(58)【調査した分野】(Int.Cl.,DB名)
前記炭素数10〜20の橋かけ環式炭化水素基を有する重合性モノマー(a−1)がジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、アダマンチル(メタ)アクリレートから選ばれる少なくとも1種を含む請求項1又は2に記載の共重合体(A)。
前記重合性モノマー(a−1)及び/又は(a−1’)がモル比で2〜50%、前記重合性モノマー(a−2)が10〜80%、前記重合性モノマー(a−3)が18〜88%の割合で重合されている、請求項1〜3のいずれか1項に記載の共重合体(A)。
【発明を実施するための形態】
【0015】
まず、本発明の共重合体(A)について説明する。
本発明の共重合体(A)は、炭素数10〜20の橋かけ環式炭化水素基を有する重合性モノマー(a−1)及び/または化学式(1)で示される重合性モノマー(a−1’)と、化学式(2)で示される重合性モノマー(a−2)を重合してなり、かつ重量平均分子量(ポリスチレン換算の重量平均分子量)が1000〜50000である。
【0017】
(式(1)中のX及びYは、それぞれ独立して、水素原子、直鎖又は分岐していてもよい炭素数1〜4の炭化水素基を示し、R
1及びR
2はそれぞれ独立して水素原子、カルボキシル基又は置換基を有していてもよい炭素数1〜20の炭化水素基であって、R
1及びR
2を結ぶ環状構造をとっていてもよい。)
【0018】
【化4】
(式(2)中のR
3は水素原子またはメチル基でnは1〜4の整数を表す。)
【0019】
共重合体(A)を構成する重合性モノマー(a−1)は、炭素数10〜20の橋かけ環式炭化水素基を有する。ここで、橋かけ環式炭化水素とは、アダマンタン、ノルボルナンに代表される、下記式(3)又は(4)で表される構造を有するものを意味し、橋かけ環式炭化水素基とは、当該構造における一部の水素を除いた残りの部分に相当する基をいう。
【0021】
(式(3)中、A
1、B
1は、それぞれ、直鎖または分岐アルキレン基(環式を含む。)を示し、R
4は水素原子またはメチル基を示す。A
1、B
1は同一であっても、異なっていてもよく、A
1、B
1の分枝どうしがつながって環状となっていてもよい。)
【0023】
(式(4)中、A
2、B
2、Lは、それぞれ、直鎖または分岐アルキレン基(環式を含む。)を示し、R
5は水素原子またはメチル基を示す。A
2、B
2、Lは同一であっても、異なっていてもよく、A
2、B
2、Lの分枝どうしがつながって環状となっていてもよい。)
【0024】
モノマー(a−1)としては、炭素数10〜20の橋かけ環式炭化水素基を有する(メタ)アクリレートが好ましく、アダマンチル(メタ)アクリレート又は下記式(5)で表される構造を有する(メタ)アクリレートがより好ましい。
【0026】
(式(5)中、R
6〜R
8はそれぞれ水素原子またはメチル基を表す。R
9、R
10は水素原子もしくはメチル基、又は互いに連結して飽和もしくは不飽和の環を形成していても良く、当該環は好ましくは5員環もしくは6員環である。*は(メタ)アクリレート基に連結される結合手を表す。)
【0027】
上記モノマー(a−1)の例としては、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、アダマンチル(メタ)アクリレートなどが挙げられる。これらの中でも、耐熱分解性、密着性、現像性などの観点からジシクロペンタニルメタクリレートが更に好ましい。これらは、単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
【0028】
また、本発明の共重合体(A)の別の構成モノマーとして、下記の一般式(1):
【0030】
(式中、X及びYはそれぞれ独立して、水素原子、又は炭素数1〜4の直鎖若しくは分岐鎖の炭化水素基を表し、R
1及びR
2はそれぞれ独立して、水素原子、カルボキシル基又は置換基を有していても良い炭素数1〜20の炭化水素基を表し、R
1及びR
2が連結された環状構造を形成してもよい)を使用することができる。
【0031】
モノマー(a−1’)は、一般式(1)で示される化学構造を有していれば特に限定されない。一般式(1)において、炭素数1〜4の直鎖若しくは分岐鎖の炭化水素基を表すX及びYの例としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、t−ブチル基などが挙げられる。また、置換基を有していても良い炭素数1〜20の炭化水素基における置換基としてはアルコキシ基、アリール基などが挙げられる。R
1及びR
2の例としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、t−ブチル基、t−アミル基、ステアリル基、ラウリル基、2−エチルヘキシル基などの直鎖又は分岐鎖のアルキル基;フェニルなどのアリール基;シクロヘキシル基、t−ブチルシクロヘキシル基、ジシクロペンタジエニル基、トリシクロデカニル基、イソボルニル基、アダマンチル基、2−メチル−2−アダマンチル基などの脂環式基;1−メトキシエチル基、1−エトキシエチル基などのアルコキシ基で置換されたアルキル基;ベンジルなどのアリール基で置換されたアルキル基などが挙げられる。
【0032】
一般式(1)で示される化学構造を有するモノマー(a−1’)の例としては、ノルボルネン(ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、5−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、テトラシクロ[4.4.0.1
2,5.1
7,10]ドデカ−3−エン、8−メチルテトラシクロ[4.4.0.1
2,5.1
7,10]ドデカ−3−エン、8−エチルテトラシクロ[4.4.0.1
2,5.1
7,10]ドデカ−3−エン、ジシクロペンタジエン、トリシクロ[5.2.1.0
2,6]デカ−8−エン、トリシクロ[5.2.1.0
2,6]デカ−3−エン、トリシクロ[4.4.0.1
2,5]ウンデカ−3−エン、トリシクロ[6.2.1.0
1,8]ウンデカ−9−エン、トリシクロ[6.2.1.0
1,8]ウンデカ−4−エン、テトラシクロ[4.4.0.1
2,5.1
7,10.0
1,6]ドデカ−3−エン、8−メチルテトラシクロ[4.4.0.1
2,5.1
7,10.0
1,6]ドデカ−3−エン、8−エチリデンテトラシクロ[4.4.0.1
2,5.1
7,12]ドデカ−3−エン、8−エチリデンテトラシクロ[4.4.0.1
2,5.1
7,10.0
1,6]ドデカ−3−エン、ペンタシクロ[6.5.1.1
3,6.0
2,7.0
9,13]ペンタデカ−4−エン、ペンタシクロ[7.4.0.1
2,5.1
9,12.0
8,13]ペンタデカ−3−エン、5−ノルボルネン−2−カルボン酸、5−ノルボルネン−2,3−ジカルボン酸、5−ノルボルネン−2,3−ジカルボン酸無水物などが挙げられる。これらの中でも、耐熱分解性、密着性、現像特性などの観点から、ノルボルネン、ジシクロペンタジエン、5−ノルボルネン−2,3−ジカルボン酸無水物が好ましい。これらは、単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
【0033】
本発明の必須構成モノマーとして、下記化学式(2)で示される重合性モノマー(a−2)を使用する。
【0035】
(式(2)のR
3は水素原子またはメチル基でnは1〜4の整数を表す。)
【0036】
重合性モノマー(a−2)としては、特に限定されず一般式中のn=1〜4の混合物でも構わないが、所望の耐熱分解性を得る為には一般式中n=1のエトキシ化o−フェニルフェノール(メタ)アクリレートが好ましい。市販品として、東亜合成(株)製アロニックスTO−1463、新中村化学工業(株)製NKエステルA−LEN−10、日本化薬(株)製KAYARAD OPP−1等が存在する。
