特許 5741946 清浄気送風ユニット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5741946

(24)【登録日】2015年5月15日

(45)【発行日】2015年7月1日

(54)【発明の名称】清浄気送風ユニット

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20150611BHJP

   B65D 85/86 20060101ALI20150611BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 T

   B65D85/38 R

【請求項の数】5

【全頁数】16

(21)【出願番号】特願2011-207563(P2011-207563)

(22)【出願日】2011年9月22日

(65)【公開番号】特開2013-69882(P2013-69882A)

(43)【公開日】2013年4月18日

【審査請求日】2013年11月7日

(73)【特許権者】

【識別番号】000003643

【氏名又は名称】株式会社ダイフク

(74)【代理人】

【識別番号】100107308

【弁理士】

【氏名又は名称】北村 修一郎

(74)【代理人】

【識別番号】100128901

【弁理士】

【氏名又は名称】東 邦彦

(74)【代理人】

【識別番号】100149331

【弁理士】

【氏名又は名称】木村 昌人

(72)【発明者】

【氏名】中尾 多通夫

【審査官】 牧 初

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００２−１２２３８２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−９１２７０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実用新案登録第３０９８３５２（ＪＰ，Ｙ２）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７−２１／６８７

Ｂ６５Ｄ ８５／３８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

矩形状の基板を上下方向に間隔を隔てて並べる状態で収納する直方体状の基板収納器を収納する複数の収納部、前記基板収納器に対して前記基板の取出し及び収納を行う基板搬出入部、及び、前記収納部と前記基板搬出入部との間で前記基板収納器を搬送する搬送手段を備えた保管装置に保管される前記基板収納器に対して着脱自在に装着される清浄気送風ユニットであって、
前記基板収納器の４つの側面のうちの一つの側面を清浄気送風面としかつその清浄気送風面に対向する側面を排気用面として、前記清浄気送風面から前記排気用面に向けて水平方向に沿う清浄気を通風するファンフィルタユニット、及び、前記基板収納器の４つの側面のうちの、前記清浄気送風面及び前記排気用面を除いた２つの側面を覆う一対の遮蔽板が装備されている清浄気送風ユニット。

【請求項2】

前記ファンフィルタユニットが、前記清浄気送風面に相当する箇所に配設されている請求項１記載の清浄気送風ユニット。

【請求項3】

前記排気用面を覆う排気用板状体が装備され、その排気用板状体に、複数の排気用の通気孔が、上下及び左右に分散する状態で形成されている請求項１又は２記載の清浄気送風ユニット。

【請求項4】

前記基板収納器の底面に対応する箇所に、前記基板収納器が挿脱自在な容器挿脱用開口が形成されている請求項３に記載の清浄気送風ユニット。

【請求項5】

前記基板収納器が、前記排気用面に相当する側面から前記基板を挿脱できるように構成され、
前記排気用板状体における、前記基板収納器に上下に並べて収納される前記基板のうちの最下段の基板に対向する位置又はその最下段の基板よりも下方側の位置に、前記基板を挿通させる挿通孔が形成されている請求項４に記載の清浄気送風ユニット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、矩形状の基板を上下方向に間隔を隔てて並べる状態で収納する直方体状の基板収納器を収納する複数の収納部、前記基板収納器に対して前記基板の取出し及び収納を行う基板搬出入部、及び、前記収納部と前記基板搬出入部との間で前記基板収納器を搬送する搬送手段を備えた保管装置に保管される前記基板収納器に対して着脱自在に装着される清浄気送風ユニットに関する。

【背景技術】

【0002】

かかる清浄気送風ユニットは、保管装置に保管される基板収納器に装着されて、基板収納器に収納されている基板に塵埃が付着することを抑制することになる。
すなわち、基板収納器は、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイに使用されるガラス基板等の基板を収納した状態で、保管装置の収納部に収納されることになる。そして、基板収納器に収納した基板に対して、エッジングや洗浄等の諸々の処理を行うときには、基板収納器を、搬送手段にて、保管装置の収納部から基板搬出入部に搬送して、基板収納器から取出した基板に対して諸々の処理を行い、かつ、処理を施した基板を再び基板収納器に収納するようにし、そして、基板を収納した基板収納器を、搬送手段にて、収納部に搬送することになる。

【0003】

このように、保管装置に基板収納器を保管した状態で、基板収納器に収納されている基板に対する処理が行われることになるが、基板収納器に保持されている基板に塵埃が付着する虞があるため、清浄気送風ユニットが基板収納器に装着されることになる。

【0004】

清浄気送風ユニットの従来例として、清浄気送風ユニットが、清浄気を送風するファンフィルタユニットを備えた板状の枠体として構成されて、基板収納器に着脱自在に装着されるものがある（例えば、特許文献１参照。）。

【0005】

この特許文献１においては、基板収納器が、横倒れ姿勢の角筒状に構成されて、清浄気送風ユニットが、基板収納器の開口状態にある一対の側面のうちの一方の側面を清浄気送風面としかつ他方の側面を排気用面として、清浄気送風面から排気用面に向けて水平方向に沿って清浄気を送風することになり、かつ、清浄気送風ユニットが、清浄気送風面となる側面に位置する状態で、基板収納器に装着されている。

【0006】

清浄気送風ユニットの別の従来例として、清浄気送風ユニットが、基板収納器を載置する板状の載置部の一端部に、清浄気を送風するファンフィルタユニットを備えた板状の送風部を起立姿勢で設ける形態に構成されたものがある（例えば、特許文献２参照。）。

