特許 5742196 薄板吸着搬送コンベヤ装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5742196

(24)【登録日】2015年5月15日

(45)【発行日】2015年7月1日

(54)【発明の名称】薄板吸着搬送コンベヤ装置

(51)【国際特許分類】

   B65G 17/46 20060101AFI20150611BHJP

   B65G 49/06 20060101ALI20150611BHJP

   B65H 5/22 20060101ALI20150611BHJP

【ＦＩ】

   B65G17/46 B

   B65G49/06 A

   B65H5/22 C

【請求項の数】4

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2010-271399(P2010-271399)

(22)【出願日】2010年12月6日

(65)【公開番号】特開2012-121638(P2012-121638A)

(43)【公開日】2012年6月28日

【審査請求日】2013年11月20日

(73)【特許権者】

【識別番号】390004879

【氏名又は名称】三菱マテリアルテクノ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100096862

【弁理士】

【氏名又は名称】清水 千春

(72)【発明者】

【氏名】檜山 正太郎

【審査官】 加藤 昌人

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００３−０２０１３６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭５０−１２１９６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許第０３４７７５５８（ＵＳ，Ａ）

【文献】 特開２００６−３４７７３９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開平０３−０５１７１１（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開平０２−０４３１２２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−０７４５６５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０７−２０６１２４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ６５Ｇ １５／５８

Ｂ６５Ｈ ５／２２

Ｂ６５Ｇ １７／４６

Ｂ６５Ｇ １７／０６

Ｂ６５Ｇ ４９／０６

Ｈ０１Ｌ ２１／６７−２１／６８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬送方向の上流側に受け取り部が設けられ、下流側に受け渡し部が設けられた薄板ガラス基板の搬送手段と、この搬送手段の上方に配設されるとともに、平板状の複数枚のプレートが無端状に連結されたトップチェーンとを備え、上記搬送手段の上記受け取り部において上記薄板ガラス基板を上記トップチェーンに吸着させて上記搬送手段上方に沿って搬送し、上記搬送手段の上記受け渡し部において上記吸着を解いて上記薄板ガラス基板を上記トップチェーンより離脱させる薄板吸着搬送コンベヤ装置において、
上記トップチェーンは、隣接する上記プレートの対向辺の一方側に凸部が形成され、かつ他方側に上記凸部が係合する凹部が形成されて、これら係合部の幅方向にピン材が挿通されて回動自在に連結されているとともに、外表面の上記プレートの上記幅方向両側に、上記トップチェーンの走行方向に延在する独立気泡型パッドが周設されてなり、
上記トップチェーンの上記受け取り部と上記受け渡し部との間には、上記トップチェーンの内表面を覆うとともに、上記プレートの間を介して上記外表面に周設された上記独立気泡型パッド間の空間に連通する真空吸引室が延設され、
上記真空吸引室には、当該真空吸引室内を真空吸引することにより、上記真空吸引室に連通した上記独立気泡型パッド間の空間と上記薄板ガラス基板との間を負圧に保持する真空吸引手段が設けられていることを特徴とする薄板吸着搬送コンベヤ装置。

【請求項2】

上記真空吸引室には、上記トップチェーンの上記受け取り部と上記受け渡し部との間の空間を区画する仕切り板が、少なくとも１枚設けられていることを特徴とする請求項１に記載の薄板吸着搬送コンベヤ装置。

【請求項3】

上記独立気泡型パッドは、上記プレートごとに設けられているとともに、上記トップチェーンの走行方向に周設されていることを特徴とする請求項１または２に記載の薄板吸着搬送コンベヤ装置。

【請求項4】

上記独立気泡型パッドは、上記プレートごとに設けられているとともに、隣接する上記独立気泡型パッド同士の間に、上記トップチェーンの走行方向に対して、上方から下方に向けて傾斜した隙間が形成され、かつ上記トップチェーンの走行方向に周設されていることを特徴とする請求項１または２に記載の薄板吸着搬送コンベヤ装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、薄板ガラス基板や薄板プラスチック基板などの薄板材を連続搬送するための薄板吸着搬送コンベヤ装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