【0037】
また、その他のモノマーとして(a−1)、(a−1’)及び(a−2)以外の共重合可能なモノマー(a−3)を重合することも可能である。重合性モノマー(a−3)は、一般にエチレン性不飽和基を有するラジカル重合性化合物であり、その例としては、ブタジエンなどのジエン類;メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n−プロピル(メタ)アクリレート、イソ−プロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリルレート、sec−ブチル(メタ)アクリレート、イソ−ブチル(メタ)アクリレート、tert−ブチル(メタ)アクリルレート、ペンチル(メタ)アクリレート、ネオペンチル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、イソアミル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、ドデシル(メタ)アクリレート、シクロペンチル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、メチルシクロヘキシル(メタ)アクリレート、エチルシクロヘキシル(メタ)アクリレート、1,4−シクロヘキサンジメタノールモノ(メタ)アクリレート、ロジン(メタ)アクリレート、ノルボルニル(メタ)アクリレート、5−メチルノルボルニル(メタ)アクリレート、5−エチルノルボルニル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、1,1,1−トリフルオロエチル(メタ)アクリレート、パーフルオロエチル(メタ)アクリレート、パーフルオロ−n−プロピル(メタ)アクリレート、パーフルオロ−イソ−プロピル(メタ)アクリレート、トリフェニルメチル(メタ)アクリレート、クミル(メタ)アクリレート、3−(N,N−ジメチルアミノ)プロピル(メタ)アクリレート、グリセリロールモノ(メタ)アクリレート、ブタントリオールモノ(メタ)アクリレート、ペンタントリオールモノ(メタ)アクリレート、ナフタレン(メタ)アクリレート、アントラセン(メタ)アクリレートなどの(メタ)アクリル酸エステル類;(メタ)アクリル酸アミド、(メタ)アクリル酸N,N−ジメチルアミド、(メタ)アクリル酸N,N−ジエチルアミド、(メタ)アクリル酸N,N−ジプロピルアミド、(メタ)アクリル酸N,N−ジ−イソ−プロピルアミド、(メタ)アクリル酸アントラセニルアミドなどの(メタ)アクリル酸アミド;(メタ)アクリル酸アニリド、(メタ)アクリロイルニトリル、アクロレイン、塩化ビニル、塩化ビニリデン、フッ化ビニル、フッ化ビニリデン、N−ビニルピロリドン、ビニルピリジン、酢酸ビニル、ビニルトルエンなどのビニル化合物;スチレン、スチレンのα−、o−、m−、p−アルキル、ニトロ、シアノ、アミド誘導体;シトラコン酸ジエチル、マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエチルなどの不飽和ジカルボン酸ジエステル;N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、N−ラウリルマレイミド、N−(4−ヒドロキシフェニル)マレイミドなどのモノマレイミド類;(メタ)アクリル酸、クロトン酸、桂皮酸などの不飽和一塩基酸;グリシジル(メタ)アクリレート、脂環式エポキシを有する3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレートおよびそのラクトン付加物[例えば、ダイセル化学工業(株)製サイクロマーA200、M100]、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル−3´,4´−エポキシシクロヘキサンカルボキシレートのモノ(メタ)アクリル酸エステル、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレートのエポキシ化物、ジシクロペンテニルオキシエチル(メタ)アクリレートのエポキシ化物などのエポキシ基を有するラジカル重合性モノマー;無水マレイン酸、無水イタコン酸、無水シトラコン酸などの不飽和多塩基酸無水物が挙げられる。これらは、単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
【0038】
本共重合体(A)は現像性を向上させる為カルボキシル基を有することが好ましい。共重合体(A)にカルボキシルを付加する手法としては、重合性モノマー(a−3)としてカルボキシル基を有するモノマーを共重合することが挙げられる。更に感光性を高める為、そのカルボキシル基の一部にエポキシ基を有するモノマーを付加し二重結合も導入することが好ましい。または、重合性モノマー(a−3)として先にエポキシ基を有するモノマーを共重合し、カルボキシル基を有するモノマーを付加して生じた水酸基に酸無水物を付加することでもカルボキシル基と二重結合が付加できる。もしくは、重合性モノマー(a−3)として不飽和多塩基酸無水物を共重合させ、その酸無水物に水酸基を有するモノマーを付加することでもカルボキシル基と二重結合が付加できる。
【0039】
モノマー(a−1)とモノマー(a−1’)は一方を用いても良く、両方を用いても良いが、これをまとめて「モノマー(a−1)及び/又はモノマー(a−1’)」と表し、量については、その全体を意味するものとすると、モノマー(a−1)及び/又はモノマー(a−1’)の配合割合は特に制限はないが、モノマー(a−1)及び/又はモノマー(a−1’)、モノマー(a−2)、並びに、重合性モノマー(a−3)の合計を100モル%とした場合に、好ましくは2〜50モル%、より好ましくは2〜30モル%である。モノマー(a−1)及び/又はモノマー(a−1’)の配合割合が2モル%未満であると、所望の耐熱黄変性が得られなくなる可能性がある。一方、この配合割合が50モル%を超えると、モノマー(a−2)の配合割合が少なくなり、所望の耐熱分解性が得られなくなる可能性がある。
【0040】
また、モノマー(a−2)の配合割合は特に制限はないが、モノマー(a−1)及び/又はモノマー(a−1’)、モノマー(a−2)、並びに重合性モノマー(a−3)の合計を100モル%とした場合に、好ましくは10〜80モル%、より好ましくは20〜70モル%である。モノマー(a−2)の配合割合が10モル%未満であると、所望の耐熱分解性が得られなくなる可能性がある。一方、この配合割合が80モル%を超えると、モノマー(a−1)及び/又はモノマー(a−1’)配合割合が少なくなり、所望の耐熱黄変性が得られなくなる可能性がある。
【0041】
モノマー(a−3)を加える場合、その配合割合は特に制限はないが、モノマー(a−1)及び/又はモノマー(a−1’)、モノマー(a−2)、並びに重合性モノマー(a−3)の合計を100モル%とした場合に、好ましくは18〜88モル%、より好ましくは25〜70モル%である。モノマー(a−3)の配合割合が18モル%以上のほうが、現像性、感度をより高めるためには効果的である。一方、この配合割合が88モル%を超えると、モノマー(a−1)及び/又はモノマー(a−1’)、モノマー(a−2)の配合割合が少なくなり、所望の耐熱分解性、耐熱黄変性が得られなくなる可能性がある。
【0042】
