互に接続されて測定用治具２０が構成されている。したがって、この基板検査装置１では、スキャナ３が、両測定用治具２０における上記の各接触子列Ｌａ，Ｌｂを「接続態様の切替え単位」として各接触子列Ｌａ，Ｌｂのうちの任意の２列を測定部４に接続する（「接続態様を切り替える」との処理の一例）。

【0050】

測定部４は、制御部８からの制御信号Ｓ４に従い、スキャナ３によって接続された接触子列Ｌａ，Ｌｂに属する接触子Ｐａ，Ｐｂを介して、検査対象基板１００における一対の測定点間の電気的パラメータ（電圧値、電流値、抵抗値および容量値等）を測定して測定結果データＤｓを出力する。操作部５は、複数の操作スイッチ（図示せず）を備え、スイッチ操作に応じた操作信号を制御部８に出力する。データ入出力部６は、一例として、ＵＳＢ接続用コネクタを備えて構成され、各種データが記録された記憶装置（ＵＳＢメモリ等）を接続可能に構成されている。なお、ＵＳＢ接続用コネクタに代えて、各種メモリカードを装着可能なメモリカードスロットを設けたり、ＣＤ，ＤＶＤ等の光ディスクや、ＭＯ等の光磁気ディスクから各種データを読み出し可能なドライブ装置を配設したりしてデータ入出力部６を構成することもできる。表示部７は、制御部８の制御に従って検査結果等を表示する。

【0051】

制御部８は、基板検査装置１を総括的に制御する。具体的には、制御部８は、データ入出力部６に接続された記憶装置から測定手順データＤ１および検査用基準データＤ２等を読み出して記憶部９に記憶させる。また、制御部８は、移動機構２のＸ−Ｙ−Ｚ移動機構１１や回転機構１２に制御信号Ｓ１１，Ｓ１２を出力して測定用治具２０を検査対象基板１００に対して移動させる。さらに、制御部８は、スキャナ３に対して制御信号Ｓ３を出力して、測定部４に電気的パラメータを測定させるべき測定点にコンタクトされている接触子Ｐａ，Ｐｂの接触子列Ｌａ，Ｌｂを測定部４に接続させる（「接続態様」を切り替えさせる）。また、制御部８は、測定部４に対して制御信号Ｓ４を出力して電気的パラメータを測定させる。さらに、制御部８は、「検査部」として機能して、測定部４から出力された測定結果データＤｓおよび検査用基準データＤ２に基づき、その測定結果データＤｓを取得した測定点の良否を検査すると共に、その検査結果を表示部７に表示させる。

【0052】

記憶部９は、測定手順データＤ１および検査用基準データＤ２や、制御部８の動作プログラムなどを記憶する。この場合、測定手順データＤ１は、一例として、パーソナルコンピュータ等の外部装置において生成されて、ＵＳＢメモリ等の記憶装置を介して基板検査装置１に供給される。また、検査用基準データＤ２は、上記の測定手順データＤ１と共にＵＳＢメモリ等の記憶装置を介して基板検査装置１に供給される。

【0053】

次に、基板検査装置１による検査対象基板１００の検査方法について、添付図面を参照して説明する。なお、測定手順データＤ１や検査用基準データＤ２については、既に記憶部９に記憶されているものとする。

【0054】

基板検査装置１による検査対象基板１００の検査に際しては、図１に示すように、まず、移動機構２ａ，２ｂに測定用治具２０をそれぞれ取り付けて各接触子列Ｌａ，Ｌｂをスキャナ３にそれぞれ接続する。この際には、従来の検査システムと比較して、スキャナ３に接続すべき接続用配線（ケーブル）の本数が少数本のため、短時間でしかも容易に接続作業が完了する。次いで、検査対象基板１００を図示しない保持具によって保持して両測定用治具２０，２０の間にセットした後に、操作部５の検査開始スイッチを操作する。この場合、図４に示すように、検査対象基板１００には、複数の導体パターンが形成されると共に、一例として、各導体パターンの良否を検査するための複数の測定点（検査点）Ｐ１〜Ｐ１０の１０箇所が規定されている。

【0055】

なお、基板検査装置１の構成および動作原理についての理解を容易とするために、測定点Ｐ１〜Ｐ１０の１０箇所（以下、区別しないときには「測定点Ｐ」ともいう）が一方の面に規定された検査対象基板１００を対象とし、主として、この一方の面の測定点Ｐ１〜Ｐ１０に関する検査を実行する例について説明するが、実際には、一方の面および他方の面（図示せず）の双方に数百から数千箇所の測定点Ｐが規定された検査対象基板１００を対象とする検査処理が実行される。また、検査対象基板１００における各導体パターンの上記の測定点Ｐ以外の部位については、絶縁膜によって覆われているものとする。

【0056】

この場合、検査開始にあたって、両測定用治具２０，２０間に検査対象基板１００をセットした状態においては、図５に示すように、例えば、測定点Ｐ１に対して検査対象基板１００の厚み方向で重なる位置に測定用治具２０における接触子列Ｌａ２の接触子Ｐａ３が位置しているため、この状態において測定用治具２０を検査対象基板１００に接近させることで、接触子列Ｌａ２の接触子Ｐａ３を測定点Ｐ１にコンタクトさせることができる。しかしながら、この状態において接触子列Ｌａ２の接触子Ｐａ３を測定点Ｐ１にコンタクトさせた場合には、導体パターン２２によって測定点Ｐ１に対して接続されている測定点Ｐ２に接触子列Ｌａ２の接触子Ｐａ５がコンタクトさせられる。

【0057】

この場合、接触子列Ｌａ２の接触子Ｐａ３，Ｐａ５は、接触子列Ｌａ２の他の接触子Ｐａと共に導体パターン２２によって相互に接続されている。したがって、この状態においては、接触子列Ｌａ２の接触子Ｐａ３，Ｐａ５を利用して測定点Ｐ１，Ｐ２の間についての電気的パラメータを測定することができないだけでなく、この測定点Ｐ１，Ｐ２には、接触子列Ｌａ２以外の接触子列Ｌａの接触子Ｐａや接触子列Ｌｂの接触子Ｐｂ（接触子列Ｌａ２の接触子Ｐａ３，Ｐａ５とは電気的に接続されていない接触子Ｐａ，Ｐｂ）がコンタクトしないため、測定点Ｐ１，Ｐ２の間についての電気的パラメータを測定することができなくなっている。

