特許5738592多結晶シリコンの清浄化方法

発明の名称　多結晶シリコンの清浄化方法

出願人　ワッカー　ケミー　アクチエンゲゼルシャフト　（識別番号 390008969）

　　　　特許公開件数ランキング 880 位（9件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 728 位（10件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5738592

公報発行日　2015年6月24

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5738592

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