モノマー(a−1)及び/又はモノマー(a−1’)、モノマー(a−2)、並びに重合性モノマー(a−3)(任意)を原料として用いる共重合反応は、当該技術分野において公知のラジカル重合方法に従って行うことができる。例えば、モノマー(a−1)及び/又はモノマー(a−1’)、モノマー(a−2)、並びに任意のモノマーを溶剤に溶解した後、その溶液に重合開始剤を添加し、50〜130℃で1〜20時間反応させればよい。
【0043】
この共重合反応に用いることが可能な溶剤としては、特に限定されないが、例えば、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートなどのグリコールエーテル系溶剤;トルエン、キシレンなどの炭化水素系溶剤、酢酸エチルなどの反応性官能基を有していない溶剤が挙げられる。これらは、単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。また、これらの中でも、グリコールエーテル系溶剤が好ましい。
【0044】
溶剤の配合量は、特に限定されないが、モノマー(a−1)及び/又はモノマー(a−1’)、モノマー(a−2)、並びに重合性モノマー(a−3)の合計を100質量部とした場合に、一般に30〜1000質量部、好ましくは50〜800質量部である。特に、溶剤の配合量を1000質量部以下とすることで、連鎖移動作用によって共重合体の分子量の低下を抑制し、且つ共重合体の粘度を適切な範囲に制御することができる。また、溶剤の配合量を30質量部以上とすることで、異常な重合反応を防止し、重合反応を安定して行うことができると共に、共重合体の着色やゲル化を防止することもできる。
【0045】
また、この共重合反応に用いることが可能な重合開始剤としては、特に限定されないが、例えば、アゾビスイソブチロニトリル、アゾビスイソバレロニトリル、過酸化ベンゾイル、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエートなどが挙げられる。これらは、単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
重合開始剤の配合量は、モノマー(a−1)及び/又はモノマー(a−1’)、モノマー(a−2)、並びに重合性モノマー(a−3)の合計を100質量部とした場合に、一般に0.5〜20質量部、好ましくは1.0〜10質量部である。
なお、有機溶剤を使用せずに、モノマー(a−1)及び/又はモノマー(a−1’)、モノマー(a−2)、並びに重合性モノマー(a−3)(任意)と重合開始剤とを使用して塊状重合を行ってもよい。
【0046】
上記の共重合反応で得られた共重合体(A)にカルボキシル基、エポキシ基もしくは酸無水物基が存在する場合は、さらに二重結合を導入することが可能である。これにより、感光性樹脂組成物の感度や現像性が向上する。
共重合体(A)中のカルボキシル基、エポキシ基もしくは酸無水物基に二重結合を付加する反応は、共重合体にそれぞれエポキシ基含有モノマー、カルボキシル基含有モノマー、水酸基含有モノマーと重合禁止剤及び触媒を添加し、50〜150℃、好ましくは80〜130℃で反応を行えばよい。なお、この付加反応では、共重合反応に用いた溶剤が含まれていても特に問題はないため、共重合反応が終了した後に溶剤を除去することなく付加反応を行うことができる。
また、ここでは上記の重合性モノマー(a−3)で挙げられた化合物を使用することができる。
ここで、重合禁止剤は、共重合体の重合によるゲル化を防ぐために添加される。重合禁止剤としては、特に限定されないが、例えば、ハイドロキノン、メチルハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテルなどが挙げられる。また、触媒としては、特に限定されないが、例えば、トリエチルアミンのような第3級アミン、トリエチルベンジルアンモニウムクロライドのような第4級アンモニウム塩、トリフェニルホスフィンのようなリン化合物、クロムのキレート化合物などが挙げられる。
【0047】
上記のようにして得られる共重合体(A)の酸価(JIS K6901 5.3)は、制限はないが、感光性樹脂に使用する場合、通常20〜300KOHmg/g、好ましくは30〜200KOHmg/gである。この酸価が20KOHmg/g未満であると、感光性樹脂としての現像性が低下してしまうことがある。一方、この酸価が300KOHmg/gを超えると、アルカリ現像液に対して露光部分(光硬化部分)が溶解し易くなることがある。
また、共重合体(A)の分子量(ポリスチレン換算の重量平均分子量)は、通常1000〜50000、好ましくは3000〜40000である。この分子量が1000未満であると、現像後に着色パターンの欠けが発生し易くなることがある。一方、この分子量が50000を超えると、現像時間が長くなり過ぎてしまい、実用性に欠けることがある。
また、共重合体(A)が不飽和基を有する場合、その不飽和基当量は制限はないが通常100〜4000g/mol、好ましくは200〜3000g/molである。この不飽和基当量が100g/mol以上の方が耐熱分解性、耐熱黄変性をより高めるには効果的である。一方、この不飽和基当量が4000g/mol未満の方が感度をより高めるには効果的である。
【0048】
さらに、本発明は共重合体(A)、溶剤(B)および任意に反応性希釈剤(C)を含む樹脂組成物に関する。また本発明の感光性樹脂組成物は、共重合体(A)、溶剤(B)、反応性希釈剤(C)、光重合開始剤(D)および任意に着色剤(E)を含む。
【0049】
溶剤(B)は、共重合体(A)と反応しない不活性な溶剤であれば特に限定されない。
溶剤(B)としては、共重合体(A)を製造する際(共重合反応)に用いた溶剤と同じものを用いることができ、共重合反応後に含まれている溶剤をそのまま用いることもでき、更に加えることもできる。また、その他の成分を加える際に、そこに共存しているものでも良い。具体的には、溶剤(B)の例として、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸イソプロピル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールエチルエーテルアセテートなどが挙げられる。これらは、単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。また、これらの中でも、共重合体(A)を製造する際(共重合反応)において使用されるプロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートなどのグリコールエーテル系溶剤が好ましい。
【0050】
本実施の形態の樹脂組成物又は感光性樹脂組成物における溶剤(B)の配合量は、当該組成物中の溶剤(B)を除く成分の総和を100質量部とすると、一般に30〜1000質量部、好ましくは50〜800質量部であり、より好ましくは100〜700質量部である。この範囲の配合量であれば、適切な粘度を有する樹脂組成物又は感光性樹脂組成物となる。
【0051】
反応性希釈剤(C)としては特に限定されないが、例えば、スチレン、α−メチルスチレン、α−クロロメチルスチレン、ビニルトルエン、ジビニルベンゼン、ジアリルフタレート、ジアリルベンゼンホスホネートなどの芳香族ビニル系モノマー類;酢酸ビニル、アジピン酸ビニルなどのポリカルボン酸モノマー類;メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、β−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリス(ヒドロキシエチル)イソシアヌレートのトリ(メタ)アクリレートなどの(メタ)アクリル系モノマー;トリアリルシアヌレートなどが挙げられる。これらは、単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