【0058】

また、仮に、測定点Ｐ１，Ｐ２のいずれかに接触子列Ｌａ２以外の接触子列Ｌａの接触子Ｐａ、または、接触子列Ｌｂの接触子Ｐｂがコンタクトされる状態（接触子列Ｌａ２の接触子Ｐａ３，Ｐａ５とは電気的に接続されていない接触子Ｐａ，Ｐｂがコンタクトされる状態）であったとしても、接触子列Ｌａ２の接触子Ｐａ３，Ｐａ５を測定点Ｐ１，Ｐ２にコンタクトさせた際には、この接触子列Ｌａ２の接触子Ｐａ３，Ｐａ５および導体パターン２２を介して測定点Ｐ１，Ｐ２が電気的に接続される。このため、測定点Ｐ１，Ｐ２の間についての電気的パラメータを正しく測定することができず、この測定点Ｐ１，Ｐ２の間の導体パターンに断線が生じていたとしても正常であると誤って検査される。

【0059】

また、上記の状態においては、相互に絶縁されているべき測定点Ｐ６，Ｐ９に対して厚み方向で重なる位置に、接触子列Ｌａ７の接触子Ｐａ４、および接触子列Ｌａ９の接触子Ｐａ４が位置している。しかしながら、接触子列Ｌａ７の接触子Ｐａ４と接触子列Ｌａ９の接触子Ｐａ４を測定点Ｐ６，Ｐ９にコンタクトさせた場合には、接触子列Ｌｂ４の接触子Ｐｂ７，Ｐｂ８が測定点Ｐ６，Ｐ９にそれぞれコンタクトさせられる。この場合、接触子列Ｌｂ４の接触子Ｐｂ７，Ｐｂ８が導体パターン２２によって相互に接続されているため、測定点Ｐ６，Ｐ９が正常に絶縁されていたとしても、接触子列Ｌｂ４の接触子Ｐｂ７，Ｐｂ８および導体パターン２２を介して測定点Ｐ６，Ｐ９が短絡された状態となる。このため、測定点Ｐ６，Ｐ９の間についての電気的パラメータを正しく測定することができず、測定点Ｐ６，Ｐ９間に短絡が生じていると誤って検査される。

【0060】

したがって、制御部８は、測定手順データＤ１に基づき、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構１１が測定用治具２０を検査対象基板１００に対する接近方向に移動させたときに、「測定部４が電気的パラメータを測定する任意の２つの測定点のうちの一方（例えば、測定点Ｐ１や測定点Ｐ６）に対して各接触子列Ｌａ，Ｌｂのうちの１つにおける各接触子Ｐａ，Ｐｂのうちの少なくとも１個がコンタクトする」との第１の条件、「測定部４が電気的パラメータを測定する任意の２つの測定点のうちの他方（例えば、測定点Ｐ２や測定点Ｐ９）に対して各接触子列Ｌａ，Ｌｂのうちの他の１つにおける各接触子Ｐａ，Ｐｂのうちの少なくとも１個がコンタクトする」との第２の条件、および「測定部４が電気的パラメータを測定する任意の２つの測定点（例えば、測定点Ｐ１，Ｐ２や測定点Ｐ６，Ｐ９）に対して同じ接触子列Ｌａ，Ｌｂに属する接触子Ｐａ，Ｐｂがコンタクトしない」との第３の条件のすべて満たす位置関係で検査対象基板１００および測定用治具２０が対向するように、回転機構１２に制御信号Ｓ１２を出力して、検査対象基板１００の表面に沿って測定用治具２０を回転させる。なお、測定手順データＤ１には、上記の３つの条件を満たす位置関係となるように移動機構２（回転機構１２）を制御する制御データが記録されている。

【0061】

具体的には、制御部８は、一例として、まず、回転機構１２に対して制御信号Ｓ１２を出力することにより、図６に示すように、回転中心Ｏ（一例として、測定用治具２０の中心）を中心として、検査対象基板１００の表面に沿って測定用治具２０を矢印Ｂの向きに回転させる。次いで、制御部８は、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構１１に対して制御信号Ｓ１１を出力することにより、図８に示すように、検査対象基板１００の表面に沿って測定用治具２０を矢印Ｃの向きに移動させる。続いて、制御部８は、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構１１に対して制御信号Ｓ１１を出力することにより、検査対象基板１００に対する接近方向に測定用治具２０を移動させて、測定用治具２０の各接触子Ｐａ，Ｐｂのうちの一部を測定点Ｐ１〜Ｐ１０にそれぞれコンタクトさせる（「複数の測定点のうちの少なくとも一部」が「複数の測定点のすべて」の例）。

【0062】

この場合、図６に示すように、回転機構１２によって測定用治具２０を検査対象基板１００の表面に沿って回転させた状態においては、測定点Ｐ１に対して検査対象基板１００の厚み方向で重なる位置に接触子列Ｌｂ１の接触子Ｐｂ３が位置すると共に、測定点Ｐ２に対して検査対象基板１００の厚み方向で重なる位置に接触子列Ｌｂ３の接触子Ｐｂ２が位置した状態となり、かつ、測定点Ｐ１，Ｐ２に対してコンタクト可能な位置には、接触子列Ｌｂ１の接触子Ｐｂ３および接触子列Ｌｂ３の接触子Ｐｂ２以外の接触子Ｐａ，Ｐｂが存在しない状態となる。したがって、この状態において検査対象基板１００に対する接近方向に測定用治具２０を移動させることで、接触子列Ｌｂ１の接触子Ｐｂ３、および接触子列Ｌｂ３の接触子Ｐｂ２を測定点Ｐ１，Ｐ２にそれぞれコンタクトさせて測定点Ｐ１，Ｐ２の間についての電気的パラメータを測定することができる。しかしながら、図７に示すように、この状態では、検査対象基板１００の測定点Ｐ９に対して検査対象基板１００の厚み方向で重なる位置に、いずれの測定点Ｐａ，Ｐｂも位置していない。このため、測定点Ｐ９にコンタクトさせ得る接触子Ｐａ，Ｐｂが存在せず、測定点Ｐ９，Ｐ１０の間の電気的パラメータを測定することができなくなっている。