【0007】

この特許文献２においては、基板収納器が、横倒れ姿勢の角筒状に構成されて、清浄気送風ユニットの送風部が、基板収納器の開口状態にある一対の側面のうちの一方の側面を洗浄気送風面としかつ他方の側面を排気用面として、清浄気送風面から排気用面に向けて水平方向に沿って清浄気を送風することになる。
つまり、基板収納器が、清浄気送風面となる側面を清浄気送風ユニットの送風部に対向させた状態で、清浄気送風ユニットの載置部に載置されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0008】

【特許文献1】特開２０１０−８９９３５号公報

【特許文献2】特開２０１１−９１２７０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0009】

基板収納器は、適当期間が経過する毎等に洗浄する等、適時洗浄されることになり、その際には、清浄気送風ユニットが、基板収納器から分離されることになる。
すなわち、基板収納器を洗浄する場合には、一般に、水溶液等の洗浄用の液体を用いて洗浄することになるが、清浄気送風ユニットには、電装部品を備えるファフィルタユニットが設けられるため、清浄気送風ユニットが洗浄用の液体に濡れることを抑制するために、清浄気送風ユニットを、基板収納器から分離させることになる。

【0010】

このように、基板収納器は、清浄気送風ユニットを分離した状態で、適時洗浄されることになるが、上記した特許文献１及び特許文献２に記載の基板収納器は、４つの側面のうちの、清浄気送風面と排気用面とに対応する側面を除いた側面が、遮蔽された状態となっているため、基板収納器の洗浄を適切に行い難い虞があった。

【0011】

つまり、横倒れ姿勢の角筒状の基板収納器は、４つの側面のうちの、清浄気送風面と排気用面とに対応する側面を除いた側面が、遮蔽された状態となり、清浄気送風ユニットからの清浄気を、外部への漏れを抑制しながら、清浄気送風面から排気用面に向けて適切に流動させることができるものの、基板収納器を洗浄する際に、遮蔽された側面が、基板収納器の内部に洗浄用の液体が流動することを妨げること等に起因して、基板収納器の洗浄を適切に行い難い虞があった。

【0012】

本発明は、上記実状に鑑みて為されたものであって、その目的は、清浄気を清浄気送風面から排気用面に向けて適切に流動させながらも、基板収納器の洗浄を良好に行えるようにすることができる清浄気送風ユニットを提供する点にある。

【課題を解決するための手段】

【0013】

本発明の清浄気送風ユニットは、矩形状の基板を上下方向に間隔を隔てて並べる状態で収納する直方体状の基板収納器を収納する複数の収納部、前記基板収納器に対して前記基板の取出し及び収納を行う基板搬出入部、及び、前記収納部と前記基板搬出入部との間で前記基板収納器を搬送する搬送手段を備えた保管装置に保管される前記基板収納器に対して着脱自在に装着される清浄気送風ユニットであって、その第１特徴構成は、
前記基板収納器の４つの側面のうちの一つの側面を清浄気送風面としかつその清浄気送風面に対向する側面を排気用面として、前記清浄気送風面から前記排気用面に向けて水平方向に沿う清浄気を通風するファンフィルタユニット、及び、前記基板収納器の４つの側面のうちの、前記清浄気送風面及び前記排気用面を除いた２つの側面を覆う一対の遮蔽板が装備されている点を特徴とする。

【0014】

すなわち、清浄気送風ユニットに装備したファンフィルタユニットが、基板収納器の４つの側面のうちの１つの側面を清浄気送風面としかつその側面に対向する側面を排気用面として、清浄気送風面から排気用面に向けて水平方向に沿って清浄気を送風することになる。
そして、清浄気送風ユニットに装備した一対の遮蔽板が、基板収納器の４つの側面のうちの、清浄気送風面及び排気用面を除いた２つの側面を覆うことになるため、基板収納器の４つの側面のうちの、清浄気送風面及び排気用面を除いた２つの側面が開口状態に形成されていても、清浄気が外部に漏れることを抑制しながら、清浄気を清浄気送風面から排気用面に向けて適切に流動させることができる。

【0015】

このように、清浄気を清浄気送風面から排気用面に向けて適切に流動させながらも、基板収納器の４つの側面のうちの、清浄気送風面及び排気用面を除いた２つの側面を開口状態にすることができるため、清浄気送風ユニットを分離した状態で基板収納器を洗浄する際に、その開口状態となる側面を通して、洗浄用の液体を基板収納器の内部に適切に流動させることができる等、基板収納器の洗浄を良好に行うことができる。

【0016】

要するに、本発明の第１特徴構成によれば、清浄気を清浄気送風面から排気用面に向けて適切に流動させながらも、基板収納器の洗浄を良好に行えるようにすることができる清浄気送風ユニットを提供できる。

【0017】

本発明の清浄気送風ユニットの第２特徴構成は、上記第１特徴構成に加えて、
前記ファンフィルタユニットが、前記洗浄気送風面に相当する箇所に配設されている点を特徴とする。

【0018】

すなわち、洗浄気送風面に相当する箇所に配設されたファンフィルタユニットが、清浄気を清浄気送風面から排気用面に向けて送風することになるため、構成の簡素化を図りながら、清浄気を適切に送風できる。