【0052】
本実施の形態の樹脂組成物又は感光性樹脂組成物における反応性希釈剤(C)の配合量は、当該組成物中の溶剤(B)を除く成分の総和を100質量部とすると
、一般に10〜90質量部、好ましくは20〜80質量部であり、より好ましくは25〜70質量部である。この範囲の配合量であれば、適切な粘度を有する樹脂組成物又は感光性樹脂組成物となり、感光性樹脂組成物は適切な光硬化性を有する。
【0053】
光重合開始剤(D)としては、特に限定されないが、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテルなどのベンゾインとそのアルキルエーテル類;アセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノン、4−(1−t−ブチルジオキシ−1−メチルエチル)アセトフェノンなどのアセトフェノン類;2−メチルアントラキノン、2−アミルアントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノンなどのアントラキノン類;2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン、2−クロロチオキサントンなどのチオキサントン類;アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタールなどのケタール類;ベンゾフェノン、4−(1−t−ブチルジオキシ−1−メチルエチル)ベンゾフェノン、3,3’,4,4’−テトラキス(t−ブチルジオキシカルボニル)ベンゾフェノンなどのベンゾフェノン類;2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノ−プロパン−1−オン;2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタノン−1;アシルホスフィンオキサイド類;及びキサントン類などが挙げられる。これらは、単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
【0054】
本実施の形態の感光性樹脂組成物における光重合開始剤(D)の配合量は、感光性樹脂組成物中の溶剤(B)を除く成分の総和を100質量部とすると、一般に0.1〜30質量部、好ましくは0.5〜20質量部、より好ましくは1〜15質量部である。この範囲の配合量であれば、適切な光硬化性を有する感光性樹脂組成物となる。
【0055】
着色剤(E)は、溶剤(B)に溶解又は分散するものであれば特に限定されず、例えば、染料や顔料などが挙げられる。
特に、従来の感光性樹脂組成物では、染料を用いると輝度が高い着色パターンを得ることができたが、顔料を用いた場合に比べて着色パターンの耐熱性が低くなるという問題があった。これに対して、本実施の形態の感光性樹脂組成物では、染料を用いても耐熱性に優れた着色パターンを得ることができる。
【0056】
染料としては、溶剤(B)やアルカリ現像液に対する溶解性、感光性樹脂組成物中の他の成分との相互作用、耐熱性などの観点から、カルボン酸などの酸性基を有する酸性染料、酸性染料の窒素化合物との塩、酸性染料のスルホンアミド体などを用いることが好ましい。このような染料の例としては、acid alizarin violet N;acid black1、2、24、48;acid blue1、7、9、25、29、40、45、62、70、74、80、83、90、92、112、113、120、129、147;acid chrome violet K;acid Fuchsin;acid green1、3、5、25、27、50;acid orange6、7、8、10、12、50、51、52、56、63、74、95;acid red1、4、8、14、17、18、26、27、29、31、34、35、37、42、44、50、51、52、57、69、73、80、87、88、91、92、94、97、103、111、114、129、133、134、138、143、145、150、151、158、176、183、198、211、215、216、217、249、252、257、260、266、274;acid violet 6B、7、9、17、19;acid yellow1、3、9、11、17、23、25、29、34、36、42、54、72、73、76、79、98、99、111、112、114、116; food yellow3及びこれらの誘導体などが挙げられる。これらの中でも、アゾ系、キサンテン系、アンスラキノン系もしくはフタロシアニン系の酸性染料が好ましい。これらは、目的とする画素の色に応じて、単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
【0057】
顔料の例としては、C.I.ピグメントイエロー1、3、12、13、14、15、16、17、20、24、31、53、83、86、93、94、109、110、117、125、128、137、138、139、147、148、150、153、154、166、173、194、214などの黄色顔料;C.I.ピグメントオレンジ13、31、36、38、40、42、43、51、55、59、61、64、65、71、73などの橙色顔料;C.I.ピグメントレッド9、97、105、122、123、144、149、166、168、176、177、180、192、209、215、216、224、242、254、255、264、265などの赤色顔料;C.I.ピグメントブルー15、15:3、15:4、15:6、60などの青色顔料;C.I.ピグメントバイオレット1、19、23、29、32、36、38などのバイオレット色顔料;C.I.ピグメントグリーン7、36、58などの緑色顔料;C.I.ピグメントブラウン23、25などの茶色顔料;C.I.ピグメントブラック1、7、カーボンブラック、チタンブラック、酸化鉄などの黒色顔料などが挙げられる。これらは、目的とする画素の色に応じて、単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
なお、目的とする画素の色に応じて、上記の染料及び顔料を組み合わせて用いることもできる。
【0058】
本実施の形態の感光性樹脂組成物において着色剤(E)を配合する場合の配合量は、感光性樹脂組成物中の溶剤(B)を除く成分の総和を100質量部とすると、一般に5〜80質量部、好ましくは5〜70質量部、より好ましくは10〜60質量部である。
【0059】
着色剤(E)として顔料を用いる場合、顔料の分散性を向上させる観点から、公知の分散剤を感光性樹脂組成物に配合してもよい。分散剤としては、経時の分散安定性に優れる高分子分散剤を用いることが好ましい。高分子分散剤の例としては、ウレタン系分散剤、ポリエチレンイミン系分散剤、ポリオキシエチレンアルキルエーテル系分散剤、ポリオキシエチレングリコールジエステル系分散剤、ソルビタン脂肪族エステル系分散剤、脂肪族変性エステル系分散剤などが挙げられる。このような高分子分散剤として、EFKA(エフカーケミカルズビーブイ(EFKA)社製)、Disperbyk(ビックケミー社製)、ディスパロン(楠本化成株式会社製)、SOLSPERSE(ゼネカ社製)などの商品名で市販されているものを用いてもよい。
本実施の形態の感光性樹脂組成物における分散剤の配合量は、使用する顔料などの種類に応じて適宜設定すればよい。
【0060】