【0063】

これに対して、図８に示すように、回転機構１２による回転の後にＸ−Ｙ−Ｚ移動機構１１によって測定用治具２０を検査対象基板１００の表面に沿って矢印Ｃの向きに移動させた状態においては、測定点Ｐ１に対して検査対象基板１００の厚み方向で重なる位置に接触子列Ｌａ４の接触子Ｐａ２が位置し、測定点Ｐ２に対して厚み方向で重なる位置に接触子列Ｌａ３の接触子Ｐａ４が位置し、測定点Ｐ３に対して厚み方向で重なる位置に接触子列Ｌｂ４の接触子Ｐｂ４が位置し、測定点Ｐ４に対して厚み方向で重なる位置に接触子列Ｌｂ２の接触子Ｐｂ６が位置し、測定点Ｐ５に対して厚み方向で重なる位置に接触子列Ｌａ５の接触子Ｐａ６が位置し、測定点Ｐ６に対して厚み方向で重なる位置に接触子列Ｌａ８の接触子Ｐａ５が位置し、測定点Ｐ７に対して厚み方向で重なる位置に接触子列Ｌｂ６の接触子Ｐｂ３が位置し、測定点Ｐ８に対して厚み方向で重なる位置に接触子列Ｌｂ７の接触子Ｐｂ６が位置し、測定点Ｐ９に対して厚み方向で重なる位置に接触子列Ｌｂ５の接触子Ｐｂ９が位置し、測定点Ｐ１０に対して厚み方向で重なる位置に接触子列Ｌｂ１０の接触子Ｐｂ７が位置した状態となる（前述した「第１の条件」および「第２の条件」が満たされた位置関係の一例）。

【0064】

また、図８に示す状態では、相互に接続されている測定点Ｐ１〜Ｐ３に対して厚み方向で重なる位置に１つの接触子列Ｌａに属する複数の接触子Ｐａや１つの接触子列Ｌｂに属する複数の接触子Ｐｂが位置することがなく、相互に接続されている測定点Ｐ４〜Ｐ６に対して厚み方向で重なる位置に１つの接触子列Ｌａに属する複数の接触子Ｐａや１つの接触子列Ｌｂに属する複数の接触子Ｐｂが位置することがなく、相互に接続されている測定点Ｐ７，Ｐ８に対して厚み方向で重なる位置に１つの接触子列Ｌａに属する複数の接触子Ｐａや１つの接触子列Ｌｂに属する複数の接触子Ｐｂが位置することがなく、相互に接続されている測定点Ｐ９，Ｐ１０に対して厚み方向で重なる位置に１つの接触子列Ｌａに属する複数の接触子Ｐａや１つの接触子列Ｌｂに属する複数の接触子Ｐｂが位置することがない状態となっている（前述した「第３の条件」が満たされた位置関係の一例）。

【0065】

したがって、図８に示す状態の測定用治具２０を検査対象基板１００に対する接近方向に移動させることにより、測定部４によって電気的パラメータを測定すべき測定点Ｐ，Ｐに同一の接触子列Ｌａ，Ｌｂに属する接触子Ｐａ，Ｐｂ（導体パターン２２によって相互に電気的に接続された接触子Ｐａ，Ｐａ、または、導体パターン２２によって相互に電気的に接続された接触子Ｐｂ，Ｐｂ）がコンタクトすることなく、かつ、各測定点Ｐに対して各接触子列Ｌａ，Ｌｂのうちのいずれかに属する接触子Ｐａ，Ｐｂの少なくとも１つがコンタクトさせられる。この場合、制御部８が移動機構２（Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構１１および回転機構１２）を制御するための測定手順データＤ１は、移動機構２による測定用治具２０の１回のコンタクト動作（測定用治具２０の回転、平行移動および接近方向への移動）によって、できるだけ多くの測定点Ｐに対して上記の「第１の条件」、「第２の条件」および「第３の条件」を満たした状態で接触子Ｐａ，Ｐｂがコンタクトするように生成されている。

【0066】

なお、実際には、検査対象基板１００の一方の面だけでなく、他方の面に対しても、移動機構２ｂ（Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構１１ｂおよび回転機構１２ｂ）によって測定用治具２０が移動させられて、一方の面に対する上記の測定用治具２０における各接触子Ｐａ，Ｐｂのコンタクトと同様に、他方の面側の測定用治具２０における各接触子Ｐａ，Ｐｂがコンタクトさせられる。この際に、この基板検査装置１では、移動機構２ａのＸ−Ｙ−Ｚ移動機構１１ａおよび回転機構１２ａと、移動機構２ｂのＸ−Ｙ−Ｚ移動機構１１ｂおよび回転機構１２ｂとが、各測定用治具２０，２０を別個独立して移動させることができるように構成されている。したがって、検査対象基板１００の一方の面および他方の面において各測定点Ｐの位置が相違する場合においても、測定点Ｐの配置に応じて、検査対象基板１００に対する測定用治具２０の相対的な回転角、回転方向、移動量および移動方向を異ならせることで、測定部４によって電気的パラメータを測定すべき測定点Ｐ，Ｐに同一の接触子列Ｌａ，Ｌｂに属する接触子Ｐａ，Ｐｂがコンタクトすることなく、かつ、各測定点Ｐに対して各接触子列Ｌａ，Ｌｂのうちのいずれかに属する接触子Ｐａ，Ｐｂの少なくとも１つがコンタクトさせられる。

【0067】

続いて、制御部８は、スキャナ３に対して制御信号Ｓ３を出力することにより、電気的パラメータを測定すべき測定点Ｐ，Ｐ（例えば、測定点Ｐ１，Ｐ２）に接触子Ｐａまたは接触子Ｐｂがコンタクトさせられている接触子列Ｌａまたは接触子列Ｌｂ（この例では、接触子列Ｌａ４，Ｌａ３）を測定部４に接続させた後に、測定部４に対して制御信号Ｓ４を出力することにより、その測定点Ｐ，Ｐの間の電気的パラメータを測定させる。また、制御部８は、測定部４から出力される測定結果データＤｓ、および記憶部９に記憶されている検査用基準データＤ２に基づき、測定点Ｐ，Ｐの間に、断線または短絡（この例では、断線）が生じているかを検査して、その検査結果を表示部７に表示させる。さらに、制御部８は、他の測定点Ｐ，Ｐ（例えば、測定点Ｐ６，Ｐ９）に接触子Ｐａまたは接触子Ｐｂがコンタクトさせられている接触子列Ｌａまたは接触子列Ｌｂ（この例では、接触子列Ｌａ８，Ｌｂ５）を測定部４に接続させた後に、測定部４に対して制御信号Ｓ４を出力することにより、その測定点Ｐ，Ｐの間の電気的パラメータを測定させる。また、制御部８は、測定部４から出力される測定結果データＤｓ、および記憶部９に記憶されている検査用基準データＤ２に基づき、測定点Ｐ，Ｐの間に、断線または短絡（この例では、短絡）が生じているかを検査して、その検査結果を表示部７に表示させる。

