特許5734878低温ウエハ接合によって作製されるモノリシック集積型ＣＭＵＴの作製方法

発明の名称　低温ウエハ接合によって作製されるモノリシック集積型ＣＭＵＴの作製方法

出願人　ザ　ボード　オブ　トラスティーズ　オブ　ザ　レランド　スタンフォード　ジュニア　ユニバーシティー　（識別番号 503115205）

　　　　特許公開件数ランキング 755 位（6件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 951 位（4件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5734878

公報発行日　2015年6月17

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5734878

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