発明の名称 銅を主成分とする金属薄膜のエッチング液組成物
出願人 関東化学株式会社 (識別番号 591045677)
特許公開件数ランキング 3836 位(6件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 2094 位(8件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-5735811
公報発行日 2015年6月17
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5735811
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