【0068】

なお、上記の例では、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構１１や回転機構１２による測定用治具２０の移動によって、測定部４によって電気的パラメータを測定すべき測定点Ｐ，Ｐに同一の接触子列Ｌａ，Ｌｂに属する接触子Ｐａ，Ｐｂがコンタクトせず、かつ、各測定点Ｐ１〜Ｐ１０のすべてに対して少なくとも１つの接触子Ｐａ，Ｐｂをコンタクトさせることができているが、測定部４によって電気的パラメータを測定すべきいずれかの測定点Ｐ，Ｐに同一の接触子列Ｌａ，Ｌｂに属する接触子Ｐａ，Ｐｂがコンタクトする場合（「第３の条件」が満たされない測定点Ｐが存在する場合）や、各測定点Ｐ１〜Ｐ１０のいずれかに対して少なくとも１つの接触子Ｐａ，Ｐｂをコンタクトさせることができない場合（「第１の条件」および「第２の条件」が満たされない測定点Ｐが存在する場合）には、制御部８が、測定手順データＤ１に従い、検査対象基板１００に対する測定用治具２０の相対的な回転角や、ベース基板２１に沿った移動量を変更して複数回に分けて上記の一連の処理を実行する。これにより、検査対象基板１００の良否が検査される。

【0069】

このように、この基板検査装置１では、複数の接触子Ｐａ，Ｐｂが相互に電気的に接続された状態でベース基板２１の一面に第１の向きに沿って配列された接触子列Ｌａ，Ｌｂを複数備えると共に各接触子列Ｌａ，Ｌｂが第１の向き（図２に示す矢印Ａａの向き）と交差する第２の向き（図２に示す矢印Ａｂの向き）に沿って並んで配置された測定用治具２０を用いる。この際に、測定部４が電気的パラメータを測定する任意の２つの測定点Ｐ，Ｐのうちの一方に対して各接触子列Ｌａ，Ｌｂのうちの１つにおける各接触子Ｐａ，Ｐｂのうちの少なくとも１個がコンタクトする第１の条件、その任意の２つの測定点Ｐ，Ｐのうちの他方に対して各接触子列Ｌａ，Ｌｂのうちの他の１つにおける各接触子Ｐａ，Ｐｂのうちの少なくとも１個がコンタクトする第２の条件、およびその任意の２つの測定点Ｐ，Ｐに対して同じ接触子列Ｌａ，Ｌｂに属する接触子Ｐａ，Ｐｂがコンタクトしない第３の条件を、測定用治具２０を検査対象基板１００に対する接近方向に移動させたときにすべて満たす位置関係で検査対象基板１００および測定用治具２０が対向するように測定用治具２０を回転機構１２によって検査対象基板１００における測定用治具２０に対する対向面に沿って回転させると共に、「接離動機構」としてのＸ−Ｙ−Ｚ移動機構１１によって測定用治具２０を検査対象基板１００に対する接近方向に移動させ、かつ、１つの接触子列Ｌａ，Ｌｂにおける各接触子Ｐａ，Ｐｂ、および他の１つの接触子列Ｌａ，Ｌｂにおける各接触子Ｐａ，Ｐｂをスキャナ３によって測定部４に接続させる。

【0070】

したがって、この基板検査装置１によれば、移動機構２（回転機構１２）によって測定用治具２０を検査対象基板１００の表面に沿って回転させることで検査対象基板１００の各測定点Ｐに対する接触子Ｐａ，Ｐｂの相対的な位置を容易に変更することができるため、各測定点Ｐの規定位置が相違する複数種類の検査対象基板（検査対象基板１００等）に対して測定用治具２０の各接触子Ｐａ，Ｐｂを確実かつ容易にコンタクトさせることができる。このため、種類が相違する検査対象基板（測定対象体）毎に専用の測定用治具を製造するのと比較して、基板検査装置１の製造コストを低減することができる結果、その検査（測定）に要するコストを十分に低減することができる。また、この基板検査装置１によれば、複数の接触子Ｐａを導体パターン２２によって相互に接続した接触子列Ｌａ、および複数の接触子Ｐｂを導体パターン２２によって相互に接続した接触子列Ｌｂ毎にスキャナ３に対して接続する構成を採用したことで、各センサ要素を個別的にスキャナに接続する必要がある従来の検査システムと比較して、測定用治具２０とスキャナ３との間を接続する接続用配線の本数を少数とすることができる結果、配線作業が容易になるだけでなく、接続ポートの数が少ないスキャナ３を採用して基板検査装置１を構成することができるため、これら点においても基板検査装置１の製造コストを低減することができる結果、検査（測定）に要するコストを十分に低減することができる。

【0071】

また、この基板検査装置１によれば、測定用治具２０を検査対象基板１００における測定用治具２０に対する対向面に沿って移動させる「平行移動機構」としてのＸ−Ｙ−Ｚ移動機構１１を備えて移動機構２ａ，２ｂを構成したことにより、回転機構１２による回転だけでは「第１の条件」、「第２の条件」および「第３の条件」を満たす位置関係で測定用治具２０および検査対象基板１００を対向させるのが困難な測定点Ｐが存在する場合においても、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構１１によって測定用治具２０を検査対象基板１００の表面に沿って平行移動させることで、より多くの測定点Ｐについて「第１の条件」、「第２の条件」および「第３の条件」を満たす位置関係となるように測定用治具２０および検査対象基板１００を対向させることができる。

【0072】

さらに、この基板検査装置１では、検査対象基板１００における一方の面に規定された各測定点Ｐにコンタクトさせる各接触子Ｐａ，Ｐｂを有する「第１の測定用治具」としての測定用治具２０および検査対象基板１００の少なくとも一方（この例では、測定用治具２０）を他方（この例では、検査対象基板１００）に対して移動させる「第１の移動機構」としての移動機構２ａと、検査対象基板１００における他方の面に規定された各測定点Ｐにコンタクトさせる各接触子Ｐａ，Ｐｂを有する「第２の測定用治具」としての測定用治具２０および検査対象基板１００の少なくとも一方（この例では、測定用治具２０）を他方（この例では、検査対象基板１００）に対して移動させる「第２の移動機構」としての移動機構２ｂとを備えると共に、検査対象基板１００に対する第１の測定用治具としての測定用治具２０の相対的な回転角と、検査対象基板１００に対する第２の測定用治具としての測定用治具２０の相対的な回転角とをそれぞれ独立して少なくとも一方を他方における対向面に沿って回転可能に両移動機構２ａ，２ｂにおける回転機構１２ａ，１２ｂが構成されている。

