特許5737189単結晶基板、それを用いて得られるＩＩＩ族窒化物結晶及びＩＩＩ族窒化物結晶の製造方法

発明の名称　単結晶基板、それを用いて得られるＩＩＩ族窒化物結晶及びＩＩＩ族窒化物結晶の製造方法

出願人　三菱化学株式会社　（識別番号 5968）

　　　　特許公開件数ランキング 30184 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 24450 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5737189

公報発行日　2015年6月17

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5737189

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