一般に、薄板ガラス基板などの薄板材は、大きく撓むため破損しやすく、取り扱いが難しい。そのため、面積の大きな薄板ガラス基板などの薄板材を取り扱う製造工程においては、薄板材を一枚ごと吸着して、次工程に搬送している。

【0003】

この吸着による搬送に用いられる搬送装置は、例えば、薄板材を吸着・保持する吸着保持手段が取り付けられてなるハンド部と、このハンド部を移動自在に支持するアーム部と、このアーム部を作動させることにより、当該薄板ガラス基板を搬送する駆動装置とを備えたハンドリング装置が知られている。

【0004】

このハンドリング装置は、１枚目の上記薄板材を搬送方向の上流側において、複数の上記吸着パッドを備え上記ハンド部により吸着し、上記アーム部を上記駆動装置により作動させ、アーム部の移動により下流側まで搬送した後に、当該下流側において、上記吸着を解いて当該薄板材を上記吸着パッドより離脱させ、再び上記ハンド部を上記アームを移動させて当該上流側に戻して、２枚目の薄板材を吸着し当該下流側に搬送する工程となっている。

【0005】

ところで、従来の上記ハンドリング装置は、上記薄板ガラス基板を上記ハンド部の上記吸着手段に吸着・保持した状態のまま、上記アーム部を移動させるため、移動速度を遅くする必要があるとともに、１枚を搬送した後に上記ハンド部を搬送方向の上記上流側に戻す必要がある。これにより、生産工程の均等なタイミングを図るための工程作業時間、いわゆるタクトタイムが長くなり、作業効率が悪いという問題がある。

【0006】

そこで、下記特許文献においては、エンドレス走行する一対のチェーン間に、内部を真空吸引室とする多数本の中空バーが架設された搬送ベルト部を構成し、各中空バーがコンベヤ周回の外側に臨む複数の吸引孔と端面に臨む排気口とを備えると共に、各吸引孔内には弁座とばね力により開弁方向に付勢されて、該弁座の外側に配置した弁体とを有し、各中空バーが吸引孔を下向きとして水平移動する往動行程の一側に、各中空バーの排気口を有する端面と気密状態で摺接する固定枠部が配設され、この固定枠部の中空バーとの摺接部に、真空吸引路に連通した複数の通気孔が当該摺接部に沿って所定間隔置きに開設されているコンベヤ装置が提案されている。

【0007】

この従来のコンベヤ装置は、中空バーにより構成される搬送ベルト部に、平板体が当接した場合に、この平板体に覆われた表面領域にある吸引孔のみが開放し、他の吸引孔は全て閉塞状態を維持して真空吸引室への空気の流入を防止するため、この空気の流入により起こる真空吸引力の低下が少なく、確実に吸着することができる。これにより、各中空バーに設けられた吸引孔を下向きに配設し、水平移動する往動行程において、平板体を搬送ベルトの下面側に吸着させて、搬送ベルト部の走行とともに、前方へ搬送するとともに、搬送途上の定位置に搬送された際に、中空バー内の真空吸引を停止させることにより、当該搬送ベルト部から離脱させ、平板体を搬送することができる。

【0008】

しかしながら、この従来のコンベヤ装置は、搬送ベルトの下面に吸着させて搬送することにより、連続搬送が可能になるものの、上記平板体を真空吸着するために、複数本の中空バーを一対の上記チェーン間に架設するとともに、これら複数本の中空バーに設けられた退入作動する弁体よりなる複数の吸引孔を設ける必要があるため、構造が複雑になり製造コストが嵩むとともに、複数本の中空バーおよび複数の吸引孔のメンテナンスに多大な時間を要するという問題がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0009】

【特許文献1】特開平７−２０６１２４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0010】

本発明は、かかる事情に鑑みてなされたもので、簡素な構造であるとともに、薄板材を確実に吸着して連続搬送することができ、かつメンテナンスが容易な薄板吸着搬送コンベヤ装置を提供することを課題とするものである。