【0073】

したがって、この基板検査装置１によれば、一方の面および他方の面において測定点Ｐの規定位置が相違する検査対象基板１００に対しても、検査対象基板１００に対する「第１の測定用治具」としての測定用治具２０の相対的な回転角と、検査対象基板１００に対する「第２の測定用治具」としての測定用治具２０の相対的な回転角とを互いに相違させるように回転させることができるため、より多くの測定点Ｐについて「第１の条件」、「第２の条件」および「第３の条件」を満たす位置関係となるように測定用治具２０および検査対象基板１００を対向させることができる。

【0074】

また、この基板検査装置１によれば、各接触端子列Ｌａが互いに平行となるように各接触子Ｐａを配列させると共に、各接触端子列Ｌｂが互いに平行となるように各接触子Ｐｂを配列させて測定用治具２０を構成したことにより、「各接触子列」が互いに非平行の「測定用治具」と比較して、測定用治具２０を容易に設計、製造することができるため、基板検査装置１の製造コストを一層低減することができる結果、検査（測定）に要するコストを一層低減することができる。

【0075】

さらに、この基板検査装置１によれば、複数の接触子列Ｌａを有する接触子群Ｇａ、および複数の接触子列Ｌｂを有する接触子群Ｇｂの２群を備えると共に、各接触子群Ｇａ，Ｇｂ毎の「第２の向き」が互いに交差するように各接触子Ｐａ，Ｐｂを配列させて測定用治具２０を構成したことにより、１つの「接触子群」だけを有する「測定用治具」と比較して、より多くの測定点Ｐについて「第１の条件」、「第２の条件」および「第３の条件」を満たす位置関係となるように測定用治具２０および検査対象基板１００を対向させることができるだけでなく、両接触子群Ｇａ，Ｇｂ毎に各接触子列Ｌａ，Ｌｂにおける各接触子Ｐａ，Ｐｂの配列方向（第１の向き）が相違する状態となっているため、各接触子Ｐａ，Ｐｂの配列方向における端部においてスキャナ３に対する接続用配線を引き出す場合には、この接続用配線の引き出し部の位置が両接触子群Ｇａ，Ｇｂ毎に大きく離間した状態となる結果、接続用配線の接続作業を一層容易とすることができる。

【0076】

また、この基板検査装置１によれば、異なる各接触子群Ｇａ，Ｇｂに属する各接触子Ｐａ，Ｐｂが「第１の向き」および「第２の向き」において交互に並ぶように各接触子列Ｌａ，Ｌｂを配列させて測定用治具２０を構成したことにより、相互に絶縁された状態の接触子Ｐａ，Ｐｂが測定用治具２０の一面における極く狭い領域内に隣接しているため、検査対象基板１００の極く狭い領域内に複数の測定点Ｐが存在する場合においても、より多くの測定点Ｐに対して「第１の条件」、「第２の条件」および「第３の条件」を満たすように各接触子Ｐａ，Ｐｂをコンタクトさせることができる。

【0077】

さらに、この基板検査装置１によれば、測定点Ｐに対するコンタクト時に、「接触子」としての接触子本体３３を測定点Ｐに対して付勢する「付勢部材」としての基部３１および弾性変形部３２を介して接触子本体３３をベース基板２１に取り付けて測定用治具２０を構成したことにより、検査対象基板１００に反りや変形が生じている場合や、高さが相違する測定点Ｐに対しても、各測定点Ｐに対して接触子Ｐａ，Ｐｂを確実にコンタクトさせることができる。

【0078】

また、この基板検査装置１によれば、「接触子」としての接触子本体３３および「付勢部材」としての基部３１や弾性変形部３２を導電性樹脂材料で一体成形して測定用治具２０を構成したことにより、「接触子（上記の接触子Ｐａ，Ｐｂにおける接触子本体３３）」と「付勢部材（上記の接触子Ｐａ，Ｐｂにおける基部３１および弾性変形部３２）」とを別個に形成して一体化させる作業が不要となる分だけ、測定用治具２０の製造コストを十分に低減することができる。

【0079】

さらに、この基板検査装置１によれば、複数の接触子Ｐａ，Ｐｂを相互に電気的に接続するための導体パターン２２を有する「ベース部」としてのプリント基板（ベース基板２１）を備えて測定用治具２０を構成したことにより、各接触子列Ｌａに属する各接触子Ｐａを、接続用配線を用いて相互に接続する配線作業や、各接触子列Ｌｂに属する各接触子Ｐｂを、接続用配線を用いて相互に接続する配線作業を不要にできるため、測定用治具２０の製造コストを一層低減することができる。

【0080】

また、この基板検査装置１によれば、移動機構２ａ，２ｂ、スキャナ３、制御部８および記憶部９で構成された「コンタクト装置」と測定部４とを備えて、測定用治具２０の各接触子Ｐａ，Ｐｂを介して各測定点Ｐのうちの任意の２点間の電気的パラメータを測定可能に構成したことにより、「測定対象体」の種類毎に専用の「測定用治具」を使用する構成と比較して、１つの測定用治具２０によって種類が相違する各種の「測定対象体（検査対象基板１００等）」における測定点Ｐに接触子Ｐａ，Ｐｂをコンタクトさせることができるため、電気的パラメータの測定に要するコストを十分に低減することができるだけでなく、種類が相違する「測定対象体」についての電気的パラメータを測定する都度「測定用治具」を交換する作業が不要となるため、複数種類の「測定対象体」についての電気的パラメータを短時間でしかも容易に測定することができる。

【0081】

また、この基板検査装置１によれば、移動機構２ａ，２ｂ、スキャナ３、測定部４、制御部８および記憶部９で構成された「測定システム」と、測定部４によって測定された電気的パラメータに基づいて検査対象基板１００の良否を検査する「検査部」としての制御部８とを備えて構成したことにより、「測定対象体」の種類毎に専用の「測定用治具」を使用する構成と比較して、１つの測定用治具２０によって種類が相違する各種の「測定対象体（検査対象基板１００等）」における測定点Ｐに接触子Ｐａ，Ｐｂをコンタクトさせることができるため、測定点Ｐ，Ｐ間の良否の検査に要するコストを十分に低減することができるだけでなく、種類が相違する「測定対象体（検査対象体）」を検査する都度「測定用治具」を交換する作業が不要となるため、複数種類の「測定対象体（検査対象体）」を短時間でしかも容易に検査することができる。

