特許5742622トリクロロシラン製造方法及び製造装置

発明の名称　トリクロロシラン製造方法及び製造装置

出願人　三菱マテリアル株式会社　（識別番号 6264）

　　　　特許公開件数ランキング 232 位（137件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 221 位（135件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5742622

公報発行日　2015年7月1

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5742622

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