【課題を解決するための手段】

【0011】

上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、搬送方向の上流側に受け取り部が設けられ、下流側に受け渡し部が設けられた薄板ガラス基板の搬送手段と、この搬送手段の上方に配設されるとともに、平板状の複数枚のプレートが無端状に連結されたトップチェーンとを備え、上記搬送手段の上記受け取り部において上記薄板ガラス基板を上記トップチェーンに吸着させて上記搬送手段上方に沿って搬送し、上記搬送手段の上記受け渡し部において上記吸着を解いて上記薄板ガラス基板を上記トップチェーンより離脱させる薄板吸着搬送コンベヤ装置において、
上記トップチェーンは、隣接する上記プレートの対向辺の一方側に凸部が形成され、かつ他方側に上記凸部が係合する凹部が形成されて、これら係合部の幅方向にピン材が挿通されて回動自在に連結されているとともに、外表面の上記プレートの上記幅方向両側に、上記トップチェーンの走行方向に延在する独立気泡型パッドが周設されてなり、
上記トップチェーンの上記受け取り部と上記受け渡し部との間には、上記トップチェーンの内表面を覆うとともに、上記プレートの間を介して上記外表面に周設された上記独立気泡型パッド間の空間に連通する真空吸引室が延設され、
上記真空吸引室には、当該真空吸引室内を真空吸引することにより、上記真空吸引室に連通した上記独立気泡型パッド間の空間と上記薄板ガラス基板との間を負圧に保持する真空吸引手段が設けられていることを特徴とする薄板吸着搬送コンベヤ装置。

【0012】

また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、上記真空吸引室には、上記トップチェーンの上記受け取り部と上記受け渡し部との間の空間を区画する仕切り板が、少なくとも１枚設けられていることを特徴とするものである。

【0013】

そして、請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の発明において、上記独立気泡型パッドは、上記プレートごとに設けられているとともに、上記トップチェーンの走行方向に周設されていることを特徴とするものである。

【0014】

そして、請求項４に記載の発明は、請求項１または２に記載の発明において、上記独立気泡型パッドは、上記プレートごとに設けられているとともに、隣接する上記独立気泡型パッド同士の間に、上記トップチェーンの走行方向に対して、上方から下方に向けて傾斜した隙間が形成され、かつ上記トップチェーンの走行方向に周設されていることを特徴とするものである。

【発明の効果】

【0015】

請求項１〜４に記載の本発明によれば、無端状に連結されたトップチェーンの外表面の幅方向両側に、上記トップチェーンの走行方向に延在する独立気泡型パッドを周設するとともに、その内表面を覆い、かつ当該トップチェーンの隣接するプレート同士の間隙を介して、上記独立気泡型パッド間に連通する真空吸引室を、搬送方向の受け取り部と受け渡し部との間に延設しているため、上記真空吸引室が延設された上記受け取り部と上記受け渡し部との間の任意の位置において、真空吸引手段のＯＮ／ＯＦＦを行うことにより、薄板ガラス基板を上記トップチェーンの上記独立気泡型パッド間において、吸着および離脱させることができ、当該薄板ガラス基板を一枚ごと連続搬送することができる。これにより、生産工程の均等なタイミングを図るための工程作業時間であるタクトタイムを短くすることができるとともに、作業効率を向上させることができる。

【0016】

また、無端状に形成された上記トップチェーンの複数のプレート同士の間隙を介して、上記独立気泡型パッド間に連通する上記真空吸引室を吸引し、上記薄板ガラス基板を上記独立気泡型パッド間の空間により吸着するため、従来のように、上記ガラス基板を吸着するための複数の吸盤や、これら複数の吸盤に負圧を発生させる真空吸引手段からの配管などの複雑な設備を必要としない。この結果、設備のスリム化を図ることができるとともに、簡素な構造により修理や補修が容易に行え、メンテナンスコストも抑えることができる。

【0017】

そして、上記トップチェーンに周設されている上記独立気泡型パッドが、柔軟性を備えているとともに、空気を通し難いため、上記薄板ガラス基板を上記搬送手段の上記受け取り部において、上記真空吸引手段の作動により吸着する際に、上記薄板ガラス基板への衝撃を緩和させることができるとともに、上記薄板ガラス基板と上記独立気泡型パッド間の空間との気密を確保することができる。この結果、破損しやすく取り扱いの難しい上記薄板ガラス基板を効率良く連続搬送することができる。