【0082】

なお、「コンタクト装置」、「測定システム」および「検査システム」の構成は、上記の基板検査装置１の構成に限定されない。例えば、接触子群Ｇａに属する各接触子列Ｌａ毎の接触子Ｐａの数や、接触子群Ｇｂに属する各接触子列Ｌｂ毎の接触子Ｐｂの数を同数（この例では、それぞれＮ＝１０個）とした構成の測定用治具２０を例に挙げて説明したが、「１つの接触子群」に属する「各接触子列」毎の「接触子」の数が「各接触子列」毎に相違する構成を採用することもできる。また、接触子群Ｇａに属する各接触子列Ｌａの数と、接触子群Ｇｂに属する各接触子列Ｌｂの数とを同数（この例では、それぞれＭ＝１０列）とした構成の測定用治具２０を例に挙げて説明したが、「各接触子群」に属する「各接触子列」の数を違いに相違する数とすることもできる。

【0083】

さらに、接触子本体３３、および「付勢部材」としての基部３１や弾性変形部３２を導電性樹脂材料で一体成形した接触子Ｐａ，Ｐｂを有する測定用治具２０を備えて構成した例について説明したが、一例として、板ばねやコイルスプリング（「付勢部材」の他の一例）を介して「接触子」を「ベース部」（例えばベース基板２１）に取り付けて「測定用治具」を構成することもできる（図示せず）。また、「付勢部材」を介することなく、例えば、上記の測定用治具２０における導体パターン２２の取付用パッド２２ａに対して、「接触子」としての半田バンプを直接形成したり、導電性材料（例えば金属材料）で形成した半球状の接触子を接着したりして測定用治具を構成することもできる（図示せず）。

【0084】

また、図９に示す測定用治具２０Ａのように、「接触子」としての伸縮型のピンプローブで構成されたＮ個の接触子ＰＡａ１〜ＰＡａＮ（以下、区別しないときには「接触子ＰＡａ」ともいう）を「第１の向き」に沿って並べてベース基板２１に植設したＭ列の接触子列ＬＡａ１〜ＬＡａＭ（以下、区別しないときには「接触子列ＬＡａ」ともいう）からなる接触子群ＧＡａと、ピンプローブで構成されたＮ個の接触子ＰＡｂ１〜ＰＡｂＮ（以下、区別しないときには「接触子ＰＡｂ」ともいう）を「第１の向き」に沿って並べてベース基板２１に植設したＭ列の接触子列ＬＡｂ１〜ＬＡｂＭ（以下、区別しないときには「接触子列ＬＡｂ」ともいう）からなる接触子群ＧＡｂとを備えて「測定用治具」を構成することもできる。なお、同図では、各接触子ＰＡａを左下がりの斜線で塗り潰すと共に、各接触子ＰＡｂを右下がりの斜線で塗り潰して図示している。また、この測定用治具２０Ａや、後に説明する測定用治具２０Ｂ〜２０Ｆ（図１０〜１４参照）において、前述した基板検査装置１の測定用治具２０と同様の機能を有する構成要素については、同一の符号を付して重複する説明を省略する。

【0085】

この場合、測定用治具２０Ａにおける各接触子列ＬＡａ，ＬＡｂ毎の各接触子ＰＡａ，ＰＡｂの配列や各接触子列ＬＡａ，ＬＡｂの配列については、前述した測定用治具２０における各接触子列Ｌａ，Ｌｂ毎の各接触子Ｐａ，Ｐｂの配列や各接触子列Ｌａ，Ｌｂの配列、または、後に説明する測定用治具２０Ｂにおける各接触子列ＬＢａ，ＬＢｂ毎の各接触子ＰＢａ，ＰＢｂの配列や各接触子列ＬＢａ，ＬＢｂの配列と同様であるため、詳細な説明を省略する。この測定用治具２０Ａのように、ピンプローブで構成した各接触子ＰＡａ，ＰＡｂを備えた「測定用治具」を使用することにより、前述した測定用治具２０を備えた基板検査装置１と同様の効果を奏することができるだけでなく、接触子ＰＡａ，ＰＡｂが伸縮するため、検査対象基板１００に反りや変形が生じている場合や、高さが相違する測定点Ｐに対しても、各測定点Ｐに対して接触子ＰＡａ，ＰＡｂを確実にコンタクトさせることができる。

【0086】

さらに、「複数の接触子群に属する各接触子」の配列は、上記の測定用治具２０における接触子群Ｇａに属する各接触子Ｐａおよび接触子群Ｇｂに属する各接触子Ｐｂの配列に限定されない。例えば、図１０に示す測定用治具２０Ｂは、接触子ＰＢａ１〜ＰＢａＮのＮ個（以下、区別しないときには「接触子ＰＢａ」ともいう）をＭ列備えると共に、接触子ＰＢｂ１〜ＰＢｂＮのＮ個（以下、区別しないときには「接触子Ｐｂ」ともいう）をＭ列備え（Ｎ，Ｍは、それぞれ２以上の自然数：一例として、「Ｎ＝１０」、「Ｍ＝１０」）、これらがベース基板２１の一面に規則的に配列されている。具体的には、測定用治具２０Ｂは、Ｎ×Ｍ個の接触子ＰＢａからなる接触子群ＧＢａ、およびＮ×Ｍ個の接触子ＰＢｂからなる接触子群ＧＢｂのＬ群の接触子群（Ｌは、２以上の自然数：この例では、「Ｌ＝２」）を備えている。なお、同図では、各接触子ＰＢａを左下がりの斜線で塗り潰すと共に、各接触子ＰＢｂを右下がりの斜線で塗り潰して図示している。

【0087】

接触子群ＧＢａは、Ｎ個の接触子ＰＢａが導体パターン２２によって相互に電気的に接続された状態でベース基板２１の一面に矢印Ａａの向き（「第１の向き」の他の一例）に沿って配列されたＭ列の互いに平行な接触子列ＬＢａ１〜ＬＢａＭを備えると共に、この接触子列ＬＢａ１〜ＬＢａＭが矢印Ａａの向きと交差する（この例では、直交する）矢印Ａｂの向き（「第２の向き」の他の一例）に沿って並んで配置されている。また、接触子群ＧＢｂは、Ｎ個の接触子ＰＢｂが導体パターン２２によって相互に電気的に接続された状態でベース基板２１の一面に矢印Ａｂの向き（「第１の向き」の他の一例）に沿って配列されたＭ列の互いに平行な接触子列ＬＢｂ１〜ＬＢｂＭを備えると共に、この接触子列ＬＢｂ１〜ＬＢｂＭが矢印Ａｂの向きと交差する（この例では、直交する）矢印Ａａの向き（「第２の向き」の他の一例）に沿って並んで配置されている（「各接触子群毎の第２の方向が互いに交差するように各接触子が配列されている」との構成の他の一例）。