本実施の形態の感光性樹脂組成物が着色剤(E)を含む場合、共重合体(A)、溶剤(B)、反応性希釈剤(C)、光重合開始剤(D)、着色剤(E)の配合量は一般に、感光性樹脂組成物中の溶剤(B)を除く成分の総和を100質量部とすると、共重合体(A)が5〜80質量部、溶剤(B)が30〜1000質量部、反応性希釈剤(C)が10〜90質量部、光重合開始剤(D)が0.1〜30質量部、着色剤(E)が5〜80質量部であり、好ましくは、共重合体(A)が8〜70質量部、溶剤(B)が50〜800質量部、反応性希釈剤(C)が20〜80質量部、光重合開始剤(D)が0.5〜20質量部、着色剤(E)が5〜70質量部であり、更に好ましくは、共重合体(A)が10〜60質量部、溶剤(B)が100〜700質量部、反応性希釈剤(C)が25〜70質量部、光重合開始剤(D)が1〜15質量部、着色剤(E)が10〜60質量部である。
【0061】
本実施の形態の感光性樹脂組成物が着色剤(E)を含まない場合でも、共重合体(A)、溶剤(B)、反応性希釈剤(C)、光重合開始剤(D)の配合量は、上記の数値が適用可能である。
本実施の形態の樹脂組成物における、共重合体(A)、溶剤(B)の配合量は、樹脂組成物中の溶剤(B)を除く成分の総和を100質量部とすると、共重合体(A)が、50〜100質量部であり、溶剤(B)が30〜1000質量部、好ましくは50〜800質量部、より好ましくは100〜700質量部である。
本実施の形態の樹脂組成物が反応性希釈剤(C)を含む場合、共重合体(A)、溶剤(B)、反応性希釈剤(C)の配合量は、樹脂組成物中の溶剤(B)を除く成分の総和を100質量部とすると、共重合体(A)は、10〜90質量部、溶剤(B)が30〜1000質量部、反応性希釈剤(C)が10〜90質量部であり、好ましくは、共重合体(A)は、20〜80質量部、溶剤(B)が50〜800質量部、反応性希釈剤(C)が20〜80質量部であり、より好ましくは、共重合体(A)は、30〜75質量部、溶剤(B)が100〜700質量部、反応性希釈剤(C)が25〜70質量部である。
【0062】
本実施の形態の感光性樹脂組成物は、上記の成分に加えて、所定の特性を付与するために、公知のカップリング剤、レベリング剤、熱重合禁止剤などの公知の添加剤を配合してもよい。これらの添加剤の配合量は、本発明の効果を阻害しない範囲であれば特に限定されない。
【0063】
本実施の形態の感光性樹脂組成物は、公知の混合装置を用い、上記の成分を混合することによって製造することができる。
なお、本実施の形態の感光性樹脂組成物は、先に共重合体(A)および溶剤(B)を含む樹脂組成物を調製した後、反応性希釈剤(C)、光重合開始剤(D)、および任意の着色剤(E)を混合して製造することも可能である。なお、当該樹脂組成物は、本実施の形態の感光性樹脂組成物を調製するために用いることが出来るほか、他の用途で使用することも可能である。
【0064】
上記のようにして得られる本実施の形態の感光性樹脂組成物は、アルカリ現像性を有しているので、アルカリ水溶液を用いることによって現像を行うことができる。特に、本実施の形態の感光性樹脂組成物は、感度や現像性に優れると共に、耐熱分解性及び耐熱黄変性に優れた着色パターンを与えることができる。そのため、本実施の形態の感光性樹脂組成物は、各種レジスト、特に、有機ELディスプレイ、液晶表示装置、固体撮像素子に組み込まれるカラーフィルターを製造するために用いられるレジストとして用いるのに適している。また、本実施の形態の感光性樹脂組成物は、耐熱分解性及び耐熱黄変性などの様々な特性に優れた硬化膜を与えるので、各種コーティング、接着剤、印刷インキ用バインダーなどに用いることもできる。
【0065】
次に、本発明の感光性樹脂組成物を用いて調製したカラーフィルターについて説明する。本発明のカラーフィルターは、上記の感光性樹脂組成物から得られる着色パターンを有する。
以下、本発明の一実施形態のカラーフィルターについて、図面を用いて説明する。
図1は、本実施のカラーフィルターの断面図である。
図1において、カラーフィルターは、基板1と、基板1上に形成される、RGBの画素2及び画素2の境界に形成されるブラックマトリックス3と、画素2及びブラックマトリックス3上に形成される保護膜4とから構成される。この構成において、画素2及びブラックマトリックス3(着色パターン)が上記の感光性樹脂組成物を用いて形成されることを除けば、その他の構成は公知のものを採用することができる。なお、
図1に示したカラーフィルターは一例であり、この構成のみに限定されない。
【0066】
次に、本発明の一実施形態のカラーフィルターの製造方法について説明する。
まず、基材1上に着色パターンを形成する。具体的には、基材1上に、ブラックマトリックス3及び画素2を順次形成する。ここで、基材1としては、特に限定されないが、ガラス基板、シリコン基板、ポリカーボネート基板、ポリエステル基板、ポリアミド基板、ポリアミドイミド基板、ポリイミド基板、アルミニウム基板、プリント配線基板、アレイ基板などを用いることができる。
【0067】
着色パターンは、フォトリソグラフィ法により形成することができる。具体的には、上記の感光性樹脂組成物を基板1上に塗布して塗布膜を形成した後、所定のパターンのフォトマスクを介して塗布膜を露光して露光部分を光硬化させる。そして、未露光部分をアルカリ水溶液で現像した後、ベーキングすることにより、所定のパターンを形成することができる。
感光性樹脂組成物の塗布方法としては、特に限定されないが、スクリーン印刷法、ロールコート法、カーテンコート法、スプレーコート法、スピンコート法などを用いることができる。また、感光性樹脂組成物の塗布後、必要に応じて、循環式オーブン、赤外線ヒーター、ホットプレートなどの加熱手段を用いて加熱することにより溶剤(B)を揮発させてもよい。加熱条件は、特に限定されず、使用する感光性樹脂組成物の種類に応じて適宜設定すればよい。一般には、50℃〜120℃の温度で30秒〜30分加熱すればよい。
【0068】
露光に用いられる光源としては、特に限定されないが、低圧水銀ランプ、中圧水銀ランプ、高圧水銀ランプ、キセノンランプ、メタルハライドランプなどを用いることができる。また、露光量も、特に限定されず、使用する感光性樹脂組成物の種類に応じて適宜調整すればよい。
現像に用いられるアルカリ水溶液としては、特に限定されないが、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸カルシウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどの水溶液;エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミンなどのアミン系化合物の水溶液;3−メチル−4−アミノ−N,N−ジエチルアニリン、3−メチル−4−アミノ−N−エチル−N−β−ヒドロキシエチルアニリン、3−メチル−4−アミノ−N−エチル−N−β−メタンスルホンアミドエチルアニリン、3−メチル−4−アミノ−N−エチル−N−β−メトキシエチルアニリン及びこれらの硫酸塩、塩酸塩又はp−トルエンスルホン酸塩などのp−フェニレンジアミン系化合物の水溶液などを用いることができる。これらの中でも、p−フェニレンジアミン系化合物の水溶液を用いることが好ましい。なお、これらの水溶液には、必要に応じて消泡剤や界面活性剤を添加してもよい。また、上記のアルカリ水溶液による現像の後、水洗して乾燥させることが好ましい。
ベーキングの条件は、特に限定されず、使用する感光性樹脂組成物の種類に応じて加熱処理を行えばよい。一般には、130〜250℃で10〜60分間加熱すればよい。
【0069】
上記のような塗布、露光、現像及びベーキングを、ブラックマトリックス3用の感光性樹脂組成物、及び画素2用の感光性樹脂組成物を用いて順次繰り返すことにより、所望の着色パターンを形成することができる。
なお、上記では、光硬化による着色パターンの形成方法を説明したが、光重合開始剤(D)の代わりに、硬化促進剤及び公知のエポキシ樹脂を配合した感光性樹脂組成物を用いれば、インクジェット法により塗布した後、加熱することにより、所望の着色パターンを形成することもできる。