【0018】

請求項２に記載の発明によれば、上記真空吸引室に、上記トップチェーンの上記受け取り部と上記受け渡し部との間の空間を区画する仕切り板が、少なくとも１枚設けられているため、区画毎に上記真空吸引手段を設けることにより、区画毎に真空吸引のＯＮ／ＯＦＦを切り換えることができる。これにより、上記薄板ガラス基板を上記搬送手段の上記受け取り部において吸着させ、上記搬送手段上方に沿って搬送し、上記搬送手段の上記受け渡し部において、上記薄板ガラス基板を離脱させる際に、次の上記薄板ガラス基板を上記受け取り部において吸着させることができ、複数枚を連続搬送させることができる。

【0019】

請求項３に記載の発明によれば、上記独立気泡型パッドが、上記プレートごとに設けられているとともに、上記トップチェーンの走行方向に周設されているため、上記トップチェーンを走行させるトップスプロケットおよびテールスプロケットに、上記トップチェーンが歯合される際に、円周方向に生じる伸びを吸収することができる。これにより、上記独立気泡型パッドの破断や早期の劣化を防止することができる。

【0020】

なお、上記独立気泡型パッドに上記切断部を形成したとても、上記真空吸引室内を上記真空吸引手段により吸引し、上記トップチェーンの隣接する上記プレート同士の間隙を介して吸引されて、上記薄板ガラス基板を上記独立気泡型パッドに当接させる際に、柔軟性を有する上記独立気泡型パッドが圧縮されることにより、上記切断部が密着するため、上記独立気泡型パッド間および上記独立気泡型パッド間に連通した上記真空吸引室内の気密を保つことができる。

【0021】

請求項４に記載の発明によれば、上記独立気泡型パッドが、上記プレートごとに設けられているとともに、隣接する上記独立気泡型パッド同士の間に、上記トップチェーンの走行方向に対して、上方から下方に向けて傾斜した隙間が形成されているため、上記独立気泡型パッドの使用量を抑えることができる。これにより、設備コストのコストを抑えることができる。

【0022】

なお、上記独立気泡型パッドの上記切断部に、上記隙間を形成したとても、上記真空吸引室内を上記真空吸引手段により吸引し、上記トップチェーンの隣接する上記プレート同士の間隙を介して吸引されて、上記薄板ガラス基板を上記独立気泡型パッドに当接させる際に、柔軟性を有する上記独立気泡型パッドが圧縮されることにより、上記隙間が密着するため、上記独立気泡型パッド間および上記独立気泡型パッド間に連通した上記真空吸引室内の気密を保つことができる。

【図面の簡単な説明】

【0023】

【図1】本発明の薄板吸着搬送コンベヤ装置の一実施形態の概略を示す右側面図である。

【図2】本発明の薄板吸着搬送コンベヤ装置の一実施形態の概略を示す平面図である。

【図3】本発明の薄板吸着搬送コンベヤ装置の一実施形態の概略を示す正面図である。

【図4】図１のＡ−Ａ断面図である。

【図5】トップチェーンの一部構造を示す斜視図である。

【図6】トップチェーンとスプロケットとの歯合部分の概略を示す側面図であり、（ａ）はトップスプロケット部分、（ｂ）はテールスプロケット部分である。

【図7】薄板ガラス基板がトップチェーンに吸着した状態を示す概略図である。

【図8】薄板ガラス基板の連続搬送を示し、（ａ）は１枚ごとの連続搬送の状態を示す概略図、（ｂ）は複数枚を連続搬送する状態を示す概略図である。

【図9】トップチェーンに周設する独立気泡型パッドの変形例を示す概略図である。

【発明を実施するための形態】

【0024】

図１〜図３に示すように、本発明の一実施形態の薄板吸着搬送コンベヤ装置１は、薄板ガラス基板ｔの搬送手段２と、この搬送手段２の上方に間隔を置いて配設されているとともに、平板状の複数枚のプレート７が無端状に連結されたトップチェーン６と、このトップチェーン６のトップスプロケット１１とテールスプロケット１２との間に延設された真空吸引室９と、この真空吸引室の負圧を保持するを真空吸引手段１０およびこの真空吸引手段１０に連結されたダクト１０ａとを備え概略構成されている。