【0019】

つまり、清浄気送風面から排気用面に向けて清浄気を送風するにあたり、例えば、清浄気送風ユニットにおける基板収納器の上面に相当する箇所等、清浄気送風面とは異なる箇所にファンフィルタユニットを配設し、そのファンフィルタユニットからの清浄気を清浄気送風面に案内する送風ダクトを設ける構成が考えられる。

【0020】

しかしながら、この構成の場合には、送風ダクトを設けることにより、全体構成が複雑化するものとなり、しかも、ファンフィルタユニットからの清浄気が、送風ダクト内を流動する際に失速する等に起因して、清浄気を適切に送風し難い虞があるが、ファンフィルタユニットを、洗浄気送風面に相当する箇所に配設する場合には、ファンフィルタユニットが清浄気送風面に対して清浄気を直接送風することになるため、構成の簡素化を図りながら、清浄気を適切に送風できるのである。

【0021】

要するに、本発明の第２特徴構成によれば、上記第１特徴構成による作用効果に加えて、構成の簡素化を図りながら、清浄気を適切に送風できる清浄気送風ユニットを提供できる。

【0022】

本発明の清浄気送風ユニットの第３特徴構成は、上記第１特徴構成又は第２特徴構成に加えて、
前記排気用面を覆う排気用板状体が装備され、その排気用板状体に、複数の排気用の通気孔が、上下及び左右に分散する状態で形成されている点を特徴とする。

【0023】

すなわち、清浄気送風面から排気用面に向けて送風される洗浄気が、排気用面を覆う排気用板状体に形成された通気孔を通して外部に排出される状態で流動することになるから、ランニングコストの低下を図ることができる。

【0024】

つまり、基板収納器の排気用面に対応する側面が、開口状態であると、その開口状態の側面（排気用面）から基板収納器の内部への塵埃の侵入を抑制するために、清浄気の風力を増加させる必要があり、その結果、ファンフィルタユニットの駆動エネルギーの増加により、ランニングコストが増加することになるが、基板収納器の排気用面に対応する側面を、通気孔が形成された排気用板状体にて覆うようにすると、清浄気の風力を低下させても、通気孔からは洗浄気が噴出して、通気孔から基板収納器の内部への塵埃の侵入を抑制できるため、清浄気の風力の低下により、ランニングコストの低下を図ることができるのである。

【0025】

また、通気孔が、上下及び左右に分散する状態で排気用板状体に形成されて、洗浄気が、基板収納器の内部空間の全体に亘って流動することになるから、基板収納器に収納された複数の基板の夫々に対してその全面に沿って洗浄気を流動させて、基板に対する塵埃の付着を適切に抑制することができる。

【0026】

要するに、本発明の第３特徴構成によれば、上記第１特徴構成又は第２特徴構成による作用効果に加えて、ランニングコストの低下を図りながらも、基板に対する塵埃の付着を適切に抑制することができる清浄気送風ユニットを提供できる。

【0027】

本発明の清浄気送風ユニットの第４特徴構成は、上記第３特徴構成に加えて、
前記基板収納器の底面に対応する箇所に、前記基板収納器が挿脱自在な容器挿脱用開口が形成されている点を特徴とする。

【0028】

すなわち、清浄気送風ユニットが、基板収納器の底面に対応する箇所に、基板収納器が挿脱自在な容器挿脱用開口を備えているから、基板収納器に対して基板を収納又は取出すときや、基板収納器を洗浄するときに、基板収納器を、容器挿脱用開口を通して挿脱する形態で、清浄気送風ユニットに対して容易に着脱することができる。

【0029】

要するに、本発明の第４特徴構成によれば、上記第３特徴構成による作用効果に加えて、基板収納器の着脱を容易に行うことができる清浄気送風ユニットを提供できる。

【0030】

本発明の清浄気送風ユニットの第５特徴構成は、上記第４特徴構成に加えて、
前記基板収納器が、前記排気用面に相当する側面から前記基板を挿脱できるように構成され、
前記排気用板状体における、前記基板収納器に上下に並べて収納される前記基板のうちの最下段の基板に対向する位置又はその最下段の基板よりも下方側の位置に、前記基板を挿通させる挿通孔が形成されている点を特徴とする。

【0031】

すなわち、基板搬出入部において、基板収納器に対して基板を取出すときや収納するときに、清浄気送風ユニットを上下方向の一定位置に保持した状態で、基板収納器を、容器挿脱用開口を通して挿脱しながら上下方向に移動させ、そして、基板を、排気用板状体に形成した挿通孔を通して水平方向に沿って移動させながら、基板収納器に対して挿脱する形態で行うことができる。

【0032】

説明を加えると、清浄気送風ユニットを上下方向の一定位置に保持する保持手段、基板収納器を上下方向に移動させる昇降手段、及び、基板を基板収納器に対して挿脱するように水平方向に沿って移動させる基板移動手段を、基板搬出入部に設ける。

【0033】

そして、基板収納器から基板を取出す場合には、一般的には、上下方向に並ぶ基板の下方側のものから順次取出すことになるため、先ず、上下方向に並ぶ基板のうちの最下段の基板が、排気用板状体に形成した挿通孔に対向する位置となるようにする。
尚、挿通孔が、上下に並べて収納される基板のうちの最下段の基板に対向する位置に形成されている場合には、最下段の基板が挿通孔に対向する位置に位置するため、基板収納器を、上下方向の一定位置に保持されている清浄気送風ユニットに対して下降させる必要はないが、挿通孔が、上下に並べて収納される基板のうちの最下段の基板よりも下方側の位置に形成されている場合には、最下段の基板を挿通孔に対向する位置に位置させるために、基板収納器を、上下方向の一定位置に保持されている清浄気送風ユニットに対して下降させることになる。

