特許5729911タングステン膜の製造方法およびタングステン膜を堆積させる装置

発明の名称　タングステン膜の製造方法およびタングステン膜を堆積させる装置

出願人　ノベラス・システムズ・インコーポレーテッド　（識別番号 513014695）

　　　　特許公開件数ランキング 30460 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 24686 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5729911

公報発行日　2015年6月3

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5729911

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