【0025】

ここで、搬送手段２は、ローラコンベヤ２が用いられている。このローラコンベヤ２は、搬送方向Ｆの上流側（図中左側）に、受け取り部３が設けられた第１ローラコンベヤ２ｃと、下流側（図中右側）に、受け渡し部４が設けられた第２ローラコンベヤ２ｄとにより構成されている。また、第１および第２ローラコンベヤ２ｃ、２ｄは、薄板ガラス基板ｔが載置される載置台を上下に可動させるリフト手段１４が各々備えられている。このリフト手段１４は、エアーシリンダが用いられている。

【0026】

また、トップチェーン６は、搬送方向Ｆに延在しているとともに、４つが並列に等間隔でローラコンベヤ２の上方に配設されている。また、各々のトップチェーン６は、図５に示すように、平板状の複数枚のプレート７が、無端状に連結されている。このプレート７は、隣接する対向辺の一方側に凸部７ａが形成されているとともに、他方側に凸部７ａが係合する凹部７ｂが形成されている。

【0027】

さらに、凸部７ａには、プレート７の幅方向に貫通した貫通孔７ｄが形成されている。そして、凸部７ａと係合する凹部７ｂ側には、凸部７ａの貫通孔７ｄと連通するとともに、凹部７ｂの上記幅方向両側の突状部に貫通する貫通孔７ｅが形成されている。そして、凸部７ａと凹部７ｂとを係合するとともに、貫通孔７ｄ、７ｅにピン材６ｂが挿通されて係合部６ａが回動自在に形成されているとともに、隣接するプレート７間に間隙が形成されている。

【0028】

また、トップチェーン６の内表面６ｄ側には、プレート７の上記幅方向に対向配置された係合片７ｃが形成されている。この係合片７ｃは、凹部７ｂの上記幅方向両側の突状部に対向配置されているとともに、開口部の対向する内壁の鉛直から外方に突出し、かつプレート７と平行に間隔を置いて一体に形成されている。

【0029】

さらに、トップチェーン６は、図６（ａ）および図６（ｂ）に示すように、搬送方向Ｆの上流２ａ側のトップスプロケット１１、および下流２ｂ側のテールスプロケット１２に各々歯合されている。また、トップスプロケット１１は、モータｋのチェーンｍを介して回転自在に設けられている。さらに、トップスプロケット１１とテールスプロケット１２との間には、案内レール１３が設けられている。この案内レール１３は、図４に示すように、トップチェーン６の内表面６ｄに形成された係合片７ｃと、プレート７との間にが係合されている。また、案内レール１３は、トップチェーン６の走行方向に沿って延設されているとともに、鉛直方向の間隔を保持してトップチェーン６が走行するように設けられている。

【0030】

また、トップチェーン６の外表面６ｃには、プレート７の上記幅方向両側に、トップチェーン６の走行方向に延在する独立気泡型パッド８が周設されている。この独立気泡型パッド８は、樹脂を発泡させたもので、気泡が各々個別に封じられている。また、独立気泡型パッド８は、図６（ａ）および図６（ｂ）に示すように、各々のプレート７ごとに設けられているとともに、隣接する独立気泡型パッド８同士の間に切断部８ａが形成されている。

【0031】

また、独立気泡型パッド８の変形例として、図９に示すように、独立気泡型パッド８が、プレート７ごとに設けられているとともに、隣接する上記独立気泡型パッド８同士の間に、トップチェーンの走行方向に対して、上方から下方に向けて４５°の角度により傾斜して切断されているとともに、１．０〜１．５ｍｍの隙間８ｂが形成されている。

【0032】

そして、各々のトップチェーン６のトップスプロケット１１とテールスプロケット１２との間のローラコンベヤ２側には、トップチェーン６の内表面６ｄを覆うとともに、トップチェーン６の隣接するプレート７の間隙を介して、外表面６ｃに周設された独立気泡型パッド８間に連通する真空吸引室９が延設されている。真空吸引室９は、トップスプロケット１１側およびテールスプロケット１２側の突き板９ｂにより、空間が仕切られている。

【0033】

さらに、図８（ｂ）に示す真空吸引室９の変形例においては、真空吸引室９に、トップチェーン６のトップスプロケット１１とテールスプロケット１２との間の空間を区画する仕切り板９ａが２箇所設けられている。この２箇所に設けられた仕切り板９ａにより、上流２a側から、第１真空吸引室９ｃ、第２真空吸引室９ｄ、第３真空吸引室９ｅが形成されている。