【0088】

また、この測定用治具２０Ｂでは、上記の接触子群ＧＢａに属する接触子列ＬＢａ１〜ＬＢａＭ（以下、区別しないときには「接触子列ＬＢａ」ともいう）の各接触子ＰＢａと、接触子群ＧＢｂに属する接触子列ＬＢｂ１〜ＬＢｂＭ（以下、区別しないときには「接触子列ＬＢｂ」ともいう）の各接触子ＰＢｂとが矢印Ａａの方向および矢印Ａｂの方向において千鳥足状に交互に並ぶように各接触子列ＬＢａ，ＬＢｂがベース基板２１の一方の面に配列されている（「異なる各接触子群に属する各接触子が交互に並ぶように各接触子が配列されている」との構成の他の一例）。この場合、この測定用治具２０Ｂでは、各接触子列ＬＢａ同士が相互に絶縁されると共に、各接触子列ＬＢｂ同士が相互に絶縁されている。また、この測定用治具２０Ｂでは、接触子群ＧＢａに属する各接触子列ＬＢａと接触子群ＧＢｂに属する各接触子列ＬＢｂとが相互に絶縁されている。したがって、各接触子列ＬＢａの各接触子ＰＢａと各接触子列ＬＢｂの各接触子ＰＢｂとが相互に絶縁されている。

【0089】

したがって、この測定用治具２０Ｂを備えた「コンタクト装置」によれば、上記の測定用治具２０，２０Ａを備えた「コンタクト装置」と同様にして、１つの「接触子群」だけを有する「測定用治具」と比較して、より多くの測定点Ｐについて「第１の条件」、「第２の条件」および「第３の条件」を満たす位置関係となるように測定用治具２０Ｂおよび検査対象基板１００を対向させることができるだけでなく、両接触子群ＧＢａ，ＧＢｂ毎に各接触子列ＬＢａ，ＬＢｂにおける各接触子ＰＢａ，ＰＢｂの配列方向（第１の向き）が相違する状態となっているため、各接触子ＰＢａ，ＰＢｂの配列方向における端部においてスキャナ３に対する接続用配線を引き出す場合には、この接続用配線の引き出し部の位置が両接触子群ＧＢａ，ＧＢｂ毎に大きく離間した状態となる結果、接続用配線の接続作業を一層容易とすることができる。

【0090】

また、「複数の接触子群」としての接触子群Ｇａ，Ｇｂに属する接触子Ｐａ，Ｐｂや、接触子群ＧＢａ，ＧＢｂに属する接触子ＰＢａ，ＰＢｂが「第１の向き」および「第２の向き」において交互に並ぶようにこれらを混在させた（接触子群Ｇａ，ＧＢａに属する接触子Ｐａ，ＰＢａを配列させる範囲と、接触子群Ｇｂ，ＧＢｂに属する接触子Ｐｂ，ＰＢｂを配列させる範囲とがベース基板２１の一面において重なるように規定した）測定用治具２０，２０Ｂを例に挙げて説明したが、図１１に示す測定用治具２０Ｃや、図１２に示す測定用治具２０Ｄのように、「複数の接触子群」のうちの１つに相当する接触子群ＧＣａ，ＧＤａと、「複数の接触子群」のうちの他の１つに相当する接触子群ＧＣｂ，ＧＤｂとを「ベース部」（この例では、ベース基板２１）の一面において互いに重なることのない領域内にそれぞれ配置する構成を採用することもできる。

【0091】

なお、上記の接触子群ＧＣａ，ＧＤａは、一例として、前述した測定用治具２０，２０Ｂにおける接触子群Ｇａ，ＧＢａに属する各接触子列Ｌａ，ＬＢａの各接触子Ｐａ，ＰＢａと同様に配列された「接触子」で構成され、上記の接触子群ＧＣｂ，ＧＤｂは、前述した測定用治具２０，２０Ｂにおける接触子群Ｇｂ，ＧＢｂに属する各接触子列Ｌｂ，ＬＢｂの各接触子Ｐｂ，ＰＢｂと同様に配列された「接触子」で構成されている。したがって、接触子群ＧＣａ，ＧＤａ，Ｇｂ，ＧＢｂ内の「各接触子」の図示を省略する。この測定用治具２０Ｃ，２０Ｄを備えて構成した「コンタクト装置」においても、「移動機構（回転機構）」によって「測定対象体」および「測定用治具２０Ｃ，２０Ｄ」の少なくとも一方を他方における一方に対する対向面に沿って回転させることにより、前述した測定用治具２０を備えて構成した「コンタクト装置」と同様の効果を奏することができる。

【0092】

さらに、「複数の接触子群」を有する構成に限定されず、図１３に示す測定用治具２０Ｅのように、例えば前述した測定用治具２０における接触子群Ｇａと同様にして各接触子列Ｌａ（接触子Ｐａ）が配列された接触子群ＧＥａ、および、測定用治具２０における接触子群Ｇｂと同様にして各接触子列Ｌｂ（接触子Ｐｂ）が配列された接触子群ＧＥｂのいずれか一方だけをベース基板２１に配設して「測定用治具」を構成することもできる。この測定用治具２０Ｅを備えて構成した「コンタクト装置」においても、「移動機構（回転機構）」によって「測定対象体」および「測定用治具２０Ｅ」の少なくとも一方を他方における一方に対する対向面に沿って回転させることにより、前述した測定用治具２０を備えて構成した「コンタクト装置」と同様の効果を奏することができる。