次に、着色パターン(画素2及びブラックマトリックス3)上に保護膜4を形成する。保護膜4としては、特に限定されず、公知のものを用いて形成すればよい。
【0070】
このようにして製造されるカラーフィルターは、感度や現像性に優れると共に、耐熱分解性及び耐熱黄変性に優れた着色パターンを与える感光性樹脂組成物を用いて製造しているため、耐熱分解性及び耐熱分解性に優れた着色パターンを有する。
【実施例】
【0071】
以下、実施例を参照して本発明を詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例により限定されない。なお、この実施例において、部及びパーセントとあるのは特に断らない限り、全て質量基準である。また、酸価とは、JIS K6901 5.3に従って測定された共重合体(A)の酸価であって、共重合体(A)1g中に含まれる酸性成分を中和するのに要する水酸化カリウムのmg数を意味する。また、分子量(Mw)とは、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)を用いて、下記条件にて測定した標準ポリスチレン換算重量平均分子量を意味する。
カラム:ショウデックス(登録商標) LF−804+LF−804(昭和電工株式会社製)
カラム温度:40℃
試料:共重合体の0.2%テトラヒドロフラン溶液
展開溶媒:テトラヒドロフラン
検出器:示差屈折計(ショウデックス RI−71S)(昭和電工株式会社製)
流速: 1mL/min
【0072】
本発明の共重合体(A)の製造例を以下に示す。
<製造実施例1>
攪拌装置、滴下ロート、コンデンサー、温度計及びガス導入管を備えたフラスコに、189.7gのプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート及び147.4gのエトキシ化o−フェニルフェノールアクリレート(a−2)を入れた後、窒素置換しながら攪拌し、120℃に昇温した。次に、4.4gのジシクロペンタニルメタクリレート(a−1)及び37.0gのメタクリル酸(a−3)からなるモノマー混合物に、0.9gのt−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート(重合開始剤)を添加したものを滴下ロートから前記フラスコ中に滴下した。滴下終了後、120℃で2時間攪拌して共重合反応を行い、共重合体(A)を生成させた。
次に、この共重合体に、94.9gのプロピレングリコールモノメチルエーテルを加え、試料No.1(固形分酸価126mgKOH/g、重量平均分子量20000)を得た。
【0073】
<製造実施例2>
同様にフラスコに、189.7gのプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート及び147.4gのエトキシ化o−フェニルフェノールアクリレート(a−2)を入れた後、窒素置換しながら攪拌し、120℃に昇温した。次に、4.4gのジシクロペンタニルメタクリレート(a−1)及び37.0gのメタクリル酸(a−3)からなるモノマー混合物に、0.9gのt−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエートを添加したものを滴下ロートから前記フラスコ中に滴下した。滴下終了後、120℃で2時間攪拌して共重合反応を行い、共重合体を生成させた。
次に、前記フラスコ内を空気に置換した後、14.2gのグリシジルメタクリレート、0.6gのトリフェニルホスフィン(触媒)、及び0.6gのハイドロキノン(重合禁止剤)を加え、120℃で6時間付加反応を行い、共重合体(A)を生成させた。
次に、この共重合体に、116.2gのプロピレングリコールモノメチルエーテルを加え、試料No.2(固形分酸価90mgKOH/g、重量平均分子量22000)を得た。
【0074】
<製造実施例3>
同様にフラスコに、160.5gのプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート及び99.2gのエトキシ化o−フェニルフェノールアクリレート(a−2)を入れた後、窒素置換しながら攪拌し、120℃に昇温した。次に、6.6gのジシクロペンタニルメタクリレート(a−1)及び85.2gのグリシジルメタクリレート(a−3)からなるモノマー混合物に、5.3gのt−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエートを添加したものを滴下ロートから前記フラスコ中に滴下した。滴下終了後、120℃で2時間攪拌して共重合反応を行い、共重合体を生成させた。
次に、前記フラスコ内を空気に置換した後、41.9gのアクリル酸、0.7gのトリフェニルホスフィン、及び0.7gのハイドロキノンを加え、120℃で6時間付加反応を行い、共重合体を生成させた。
次に、この共重合体に、60.8gのテトラヒドロ無水フタル酸を加え、115℃で1時間付加反応を行い、共重合体(A)を生成させた。
次に、この共重合体(A)に、287.8gのプロピレングリコールモノメチルエーテルを加え、試料No.3(固形分酸価75mgKOH/g、重量平均分子量21000)を得た。
【0075】
<製造実施例4>
同様にフラスコに、215.1gのプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート及び91.8gのエトキシ化o−フェニルフェノールアクリレート(a−2)、41.7gの無水マレイン酸(a−3)を入れた後、窒素置換しながら攪拌し、120℃に昇温した。次に、4.4gのジシクロペンタニルメタクリレート(a−1)及び25.1gのビニルトルエン(a−3)からなるモノマー混合物に、13.0gのt−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエートを添加したものを滴下ロートから前記フラスコ中に滴下した。滴下終了後、120℃で2時間攪拌して共重合反応を行い、共重合体を生成させた。
次に、前記フラスコ内を空気に置換した後、40.6gの2−ヒドロキシエチルアクリレート、1.0gのトリエチルアミン(触媒)、及び1.0gのハイドロキノンを加え、120℃で6時間付加反応を行い、共重合体(A)を生成させた。
次に、この共重合体(A)に、109.8gのプロピレングリコールモノメチルエーテルを加え、試料No.4(固形分酸価110mgKOH/g、重量平均分子量5800)を得た。
【0076】
<製造実施例5>
同様にフラスコに、217.2gのプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート及び187.6gのエトキシ化o−フェニルフェノールアクリレート(a−2)を入れた後、窒素置換しながら攪拌し、120℃に昇温した。次に、4.4gのジシクロペンタニルメタクリレート(a−1)及び24.1gのメタクリル酸(a−3)からなるモノマー混合物に、1.1gのt−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエートを添加したものを滴下ロートから前記フラスコ中に滴下した。滴下終了後、120℃で2時間攪拌して共重合反応を行い、共重合体を生成させた。
次に、前記フラスコ内を空気に置換した後、14.2gのグリシジルメタクリレート、0.7gのトリフェニルホスフィン、及び0.7gのハイドロキノンを加え、120℃で6時間付加反応を行い、共重合体(A)を生成させた。
次に、この共重合体に、129.9gのプロピレングリコールモノメチルエーテルを加え、試料No.5(固形分酸価43mgKOH/g、重量平均分子量13900)を得た。
