特許5727390導電材料の誘電体層上へのプラズマ増強原子層堆積

発明の名称　導電材料の誘電体層上へのプラズマ増強原子層堆積

出願人　エーエスエム　アメリカ　インコーポレイテッド　（識別番号 500019890）

　　　　特許公開件数ランキング 14682 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12559 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5727390

公報発行日　2015年6月3

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5727390

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