【0034】

上下方向に並ぶ基板のうちの最下段の基板が、排気用板状体に形成した挿通孔に対向する位置に位置する状態において、基板移動手段を作動させて、基板を、排気用板状体に形成した挿通孔を通して水平方向に沿って移動させながら、基板収納器から取出すことになる。

【0035】

基板移動手段の作動によって基板の取出しが終了すると、取出した基板の上方に隣接する基板が、排気用板状体に形成した挿通孔に対向する位置となるように、昇降手段によって基板収納器を下降させ、その後、基板移動手段を作動させて、基板収納器から基板を取出すことになり、以下、最上段の基板の取出しが終了するまで、昇降手段によって基板収納器を下降させることと、基板移動手段によって基板を取出すことを、繰り返すことになる。

【0036】

基板収納器に基板を収納する場合には、一般的には、上下方向に並ぶ基板の最上段のものから順次収納することになるため、上下方向に並ぶ基板のうちの最上段の基板を収納する位置が、排気用板状体に形成した挿通孔に対向する位置となるように、昇降手段を作動させることになる。

【0037】

上下方向に並ぶ基板のうちの最上段の基板を収納する位置が、排気用板状体に形成した挿通孔に対向する位置に位置する状態において、基板移動手段を作動させて、基板を、排気用板状体に形成した挿通孔を通して水平方向に移動させながら、基板収納器に収納することになる。

【0038】

基板移動手段の作動によって基板の収納が終了すると、収納した基板の下方に隣接する基板の収納位置が、排気用板状体に形成した挿通孔に対向する位置となるように、昇降手段によって基板収納器を上昇させ、その後、基板移動手段を作動させて、基板収納器に基板を収納することになり、以下、最下段の基板の収納が終了するまで、昇降手段によって基板収納器を上昇させることと、基板移動手段によって基板を収納することを、繰り返すことになる。

【0039】

このように、基板を基板収納器から取出すときや基板を基板収納器に収納するときに、排気用板状体に形成した挿通孔を通して基板を水平方向に沿って移動させることができるため、昇降手段によって基板収納器を昇降させる昇降量の減少により、昇降手段の簡素化を図ることができる。

【0040】

つまり、排気用板状体が装備されるものの、挿通孔が形成されない場合においては、排気用板状体の下方側を通して、基板を水平方向に沿って移動させることになるが、このような場合には、基板収納器を清浄気送風ユニットの下方側に抜き出す量（下降量）が、排気用板状体に形成された挿通孔を通して基板を水平方向に沿って移動させる場合よりも、大きくなり、昇降手段によって基板収納器を昇降させる昇降量が増加して、昇降手段が複雑化する虞があるが、排気用板状体に形成した挿通孔を通して基板を移動させることができるため、昇降手段によって基板収納器を昇降させる昇降量の減少により、昇降手段の簡素化を図ることができるのである。

【0041】

要するに、本発明の第５特徴構成によれば、上記第４特徴構成の作用効果に加えて、基板を基板収納器から取出すときや基板を基板収納器に収納するときに、基板収納器を昇降させる昇降量を減少させて、基板収納器を昇降させる昇降手段の簡素化を図ることができる清浄気送風ユニットを提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0042】

【図1】基板処理設備の側面図

【図2】保管装置の要部平面図

【図3】基板収納器と清浄気送風ユニットの斜視図

【図4】基板搬出入部の正面図

【図5】基板搬出状態を示す切欠き斜視図

【図6】基板収納器の下降状態を示す切欠き側面図

【図7】基板搬出状態を示す切欠き側面図

【図8】基板搬出状態を示す切欠き側面図

【発明を実施するための形態】

【0043】

次に、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１に示すように、ダウンフロー式のクリーンルームＲ内に、直方体状の基板収納器Ｋ（図３参照）を保管する保管装置Ａ、及び、基板処理装置Ｗが並設されて、基板収納器Ｋに保持されている矩形状の基板１（図５参照）を基板処理装置Ｗにて処理する基板処理設備が構成されている。
基板収納器Ｋには、清浄気送風ユニットＪ（図５参照）が着脱自在に装着されて、基板収納器Ｋは、清浄気送風ユニットＪが装着された状態で、保管装置Ａに保管されている。
ちなみに、本実施形態においては、基板１は、矩形状のガラス基板であり、基板処理装置Ｗは、エッチングや洗浄等の処理を基板１に対して行うことになる。

【0044】

クリーンルームＲは、床部にグレーチング２を備え、天井部にＨＥＰＡフィルタ３を備えるものであって、グレーチング２の下方の吸気室４とＨＥＰＡフィルタ３の上方のチャンバ室５とが、通風ファン６及びプレフィルタ７を備えた循環路８にて連通接続されて、通風ファン６の通風作動により、浄化された空気が天井部から床部に向けて流動するように構成されている。
尚、循環路８における通風ファン６の空気流動方向上手側箇所には、外気取入路８Ａが接続され、循環路８における通風ファン６の空気流動方向下手側箇所には、排気路８Ｂが接続されて、循環される空気の一部が外気と入れ替えられるように構成されている。