【0034】

また、真空吸引室９には、トップチェーン６のトップスプロケット１１とテールスプロケット１２との間に、間隔を置いて配設されたダクト１０ａが３箇所設けられている。このダクト１０ａは、各箇所に２つトップチェーン６の幅方向に設けられているとともに、各々のダクト１０ａに負圧を保持する真空吸引手段１０が接続されている。また、図８（ｂ）の真空吸引室９の変形例においては、トップチェーン６の走行方向に配設された仕切り板９ａにより区画された、第１真空吸引室９ｃ、第２真空吸引室９ｄ、第３真空吸引室９ｅに、ダクト１０ａが各々接続されている。また、各部屋ごとに接続されたダクト１０ａに接続された真空吸引手段１０は、真空吸引のＯＮ／ＯＦＦを個別に行えるようになっている。

【0035】

以上の構成による薄板吸着搬送コンベヤ装置１を用いて、薄板ガラス基板ｔを連続搬送するには、まず、図１に示す搬送方向Ｆの上流２ａ側の第１ローラコンベヤ２ｃに、薄板ガラス基板ｔを載置する。次に、薄板ガラス基板ｔを第１ローラコンベヤ２ｃの受け取り部３に搬送する。

【0036】

そして、真空吸引手段１０を作動させて、ローラコンベヤ２の上方に配設された４箇所のトップチェーン６の内表面６ｄを覆う真空吸引室９内を真空吸引することにより、トップチェーン６の回動自在に係合されたプレート７の各々の隙間から吸引され、薄板ガラス基板ｔ間の空間とトップチェーン６との間に負圧が生じて、薄板ガラス基板ｔがトップチェーン６に引き寄せられて、独立気泡型パッド８間の空間に吸着する。

【0037】

この際、図７に示すように、独立気泡型パッド８間に吸着した薄板ガラス基板ｔは、独立気泡型パッド８が外気を遮断し、気密性を確保するため、真空吸引室９に連通した独立気泡型パッド８間の空間と薄板ガラス基板との間の負圧が保持されて、薄板ガラス基板ｔを確実に独立気泡型パッド８に支持させることができる。

【0038】

次に、モータｋを作動させて、トップチェーン６に歯合されているトップスプロケット１１をチェーンｍを介して回転させる。そして、薄板ガラス基板ｔを搬送方向Ｆの上流２ａ側から下流２ｂ側に、ローラコンベヤ２上方に沿って搬送する。この際に、トップチェーン６の外表面６ｃに周設された独立気泡型パッド８が、プレート７ごとに設けることにより形成された各々の独立気泡型パッド間の切断部８ａにより、トップスプロケット１１およびテールスプロケット１２に歯合される際の、円周方向の伸びをこの切断部８ａにより吸収して、独立気泡型パッド８の負担が軽減される。

【0039】

そして、薄板ガラス基板ｔを搬送方向Ｆの下流２ｂ側に配設されている第２ローラコンベヤ２ｄまで搬送する。さらに、第２ローラコンベヤ２ｄの受け渡し部４において、真空吸引手段を停止させることにより、真空吸引室９および真空吸引室９と連通している独立気泡型パッド８間が、負圧から正圧に戻り、薄板カラス基板ｔが独立気泡型パッド８から離脱して、第２ローラコンベヤ２ｄに載置され、さらに薄板ガラス基板ｔが次工程に搬送される。

【0040】

また、独立気泡型パッド８を図９の変形例に示すように、プレート７ごとに設けることにより形成された各々の独立気泡型パッド間の切断部８ａに、４５°に傾斜した隙間８ｂを設けた場合には、トップスプロケット１１およびテールスプロケット１２に歯合される際の独立気泡型パッド８に生じる伸びを吸収するとともに、真空吸引手段１０の作動により、第１ローラコンベヤ２ｃの受け取り部３において、薄板ガラス基板ｔを独立気泡型パッド８に吸着させる際に、真空吸引により薄板ガラス基板ｔが吸着した独立気泡型パッド８は、その柔軟性により変形することにより、隙間８ｂが密着して、気密性を保持することができる。