【0077】
<製造実施例6>
同様にフラスコに、170.1gのプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート及び53.6gのエトキシ化o−フェニルフェノールアクリレート(a−2)を入れた後、窒素置換しながら攪拌し、120℃に昇温した。次に、66.0gのジシクロペンタニルメタクリレート(a−1)及び43.0gのメタクリル酸(a−3)からなるモノマー混合物に、0.8gのt−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエートを添加したものを滴下ロートから前記フラスコ中に滴下した。滴下終了後、120℃で2時間攪拌して共重合反応を行い、共重合体を生成させた。
次に、前記フラスコ内を空気に置換した後、14.2gのグリシジルメタクリレート、0.5gのトリフェニルホスフィン(触媒)、及び0.5gのハイドロキノン(重合禁止剤)を加え、120℃で6時間付加反応を行い、共重合体(A)を生成させた。
次に、この共重合体(A)に、96.3gのプロピレングリコールモノメチルエーテルを加え、試料No.6(固形分酸価125mgKOH/g、重量平均分子量25600)を得た。
【0078】
<製造実施例7>
同様にフラスコに、187.2gのプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート及び1.9gのノルボルネン(a−1’)、147.4gのエトキシ化o−フェニルフェノールアクリレート(a−2)を入れた後、窒素置換しながら攪拌し、120℃に昇温した。次に、37.0gのメタクリル酸(a−3)に、0.9gのt−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエートを添加したものを滴下ロートから前記フラスコ中に滴下した。滴下終了後、120℃で2時間攪拌して共重合反応を行い、共重合体を生成させた。
次に、前記フラスコ内を空気に置換した後、14.2gのグリシジルメタクリレート、0.6gのトリフェニルホスフィン、及び0.6gのハイドロキノンを加え、120℃で6時間付加反応を行い、共重合体(A)を生成させた。
次に、この共重合体(A)に、114.9gのプロピレングリコールモノメチルエーテルを加え、試料No.7(固形分酸価91mgKOH/g、重量平均分子量21500)を得た。
【0079】
<製造実施例8>
同様にフラスコに、189.8gのプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート及び147.4gのエトキシ化o−フェニルフェノールアクリレート(a−2)を入れた後、窒素置換しながら攪拌し、120℃に昇温した。次に、4.4gのイソボルニルメタクリレート(a−1)及び37.0gのメタクリル酸(a−3)に、0.9gのt−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエートを添加したものを滴下ロートから前記フラスコ中に滴下した。滴下終了後、120℃で2時間攪拌して共重合反応を行い、共重合体を生成させた。
次に、前記フラスコ内を空気に置換した後、14.2gのグリシジルメタクリレート、0.6gのトリフェニルホスフィン、及び0.6gのハイドロキノンを加え、120℃で6時間付加反応を行い、共重合体(A)を生成させた。
次に、この共重合体(A)に、116.2gのプロピレングリコールモノメチルエーテルを加え、試料No.8(固形分酸価90mgKOH/g、重量平均分子量21800)を得た。
【0080】
<製造実施例9>
同様にフラスコに、197.8gのプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート及び147.4gのエトキシ化o−フェニルフェノールアクリレート(a−2)を入れた後、窒素置換しながら攪拌し、120℃に昇温した。次に、4.7gの2−メチル−2−アダマンチルメタクリレート(a−1)及び37.0gのメタクリル酸(a−3)に、0.9gのt−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエートを添加したものを滴下ロートから前記フラスコ中に滴下した。滴下終了後、120℃で2時間攪拌して共重合反応を行い、共重合体を生成させた。
次に、前記フラスコ内を空気に置換した後、14.2gのグリシジルメタクリレート、0.6gのトリフェニルホスフィン、及び0.6gのハイドロキノンを加え、120℃で6時間付加反応を行い、共重合体(A)を生成させた。
次に、この共重合体(A)に、108.5gのプロピレングリコールモノメチルエーテルを加え、試料No.9(固形分酸価90mgKOH/g、重量平均分子量22500)を得た。
【0081】
以下に、比較品である共重合体の製造例を示す。
<製造比較例1>
同様にフラスコに、218.1gのプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート及び193.0gのエトキシ化o−フェニルフェノールアクリレート(a−2)を入れた後、窒素置換しながら攪拌し、120℃に昇温した。次に、24.1gのメタクリル酸(a−3)に、0.9gのt−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエートを添加したものを滴下ロートから前記フラスコ中に滴下した。滴下終了後、120℃で2時間攪拌して共重合反応を行い、共重合体を生成させた。
次に、前記フラスコ内を空気に置換した後、14.2gのグリシジルメタクリレート、0.6gのトリフェニルホスフィン、及び0.6gのハイドロキノンを加え、120℃で6時間付加反応を行い、共重合体を生成させた。
次に、この共重合体に、130.4gのプロピレングリコールモノメチルエーテルを加え、試料No.10(固形分酸価44mgKOH/g、重量平均分子量24800)を得た。
【0082】
<製造比較例2>
同様にフラスコに、160.0gのプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを入れた後、窒素置換しながら攪拌し、120℃に昇温した。次に、110.0gのジシクロペンタニルメタクリレート(a−1)、43.0gのメタクリル酸(a−3)に、0.8gのt−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエートを添加したものを滴下ロートから前記フラスコ中に滴下した。滴下終了後、120℃で2時間攪拌して共重合反応を行い、共重合体を生成させた。
次に、前記フラスコ内を空気に置換した後、14.2gのグリシジルメタクリレート、0.5gのトリフェニルホスフィン、及び0.5gのハイドロキノンを加え、120℃で6時間付加反応を行い、共重合体を生成させた。
次に、この共重合体に、91.9gのプロピレングリコールモノメチルエーテルを加え、試料No.11(固形分酸価132mgKOH/g、重量平均分子量26300)を得た。
【0083】
試料No.1〜11を用いて、透明レジスト、カラーレジスト(顔料タイプ)及びカラーレジスト(染料タイプ)を調製した。
<透明レジストの調製>
試料No.1〜11の固形分100質量部に対して、ペンタエリスリトールテトラアクリレート(反応性希釈剤)30質量部、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン(光重合開始剤)4質量部を添加して感光性樹脂組成物を調製し、これを用いて透明レジストを調製した(実施例1〜9及び比較例1、2)。
【0084】
<透明レジストによるパターン形成>