【0045】

図３に示すように、基板収納器Ｋは、矩形状の基板１を上下方向に間隔を隔てて並べる状態で収納する直方体状に構成されるものであって、具体的には、格子状に形成された上枠体９ａ及び下枠体９ｂと、上枠体９ａ及び下枠体９ｂの両横側縁部及び後側縁部に配置されて、上枠体９ａと下枠体９ｂとを連結する複数の帯板状の連結体９ｃと、横方向に対向する連結体９ｃの間に上下方向に並ぶ状態で架設される複数のワイヤ状の支持部９ｄとから構成されている。
つまり、複数のワイヤ状の支持部９ｄは、上下方向並びに前後方向に間隔を隔てる状態で配置されて、一枚の基板１を前後方向に並ぶ複数の支持部９ｄにて支持する状態で、複数枚の基板１を上下方向に並ぶ状態で支持するように構成されている。

【0046】

また、基板収納器Ｋは、４つの側面のうちの前方側の側面には、連結体９ｃが存在しないため、その前方側の側面から基板１を挿脱できるように構成されている。
さらに、上枠体９ａ及び下枠体９ｂが格子状に形成され、また、複数の連結体９ｃが、間隔を隔てて位置し、かつ、前方側の側面には、連結体９ｃが存在しないことにより、基板収納器Ｋは、洗浄する際に、その上面、下面、及び、４つの側面を通して、洗浄用の液体が流出入できるように構成されている。

【0047】

図３及び図５に示すように、清浄気送風ユニットＪは、基板収納器Ｋの４つの側面のうちの一つの側面としての背面を清浄気送風面としかつその清浄気送風面に対向する側面としての前面を排気用面として、清浄気送風面から排気用面に向けて水平方向に沿う清浄気を通風するファンフィルタユニットＦ、及び、基板収納器Ｋの４つの側面のうちの、清浄気送風面及び前記排気用面を除いた２つの側面を覆う一対の遮蔽板１０を装備して構成されている。

【0048】

すなわち、清浄気送風ユニットＪは、ファンフィルタユニットＦが組付けられた縦姿勢の矩形状の送風用枠体１１を備え、この送風用枠体１１の両横側部に、一対の遮蔽板１０が連結支持される状態に構成されている。
また、本実施形態の清浄気送風ユニットＪには、基板収納器Ｋの上面を覆う上板１２が、送風用枠体１１に連結支持されかつ一対の遮蔽板１０に接続された状態で設けられ、加えて、基板収納器Ｋの前面（排気用面）を覆う排気用板状体１３が、一対の遮蔽板１０及び上板１２に接続された状態で設けられている。
排気用板状体１３には、複数の排気用の通気孔Ｔが、上下及び左右に分散する状態で形成されている。

【0049】

また、清浄気送風ユニットＪは、基板収納器Ｋの底面に対応する箇所、つまり、底部が開口されていて、基板収納器Ｋが挿脱自在な容器挿脱用開口Ｕを底部に備えるように形成されている。
ちなみに、本実施形態においては、図６に示すように、送風用枠体１１と排気用板状体１３との間隔が、それらの間に基板収納器Ｋを位置決め保持できる間隔に形成され、又、図４に示すように、一対の遮蔽板１０の間隔が、それらの間に基板収納器Ｋを位置決め保持できる間隔に形成されている。尚、例示図においては、送風用枠体１１、排気用板状体１３、及び、一対の遮蔽板１０の夫々が、基板収納器Ｋに対して接触して保持する状態を示すが、実際上は、送風用枠体１１、排気用板状体１３、及び、一対の遮蔽板１０の夫々と、基板収納器Ｋとの間に、融通用の隙間が形成されることになる。

【0050】

したがって、清浄気送風ユニットＪは、送風用枠体１１を基板収納器Ｋの背面に対応させた状態で、基板収納器Ｋを上方から覆うように装着することにより、ファンフィルタユニットＦが送風する清浄気を基板１の表面に沿って流動させるように構成されている。
ちなみに、本実施形態においては、清浄気送風ユニットＪが、送風用枠体１１を基板収納器Ｋの背面に対応させた状態で基板収納器Ｋに装着されるものであるから、ファンフィルタユニットＦが洗浄気送風面に相当する箇所に配設されることになる。

【0051】

また、排気用板状体１３における、基板収納器Ｋに上下に並べて収納される基板１のうちの最下段の基板１に対向する位置に、基板１を挿通させる挿通孔Ｑが形成されており、後述の如く、この挿通孔Ｑを通して基板１を移動させながら、基板収納器Ｋに対して
基板１の収納及び取出しを行うことができるように構成されている。

【0052】

尚、図示はしないが、清浄気送風ユニットＪは、ファンフィルタユニットＦを駆動するバッテリ、及び、保管装置Ａに保管しているときに電力が供給されて、バッテリを充電する受電端子を備えている。

【0053】

保管装置Ａは、図１及び図２に示すように、基板収納器Ｋを収納する複数の収納部Ｓ、基板収納器Ｋに対して基板１の取出し及び収納を行う基板搬出入部ＳＡ、及び、収納部Ｓと基板搬出入部ＳＡとの間で基板収納器Ｋを搬送する搬送手段としてのスタッカークレーンＤを備えている。

【0054】

すなわち、複数の収納部Ｓが縦横に並設された左右一対の保管棚１４が、物品出し入れ方向を互いに対向させた状態で間隔を隔てて設置され、左右一対の保管棚１４の間に、スタッカークレーンＤが装備されている。