【0041】

さらに、通常の連続搬送では、仕切り板９ａが無い図８（ａ）に示すように、１枚目を搬送方向Ｆの上流２ａ側の受け取り部３で吸着し、吸着を保持したまま下流２ｂ側の受け渡し部４まで搬送し、薄板ガラス基板ｔを離脱した後に、２枚目の薄板ガラス基板ｔを上流２ａ側の受け取り部３において吸着する。

【0042】

一方、真空吸引室９に、トップチェーン６のトップスプロケット１１とテールスプロケット１２との間を区画する仕切る仕切り板９ａを設けた場合には、図８（ｂ）に示すように、１枚目を上流２ａ側の受け取り部３の第１真空吸引室９ｃにおいて吸着し、薄板ガラス基板ｔが仕切り板９ａを超えて、第２真空吸引室９ｄまで搬送させることにより、トップチェーン６の走行および受け取り部３の真空吸引室９ｃの吸引を停止して、２枚目の薄板ガラス基板ｔを第１ローラコンベアにセットした後に、受け取り部３の第１真空吸引室９ｃにおいて、真空急進手段を作動させて、２枚目の薄板ガラス基板ｔを吸着することができる。

【0043】

さらに、２枚目の薄板ガラス基板ｔを吸着後に、トップスプロケット１１を回転させ、トップチェーン６を走行させて、２枚目の薄板ガラス基板ｔを第２真空吸引室９ｄに搬送する。このときに、一枚目の薄板ガラス基板ｔが第３真空吸引室９ｅに搬送されるとともに、第２ローラコンベヤ２ｄの受け渡し部４に搬送されるため、第３真空吸引室９ｄの真空吸引を停止することにより、薄板ガラス基板ｔが第２ローラコンベア上に載置される。
また、１枚目の薄板ガラス基板ｔを下流２ｂ側の受け渡し部４において、離脱させると同時に、上流２ａ側の受け取り部３において、３枚目の薄板ガラス基板ｔを吸着することができる。このように、真空吸引室９のトップチェーン６の走行方向の空間を仕切ることにより、複数枚の薄板ガラス基板ｔを連続搬送することができる。

【0044】

上述の実施形態による薄板吸着搬送コンベヤ装置１によれば、無端状に連結されたトップチェーン６の外表面６ｃの幅方向両側に、当該トップチェーン６の走行方向に延在する独立気泡型パッド８を周設するとともに、その内表面６ｄを覆い、かつ当該トップチェーン６の隣接するプレート７同士の間隙を介して、独立気泡型パッド８間に連通する真空吸引室９を、搬送方向Ｆの受け取り部３と受け渡し部４との間に延設しているため、真空吸引室９が延設された受け取り部３と受け渡し部４との間の任意の位置において、真空吸引手段１０のＯＮ／ＯＦＦを行うことにより、薄板ガラス基板ｔをトップチェーン６の独立気泡型パッド８間において、吸着および離脱させることができ、薄板ガラス基板ｔを一枚ごと連続搬送することができる。これにより、生産工程の均等なタイミングを図るための工程作業時間であるタクトタイムを短くすることができるとともに、作業効率を向上させることができる。

【0045】

また、無端状に形成されたトップチェーン６の複数のプレート７同士の間隙を介して、独立気泡型パッド８間に連通する真空吸引室９を真空吸引手段１０により吸引し、薄板ガラス基板ｔを独立気泡型パッド８間の空間により吸着するため、従来のように、薄板ガラス基板ｔを吸着するための複数の吸盤や、これら複数の吸盤に負圧を発生させる真空吸引手段１０からの複数の配管などの設備を必要としない。この結果、設備のスリム化を図ることができるとともに、簡素な構造により修理や補修が容易に行え、メンテナンスコストも抑えることができる。

【0046】

そして、トップチェーン６に周設された独立気泡型パッド８が、柔軟性を備えているとともに、空気を通し難いため、薄板ガラス基板ｔを第１ローラコンベヤ２ｃの受け取り部３において、真空吸引手段１０の作動により吸着する際に、薄板ガラス基板ｔに及ぼす衝撃を緩和させることができるとともに、薄板ガラス基板ｔと独立気泡型パッド８間の空間との気密性を確保することができる。この結果、破損しやすく、しかもキズが付きやすい上記薄板ガラス基板を効率良く連続搬送することができる。