調製された透明レジストを、5cm角ガラス基板(無アルカリガラス基板)上に、最終の硬化塗膜の厚さが2.5μmとなるようにスピンコートした後、90℃で3分間加熱することで溶剤を揮発させた。次に塗膜の全面を露光(露光量50mJ/cm
2)し、光硬化させた後、さらに230℃で30分間ベーキングすることで硬化塗膜を得た。
【0085】
<透明レジストから形成された塗膜の評価>
透明レジストから形成された塗膜について、耐熱分解性、耐熱黄変性及び透明性を評価した。
(1)耐熱分解性の評価
ガラス基板上に製膜した塗膜を切り出したサンプルを用い、熱重量分析(TGA)を行うことによって評価した。この分析では、このサンプルと、サンプルを220℃まで加熱して2時間保持したサンプルとの間の重量変化率を求めた。この評価の基準は以下の通りである。
○:−2.0%未満
×:−2.0%以上
【0086】
(2)耐熱黄変性の評価
ガラス基板上に製膜した塗膜を230℃の乾燥機中に1時間放置し、加熱処理前後の塗膜の着色を日本電色工業(株)製 色差計SE2000にて比較した。この評価の基準は以下の通りである。
○:ΔE
*abが0.3未満
×:ΔE
*abが0.3以上
【0087】
(3)透明性の評価
ガラス基板上に製膜した塗膜を230℃の乾燥機中に1時間放置し、加熱処理前後の塗膜の400nmの光線透過率を(株)島津製作所製 分光光度計UV−1650PCにて測定し、その透過率の変化率を調べることによって評価した。この評価の基準は以下の通りである。
○:透過率の変化率が1%未満
×:透過率の変化率が1%以上
上記の耐熱分解性、耐熱黄変性、透明性の評価結果を表1に示す。
【0088】
【表1】
【0089】
表1の結果からわかるように、実施例1〜9の透明レジストは、耐熱分解性、耐熱黄変性、透明性の全てに優れたパターンを与えたのに対し、比較例1、2の透明レジストは、耐熱分解性、耐熱黄変性、透明性のいずれかが十分でないパターンを与えた。
【0090】
<カラーレジスト(顔料タイプ)の調製>
直径0.5mmのジルコニアビーズ180質量部を充填したSUS容器に、10.00質量部のC.Iピグメントグリーン36、33.75質量部のPGMEA(溶剤)、及び6.25質量部の分散剤(ビックケミー・ジャパン株式会社製Disperbyk−161)を加え、ペイントシェーカーで3時間混合して分散させることにより、緑色顔料分散液を得た。
次に、調製した緑色顔料分散液、試料No.1〜11、及びその他の成分を混合することによって感光性樹脂組成物を調製し、これを用いてカラーレジスト(顔料タイプ)を調製した(実施例10〜18及び比較例3〜4)。このカラーレジスト(顔料タイプ)の配合成分及びその配合量を表2に示す。
【0091】
【表2】
【0092】
<カラーレジスト(顔料タイプ)によるパターン形成>
調製されたカラーレジスト(顔料タイプ)を、5cm角ガラス基板(無アルカリガラス基板)上に、露光後の厚さが1.5μmとなるようにスピンコートした後、90℃で3分間加熱することで溶剤を揮発させ、乾燥させた。次に、塗布膜から100μmの距離に所定のパターンのフォトマスクを配置し、このフォトマスクを介して塗布膜を露光(露光量150mJ/cm
2)し、露光部分を光硬化させた。次に、0.1質量%の炭酸ナトリウムを含む水溶液を23℃の温度及び0.3MPaの圧力でスプレーすることによって未露光部分を溶解して現像した後、230℃で30分間ベーキングすることで所定のパターンを形成した。
【0093】
<カラーレジスト(顔料タイプ)及びパターンの確認>
カラーレジスト(顔料タイプ)及びパターンについて、アルカリ現像性、感度、耐熱黄変性及び耐溶剤性を確認した。
(4)アルカリ現像性の評価
アルカリ現像性は、アルカリ現像後の残渣、及び現像形態により確認した。
アルカリ現像後の残渣は、アルカリ現像後のパターンを、(株)日立ハイテクノロジーズ製電子顕微鏡S−3400を用いて観察することにより確認した。この評価の基準は以下の通りである。
○:残渣なし
×:残渣あり
現像形態は、アルカリ現像による未露光部分の除去形態を目視にて評価した。ここで、ネガ型レジストの現像工程においては、未硬化の未露光部分がアルカリ現像液により溶解して基板上から離脱していくが、その現像形態としては、離脱していく部分が主に大きな塊となって剥がれる剥離型と、徐々に溶解及び拡散する溶解型とがある。前者の剥離型は、塊が異物となって系内に残留し、他の色の画素を汚染し易いので好まれない。つまり、後者の溶解型が好ましい。
○:溶解型
×:剥離型
【0094】
(5)感度の評価
感度は、上記のスプレーを用いたアルカリ現像を30秒間行い、アルカリ現像前後におけるパターン厚さの減少量を測定した。このパターン厚さは、減少量が少ないほど感度が良好であると言えるため、この評価の基準は以下の通りとした。
○:0.20μm未満
×:0.20μm以上
【0095】
(6)耐熱黄変性の評価
耐熱黄変性は、フォトマスクを使用せずに全面露光し、硬化させた最終塗膜の膜厚を2.5μmに変えること以外は上記と同様にして光硬化させて形成した塗膜を用い、230℃の乾燥機中に1時間放置し、加熱処理前後の塗膜の着色を日本電色工業(株)製 色差計SE2000にて比較した。この評価の基準は以下の通りである。
○:ΔE
*abが0.3未満
×:ΔE
*abが0.3以上
【0096】
(7)耐溶剤性の評価
耐溶剤性は、耐熱黄変評価サンプルと同様に作製した塗膜を用い、容量500mLの蓋付きガラス瓶に200mLのn−メチル−2−ピロリドンを入れ、その中にパターンサンプルを浸漬した後、23℃で1時間後の色変化を(株)島津製作所製分光光度計UV−1650PCにて測定した。この評価の基準は以下の通りである。
○:ΔE
*abが0.3未満
×:ΔE
*abが0.3以上
上記のアルカリ現像性、感度、耐熱黄変性及び耐溶剤性の評価結果を表3に示す。
【0097】
【表3】
【0098】
表3の結果からわかるように、実施例10〜18のカラーレジスト(顔料タイプ)は、アルカリ現像性及び感度が良好であり、耐熱黄変性及び耐溶剤性に優れるパターンを与えたのに対し、比較例3〜4のカラーレジスト(顔料タイプ)は、アルカリ現像性と感度が良好でなく、耐熱黄変性又は耐溶剤性が十分でないパターンを与えた。
【0099】
<カラーレジスト(染料タイプ)の調製>
染料(acid green3)、試料No.1〜11、及びその他の成分を混合することによって感光性樹脂組成物を調製し、この組成物を用いてカラーレジスト(染料タイプ)を調製した(実施例19〜27及び比較例5〜6)。このカラーレジスト(染料タイプ)の配合成分及びその配合量を表4に示す。
【0100】
【表4】
【0101】
<カラーレジスト(染料タイプ)によるパターン形成>
カラーレジスト(染料タイプ)を用いたこと以外は、カラーレジスト(顔料タイプ)によるパターン形成と同様にして所定のパターンを形成した。
<カラーレジスト(染料タイプ)及びパターンの評価>
カラーレジスト(顔料タイプ)と同様の方法にて、アルカリ現像性、感度、耐熱黄変性及び耐溶剤性を評価した。
上記のアルカリ現像性、感度、耐熱黄変性及び耐溶剤性の評価結果を表5に示す。
【0102】
【表5】
【0103】
表5の結果からわかるように、実施例19〜27のカラーレジスト(染料タイプ)は、アルカリ現像性及び感度が良好であり、耐溶剤性に優れるパターンを与えたのに対し、比較例5〜6のカラーレジスト(染料タイプ)は、アルカリ現像性と感度が良好でなく、耐熱黄変性又は耐溶剤性が十分でないパターンを与えた。
【0104】
以上の結果からわかるように、本発明によれば、感度や現像性が良好であると共に、耐熱分解性、耐熱黄変性及び耐溶剤性に優れた着色パターンを与える感光性樹脂組成物を提供することができる。また、本発明によれば、耐熱分解性及び耐熱黄変性に優れた着色パターンを有するカラーフィルターを提供することができる。