【0055】

保管棚１４は、前後一対の支柱１４Ａからなる支柱組を、棚横幅方向を並設し、支柱組の夫々に、基板収納器Ｋ及びその基板収納器Ｋに装着された清浄気送風ユニットＪを載置支持する腕木１５を、上下方向に並べて設けて、棚横幅方向に隣接する支柱組の間に、上下方向に並ぶ状態で収納部Ｓを形成するように構成されている。
ちなみに、腕木１５には、清浄気送風ユニットＪに給電するための給電装置Ｅが装備されており、清浄気送風ユニットＪが腕木１５に載置支持されると、清浄気送風ユニットＪの受電端子に対して給電装置Ｅから電力が供給されるように構成されている。

【0056】

左右一対の保管棚１４の間の床部には、スタッカークレーンＤを案内する左右一対の走行レール１６が設けられている。
そして、スタッカークレーンＤが、走行レール１６に沿って走行する走行台車１７、その走行台車１７に立設された前後一対のマスト１８に沿って昇降自在な昇降台１９、及び、その昇降台１９に装着された物品移載装置Ｂを備えて構成されている。

【0057】

物品移載装置Ｂは、図２に示すように、昇降台１９に対して上下軸心Ｐ周りで旋回自在な旋回台２０、基板収納器Ｋ及び清浄気送風ユニットＪを載置支持する板状の物品載置体２１、及び、その物品載置体２１を旋回台２０に対して出退自在に支持する一対の屈伸リンク２２を備えている。
そして、屈伸リンク２２の屈伸作動により、物品載置体２１を昇降台側に引退させた引退位置と外方に突出する突出位置とに出退操作し、かつ、昇降台１９の昇降作動により、物品載置体２１を昇降操作することにより、基板収納器Ｋ及びその基板収納器Ｋに装着された清浄気送風ユニットＪを、収納部Ｓ及び基板搬出入部ＳＡに対して移載するように構成されている。

【0058】

基板搬出入部ＳＡには、図１及び図４に示すように、清浄気送風ユニットＪを上下方向の一定位置に保持する保持手段としての受け枠２３、基板収納器Ｋを受止め支持して、上下方向に移動させる昇降手段２４、及び、基板１を水平方向に沿って移動させて、基板１を基板収納器Ｋに対して挿脱する基板移動手段として、基板１を載置搬送する搬送コンベヤ２５が装備されている。

【0059】

また、図１に示すように、搬送コンベヤ２５と基板処理装置Ｗとの間には、基板１を載置搬送する中継搬送コンベヤ２６が装備されている。
従って、基板収納器Ｋから取出した基板１を、搬送コンベヤ２５及び中継搬送コンベヤ２６によって、基板処理装置Ｗに搬送し、これとは逆に、基板処理装置Ｗから搬出された基板１を、中継搬送コンベヤ２６及び搬送コンベヤ２５によって搬送して、基板収納器Ｋに収納することができるように構成されている。

【0060】

尚、中継搬送コンベヤ２６は、上部及び両側部が遮蔽壁２７にて囲まれ且つ天井部に装備した浄化用のファンフィルタユニット２８にて清浄気が通風される搬送空間Ｈに装備されており、基板収納器Ｋと基板処理装置Ｗとの間での搬送中に、基板１に塵埃が付着することを回避するようになっている。

【0061】

受け枠２３は、図４及び図５に示すように、清浄気送風ユニットＪの底部における４つの角部を受止め支持すべく、その４つの角部に対応して４つ設けられるものであって、平面視形状がＬ字状に形成され、図示はしないが、保管棚１４の支柱１４Ａに連結支持されている。
そして、受け枠２３は、図７及び図８に示すように、清浄気送風ユニットＪを保持する上下方向の一定位置として、搬送コンベヤ２５にて載置搬送される基板１が挿通孔Ｑを通過する位置に、清浄気送風ユニットＪを保持するように構成されている。

【0062】

昇降手段２４は、図４及び図５に示すように、基板収納器Ｋの前後方向に沿って長尺状に形成された左右一対の昇降枠２４Ａを、昇降駆動装置２４Ｂ（図１参照）によって、昇降操作するように構成されている。
昇降枠２４Ａの前後方向の長さは、前後に並ぶ受け枠２３の間を通して昇降できる長さで、かつ、昇降枠２４Ａの横幅は、基板収納器Ｋに加えて、清浄気送風ユニットＪを載置できる横幅に構成されている。

【0063】

そして、昇降枠２４Ａは、図４及び図６に示すように、スタッカークレーンＤが基板搬出入部ＳＡに対して清浄気送風ユニットＪが装着された基板収納器Ｋ（以下、清浄気送風ユニットＪ付の基板収納器Ｋと略称）を降ろす降し処理を行うときや、スタッカークレーンＤが基板搬出入部ＳＡから清浄気送風ユニットＪ付の基板収納器Ｋを掬う掬い処理を行うときには、清浄気送風ユニットＪ付の基板収納器Ｋを移載用高さに保持するための移載用昇降位置に昇降されるように構成されている。

【0064】

すなわち、スタッカークレーンＤは、基板搬出入部ＳＡに対して清浄気送風ユニットＪ付の基板収納器Ｋを降ろす降し処理を行うときには、移載用昇降位置の昇降枠２４Ａに対して、清浄気送風ユニットＪ付の基板収納器Ｋを降ろすことになり、基板搬出入部ＳＡから清浄気送風ユニットＪ付の基板収納器Ｋを掬う掬い処理を行うときには、移載用昇降位置の昇降枠２４Ａに支持されている清浄気送風ユニットＪ付の基板収納器Ｋを掬うことになる。
ちなみに、搬送コンベヤ２５と、移載用昇降位置の昇降枠２４Ａに支持されることによって移載用の高さに保持された清浄気送風ユニットＪ付の基板収納器Ｋとの間には、スタッカークレーンＤに装備した物品移載装置Ｂの物品載置体２１が挿脱するための空間が形成されることになる。