【0047】

さらに、図８（ｂ）に示すように、真空吸引室９に、トップチェーン６の受け取り部３と受け渡し部４と間の空間を区画する仕切り板９ａが、２枚間隔を置いて設けられているとともに、この仕切り板９ａにより、第１真空吸引室９ｃ、第２真空吸引室９ｄ、第３真空吸引室９ｅが形成されているため、各々の真空吸引室９ｃ、９ｄ、９ｅに、真空吸引手段１０を設けることにより、各々の真空吸引室９ｃ、９ｄ、９ｅごとに真空吸引のＯＮ／ＮＯＦＦを切り換えることができ、複数枚の薄板ガラス基板ｔを搬送することができる。これにより、さらにタクトタイムを短縮することができ、作業効率を向上させることができる。

【0048】

また、独立気泡型パッド８が、プレート７ごとに設けられて、トップチェーン６の走行方向に周設されているため、トップスプロケット１１およびテールスプロケット１２に、トップチェーン６が歯合される際に、円周方向に生じる伸びを吸収することができる。これにより、独立気泡型パッド８の破断や早期の劣化を防止することができる。

【0049】

なお、独立気泡型パッドに切断部８ａを形成したとても、真空吸引室内９を真空吸引手段１０により吸引し、トップチェーン６の隣接するプレート７同士の間隙を介して吸引されて、薄板ガラス基板ｔを独立気泡型パッド８に当接させる際に、柔軟性を有する独立気泡型パッド８が圧縮されることにより、切断部８ａが密着するため、独立気泡型パッド８間および独立気泡型パッド８間に連通した真空吸引室９内の気密を保つことができる。

【0050】

さらに、図９に示す独立気泡型パッドの変形例においては、独立気泡型パッド８が、プレート７ごとに設けられているとともに、隣接する独立気泡型パッド８同士の間に、トップチェーンの走６行方向に対して、上方から下方に向けて傾斜した隙間８ｂが形成されているため、独立気泡型パッド８の使用量を抑えることができる。これにより、設備コストのコストを抑えることができる。

【0051】

なお、独立気泡型パッド８の切断部８ａに、隙間８ｂを形成したとても、真空吸引室９内を吸引手段１０により吸引し、トップチェーン６の隣接するプレート７同士の間隙を介して真空吸引され、薄板ガラス基板ｔを独立気泡型パッド８に当接させる際に、柔軟性を有する独立気泡型パッド８が圧縮されることにより、隙間８ｂが密着するため、独立気泡型パッド８間および独立気泡型パッド８間に連通した真空吸引室９内の気密を保つことができる。

【0052】

なお、上記実施の形態において、独立気泡型パッド８を気泡を各々独立させて発泡した樹脂を用いる場合のみ説明したが、これに限定されるものでなく、例えば、柔軟性を有するゴムでも対応可能である。
また、ローラコンベヤ２を第１ローラコンベヤ２ｃおよび第２ローラコンベヤ２ｄに分離している場合のみ説明したが、これに限定されるものでなく、例えば、一連のローラコンベヤ２でも対応可能である。
されに、搬送手段２をローラコンベヤ２を用いる場合のみ説明したが、これに限定されるものでなく、例えば、ベルトコンベヤでも対応可能である。

【産業上の利用可能性】

【0053】

薄板ガラス基板などの薄板材に利用することができる。

【符号の説明】

【0054】

１ 薄板吸着搬送コンベヤ装置
２ 搬送手段
２ａ 上流側
２ｂ 下流側
３ 受け取り部
４ 受け渡し部
５ ストッパ部
６ トップチェーン
６ａ 係合部
６ｂ ピン材
６ｃ 外表面
６ｄ 内表面
７ プレート
８ 独立気泡型パッド
８ａ 切断部
８ｂ 隙間
９ 真空吸引室
９ａ 仕切り板
１０ 真空吸引手段
１１ トップスプロケット
１２ テールスプロケット
１３ 案内部材
ｔ 薄板ガラス基板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】