【0093】

また、図１４に示す測定用治具２０Ｆのように、「第１の向き」および「第２の向き」が互いに相違するＬ個の接触子群ＧＦａ，ＧＦｂ，ＧＦｃ（この例では、「Ｌ＝３」）をベース基板２１に配設して「測定用治具」を構成することもできる。この場合、接触子群ＧＦａは、Ｎ個の接触子ＰＦａが矢印Ａ１の向き（「第１の向き」の一例）に沿って配列されたＭ列の接触子列ＬＦａが矢印Ａ１の向きと直交する向き（「第２の向き」の一例）に沿って並んで配列されている。また、接触子群ＧＦｂは、Ｎ個の接触子ＰＦｂが矢印Ａ２の向き（「第１の向き」の一例）に沿って配列されたＭ列の接触子列ＬＦｂが矢印Ａ２の向きと直交する向き（「第２の向き」の一例）に沿って並んで配列されている。さらに、接触子群ＧＦｃは、Ｎ個の接触子ＰＦｃが矢印Ａ３の向き（「第１の向き」の一例）に沿って配列されたＭ列の接触子列ＬＦｃが矢印Ａ３の向きと直交する向き（「第２の向き」の一例）に沿って並んで配列されている。この測定用治具２０Ｆを備えて構成した「コンタクト装置」においても、「移動機構（回転機構）」によって「測定対象体」および「測定用治具２０Ｆ」の少なくとも一方を他方における一方に対する対向面に沿って回転させることにより、前述した測定用治具２０を備えて構成した「コンタクト装置」と同様の効果を奏することができる。

【0094】

さらに、「複数の接触子群」を有する測定用治具２０，２０Ａ〜２０Ｄ，２０Ｆにおいて、「各接触子群」における「第２の向き」が互いに交差するように構成した例について説明したが、一例として、「２つの接触子群」における「第２の向き」を互いに平行とし、かつ、「異なる接触子群」に属する「接触子列」からの接続配線の引き出し方向を逆向きとする（例えば、前述した測定用治具２０における接続用パッド２２ｂに相当する要素の位置をベース基板２１上の対向辺にそれぞれ形成する）こともできる。また、「１つの接触子群」を構成する「接触子列」が互いに平行となるように「複数の接触子」が配列された測定用治具２０、２０Ａ〜２０Ｆを例に挙げて説明したが、「１つの接触子群」を構成する「接触子列」が互いに非平行（一例として、「各接触子列」が「ベース部」上の任意の一点を中心として放射状に配置されて、その任意の一点を中心とする円周に沿った曲線状の向きを「第２の向き」として「各接触子列」が並んだ状態）となるように「Ｎ個の接触子」を配列させて「測定用治具」を構成することもできる（図示せず）。

【0095】

また、可撓性を有する部材で「測定用治具」の「ベース部」を構成すると共に、「ベース部」における任意の一部の領域を「接触子」の配設面の裏面側から局所的に押し出すことで、押し出した領域に配設されている「接触子」だけを測定点にコンタクトさせる構成を採用することもできる。また、可撓性を有する部材で「測定用治具」の「ベース部」を構成すると共に、「ベース部」における任意の一部の領域を「接触子」の配設面の裏面側に局所的に引き込むことで、引き込んだ領域に配設されている「接触子」を測定点にコンタクトさせず、引き込んでいない領域に配設されている「接触子」だけを測定点にコンタクトさせる構成を採用することもできる。これらの構成を採用することにより、「測定対象体」に対する「測定用治具」の回転や平行移動だけでは、前述した「第１の条件」、「第２の条件」および「第３の条件」を満たすコンタクトが困難な場合においても、これら各条件を満たす有効なコンタクトを容易に実現することができる。

【0096】

さらに、移動機構２ａ，２ｂによって測定用治具２０を検査対象基板１００に対して移動させる構成に代えて、所定の取り付け位置に取り付けられている測定用治具２０に対して検査対象基板１００を移動させる構成や（「少なくとも一方」が「測定対象体」の構成の例）、測定用治具２０および検査対象基板１００の双方を互いに移動させる構成（「少なくとも一方」が「測定用治具」および「測定対象体」の双方の構成の例）を採用することもできる。この場合、「接離動機構」によって接離動させる対象物、「回転機構」によって回転させる対象物、および「平行移動機構」によって平行移動させる対象物が、それぞれ相違する構成を採用することもできる。

【0097】

なお、前述した基板検査装置１のように、「測定対象体」の表裏両面に対して「接触子」をコンタクトさせる場合には、「測定対象体」の一方の面に対する「第１の測定用治具」の相対的な回転角と、「測定対象体」の他方の面に対する「第２の測定用治具」の相対的な回転角とを任意に変更するのが容易であることから、基板検査装置１における移動機構２ａ，２ｂのように、測定用治具２０，２０だけを検査対象基板１００に対して移動させる構成を採用するのが好ましい。

【0098】

加えて、「コンタクト装置」等の構成や動作原理についての理解を容易とするために、各種部品が実装されていない検査対象基板１００（ベアボード）を「測定対象（検査対象）」として、互いに接続されているべき測定点Ｐ，Ｐ間の断線の有無や、互いに絶縁されているべき測定点Ｐ，Ｐ間の短絡の有無を検査するために電気的パラメータを測定する例について説明したが、各種電子部品が実装されている基板等を「測定対象（検査対象）」とする場合には、任意の電子部品を挟んで規定された測定点Ｐ，Ｐ間のインピーダンスを測定して電子部品の実装不良や実装誤りの有無を検査することもできる。

【符号の説明】

【0099】

１ 基板検査装置
２ａ，２ｂ 移動機構
３ スキャナ
４ 測定部
８ 制御部
９ 記憶部
１１ａ，１１ｂ Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構
１２ａ，１２ｂ 回転機構
２０，２０Ａ〜２０Ｆ 測定用治具
２１ ベース基板
２２ 導体パターン
３１ 基部
３２ 弾性変形部
３３ 接触子本体
１００ 検査対象基板
Ｇａ，ＧＡａ〜ＧＦａ，Ｇｂ，ＧＡｂ〜ＧＦｂ，ＧＦｃ 接触子群
Ｌａ１〜ＬａＭ，ＬＡａ１〜ＬＡａＭ，ＬＢａ１〜ＬＢａＭ，Ｌｂ１〜ＬｂＭ，ＬＡｂ１〜ＬＡｂＭ，ＬＢｂ１〜ＬＢｂＭ 接触子列
Ｏ 回転中心
Ｐ１，Ｐ２・・ 測定点
Ｐａ１〜ＰａＮ，ＰＡａ１〜ＰＡａＮ，ＰＢａ１〜ＰＢａＮ，ＰＦａ，Ｐｂ１〜ＰｂＮ，ＰＡｂ１〜ＰＡｂＮ，ＰＢｂ１〜ＰＢｂＮ，ＰＦｂ，ＰＦｃ 接触子
Ｓ３，Ｓ４，Ｓ１１ａ，Ｓ１１ｂ，Ｓ１２ａ，Ｓ１２ｂ 制御信号

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】