【0065】

また、昇降枠２４Ａは、スタッカークレーンＤによる基板搬出入部ＳＡに対して清浄気送風ユニットＪ付の基板収納器Ｋを降ろす降し処理が終了すると、図７に示すように、清浄気送風ユニットＪが受け枠２３にて受止め支持されることになる初期昇降位置に下降されることになり、その後、搬送コンベヤ２５の作動によって、基板１が取出されるごとに、上下方向に並ぶ基板１の上下間隔に相当する昇降量で、順次下降され、最終的には、図８に示すように、上下方向に並ぶ基板１の最上段の基板１が挿通孔Ｑに対応する位置となる最下降位置に下降されることになる。

【0066】

さらに、昇降枠２４Ａは、基板処理装置Ｗから搬出される基板１を基板収納器Ｋに収納するときには、図８に示すように、最下降位置に位置されことになる。
その状態で、搬送コンベヤ２５の作動によって最初の基板１が基板収納器Ｋに収納されると、昇降枠２４Ａは、上下方向に並ぶ基板１の上下間隔に相当する昇降量で上昇されることになり、以下、搬送コンベヤ２５の作動によって、基板１が収納されるごとに、上下方向に並ぶ基板１の上下間隔に相当する昇降量で、順次上昇されて、最終的には、図７に示すように、上下方向に並ぶ基板１の最下段の基板１が挿通孔Ｑに対応する位置となる初期位置に上昇されることになる。

【0067】

そして、昇降枠２４Ａは、基板収納器Ｋに対する基板１の収納が終了すると、移載用昇降位置に上昇されることになる。
その状態において、スタッカークレーンＤが、移載用昇降位置の昇降枠２４Ａに保持された清浄気送風ユニットＪ付の基板収納器Ｋを掬う処理を行うことになる。

【0068】

すなわち、本実施形態においては、基板搬出入部ＳＡにおいて、基板収納器Ｋに対して基板１を取出すときや収納するときには、清浄気送風ユニットＪを上下方向の一定位置に保持して、基板収納器Ｋを、容器挿脱用開口Ｕを通して挿脱しながら上下方向に移動させ、そして、基板１を、排気用板状体１３に形成した挿通孔Ｑを通して移動させながら、基板収納器Ｋに対して挿脱する形態で行うように構成されている。

【0069】

つまり、基板収納器Ｋから基板１を取出す場合には、一般的には、上下方向に並ぶ基板１の下方側のものから順次取出すことになるため、上下方向に並ぶ基板１のうちの最下段の基板１が、排気用板状体１３に形成した挿通孔Ｑに対向する位置となるように、昇降手段２４を作動させることになる。
ちなみに、本実施形態においては、挿通孔Ｑが、上下に並べて収納される基板１のうちの最下段の基板１に対向する位置に形成されているため、上述の如く、昇降枠２４Ａを、清浄気送風ユニットＪが受け枠２３にて受止められる初期位置に下降させる。

【0070】

そして、上下方向に並ぶ基板１のうちの最下段の基板１が、排気用板状体１３に形成した挿通孔Ｑに対向する位置に位置する状態において、搬送コンベヤ２５を作動させて、基板１を、排気用板状体１３に形成した挿通孔Ｑを通して移動させながら、基板収納器Ｋから取出すことになる。

【0071】

搬送コンベヤ２５の作動によって基板１の取出しが終了すると、取出した基板１の上方に隣接する基板１が、排気用板状体１３に形成した挿通孔Ｑに対向する位置となるように、昇降手段２４によって基板収納器Ｋを下降させ、その後、搬送コンベヤ２５を作動させて、基板収納器Ｋから基板１を取出すことになり、以下、最上段の基板１の取出しが終了するまで、昇降手段２４によって基板収納器Ｋを下降させることと、搬送コンベヤ２５によって基板１を取出すことを、繰り返すことになる。

【0072】

基板収納器Ｋに基板１を収納する場合には、一般的には、上下方向に並ぶ基板１の最上段のものから順次収納することになるため、上下方向に並ぶ基板１のうちの最上段の基板１を収納する位置が、排気用板状体１３に形成した挿通孔Ｑに対向する位置となるように、昇降手段２４を作動させることになる。
ちなみに、本実施形態においては、上述の如く、昇降枠２４Ａを最下降位置に位置させることになる。

【0073】

そして、上下方向に並ぶ基板１のうちの最上段の基板１を収納する位置が、排気用板状体１３に形成した挿通孔Ｑに対向する位置に位置する状態において、搬送コンベヤ２５を作動させて、基板１を、排気用板状体１３に形成した挿通孔Ｑを通して移動させながら、基板収納器Ｋに収納することになる。

【0074】

搬送コンベヤ２５の作動によって基板１の収納が終了すると、収納した基板１の下方に隣接する基板１の収納位置が、排気用板状体１３に形成した挿通孔Ｑに対向する位置となるように、昇降手段２４によって基板収納器Ｋを上昇させ、その後、搬送コンベヤ２５を作動させて、基板収納器Ｋに基板１を収納することになり、以下、最下段の基板１の収納が終了するまで、昇降手段２４によって基板収納器Ｋを上昇させることと、搬送コンベヤ２５によって基板１を収納することを、繰り返すことになる。

【0075】

尚、昇降手段２４における昇降駆動装置２４Ｂとしては、昇降枠２４Ａを昇降自在に支持するスライド式の支持機構やリンク式の支持機構を、電動式シリンダ等のアクチュエータにて昇降操作するように構成する等、種々の構成のものが適用できる。

【0076】

搬送コンベヤ２５は、支持枠体２５Ａの上部に、駆動状態と停止状態とに切換え自在な多数の搬送用ローラ２５Ｂを備える状態に構成されている。
そして、支持枠体２５Ａには、昇降枠２４Ａが初期位置から最下降位置に下降するに伴って、基板収納器Ｋの格子状の下枠体９ｂが挿入する凹入部Ｎが形成されている。

【0077】

以上の如く、基板収納器Ｋは、清浄気送風ユニットＪの底部の容器挿脱用開口Ｕを通して、清浄気送風ユニットＪから分離することができる、換言すれば、清浄気送風ユニットＪが基板収納器Ｋに対して着脱できるので、洗浄液等を用いて基板収納器Ｋを洗浄するときには、基板収納器Ｋから清浄気送風ユニットＪを分離した状態で、基板収納器Ｋを洗浄できることになる。
ちなみに、基板収納器Ｋの洗浄手段は、基板処理装置Ｗと同様に、保管装置Ａの横脇に設けて、保管装置Ａから搬送するようにしてもよいが、洗浄対象の基板収納器Ｋを保管装置Ａから出庫して、別途設けた洗浄手段にて洗浄させるようにしてもよい。

【0078】

尚、基板処理設備の運転を管理する管理手段や、その管理手段からの指令に基づいて、スタッカークレーンＤ、昇降手段２４、及び、搬送コンベヤ２５等の機器類の作動を制御する制御手段が装備されて、基板収納器Ｋの搬送や、基板収納器Ｋに対する基板１の取出しや収納が行われることになるが、その制御作動は、上述の説明から明らかであるので、本実施形態においては、その詳細な説明は省略する。

【0079】

〔別実施形態〕
次に、別実施形態を列記する。
（１）上記実施形態では、清浄気送風ユニットＪが、基板収納器Ｋの上面を覆う上板１２を備える場合を例示したが、基板収納器Ｋの上部が閉じられた状態で形成される場合等においては、上板１２を省略してもよい。

【0080】

（２）上記実施形態では、基板収納器Ｋの４つの側面のうちの、基板１が挿脱される前面に対向する背面を清浄気送風面として、前面を排気用面とする場合を例示したが、基板収納器Ｋの４つの側面のうちの、一対の横側面のうちの一方を洗浄気送風面とし、残りの横側面を排気用面とする形態で実施してもよい。

【0081】

（３）上記実施形態では、基板収納器Ｋの底面に対応する箇所に、容器挿脱用開口Ｕが形成される場合を例示したが、例えば、排気用面に対応する箇所に、容器挿脱用開口Ｕを形成する、あるいは、基板収納器Ｋの上面に対応する箇所に、容器挿脱用開口Ｕを形成することによって、清浄気送風ユニットＪにおける基板収納器Ｋの底面に対応する箇所を閉じるように構成してもよい。

【0082】

（４）上記実施形態では、ファンフィルタユニットＦが、清浄気送風ユニットＪにおける清浄気送風面に相当する箇所に配設される場合を例示したが、清浄気送風ユニットＪにおける清浄気送風面に相当する箇所とは異なる箇所に、ファンフィルタユニットＦを配設して、ファンフィルタユニットＦからの清浄気を清浄気送風面に案内する送風ダクトを設ける形態で実施してもよい。

【0083】

（５）上記実施形態では、清浄気送風ユニットＪに、排気用面を覆う排気用板状体１３を装備する場合を例示したが、排気用板状体１３を装備しない形態で実施してもよい。

【0084】

（６）上記実施形態では、基板収納器Ｋが、排気用面に相当する側面から基板１を挿脱できるように構成されて、排気用面を覆う排気用板状体１３における、基板収納器Ｋに上下に並べて収納される基板１のうちの最下段の基板１に対向する位置に、基板１を挿通させる挿通孔Ｑが形成される場合を例示したが、挿通孔Ｑを、最下段の基板１よりも下方側の位置に形成する形態で実施してもよい。

【0085】

（７）上記実施形態では、基板搬出入部ＳＡに装備して、基板１を水平方向に沿って移動させて、基板１を基板収納器Ｋに対して挿脱する基板移動手段として、基板１を載置搬送する搬送コンベヤ２５を例示したが、基板移動手段としては、基板収納器Ｋ内に突出する状態と引退する状態とに切換え自在でかつ昇降自在な基板支持体を備えるもの等、種々の形態の基板移動手段を適用できる。

【符号の説明】

【0086】

１ 基板
１０ 遮蔽板
１３ 排気用板状体
Ａ 保管装置
Ｄ 搬送手段
Ｆ ファンフィルタユニット
Ｊ 清浄気送風ユニット
Ｋ 基板収納器
Ｑ 挿通孔
Ｓ 収納部
ＳＡ 基板搬出入部
Ｔ 通気孔
Ｕ 容器挿脱用開口

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】