特許 5745516 ころがり軸受

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5745516

(24)【登録日】2015年5月15日

(45)【発行日】2015年7月8日

(54)【発明の名称】ころがり軸受

(51)【国際特許分類】

   F16C 33/78 20060101AFI20150618BHJP

   F16C 33/66 20060101ALI20150618BHJP

   F16J 15/43 20060101ALI20150618BHJP

【ＦＩ】

   F16C33/78 Z

   F16C33/66 B

   F16J15/40 A

【請求項の数】7

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2012-523852(P2012-523852)

(86)(22)【出願日】2011年7月4日

(86)【国際出願番号】JP2011065254

(87)【国際公開番号】WO2012005202

(87)【国際公開日】20120112

【審査請求日】2014年1月16日

(31)【優先権主張番号】特願2010-152868(P2010-152868)

(32)【優先日】2010年7月5日

(33)【優先権主張国】JP

【前置審査】

(73)【特許権者】

【識別番号】000101879

【氏名又は名称】イーグル工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100098729

【弁理士】

【氏名又は名称】重信 和男

(74)【代理人】

【識別番号】100116506

【弁理士】

【氏名又は名称】櫻井 義宏

(74)【代理人】

【識別番号】100163212

【弁理士】

【氏名又は名称】溝渕 良一

(74)【代理人】

【識別番号】100148161

【弁理士】

【氏名又は名称】秋庭 英樹

(74)【代理人】

【識別番号】100156535

【弁理士】

【氏名又は名称】堅田 多恵子

(74)【代理人】

【識別番号】100116757

【弁理士】

【氏名又は名称】清水 英雄

(74)【代理人】

【識別番号】100123216

【弁理士】

【氏名又は名称】高木 祐一

(72)【発明者】

【氏名】本多 茂樹

【審査官】 稲垣 彰彦

(56)【参考文献】

【文献】 実開平３−１２１２２３（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開昭６３−１０１５２０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−７８１１３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｆ１６Ｃ １９／００−１９／５６

３３／３０−３３／８２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

回転力等の動力を伝達するための動力伝達装置に使用されるころがり軸受において、
前記ころがり軸受の潤滑部を潤滑する潤滑性磁性流体を前記潤滑部に保持するための磁石をころがり軸受の外輪の少なくとも軸方向の一側に設け、さらに、該磁石の前記外輪と軸方向の反対側に、磁性材料からなり、回転軸に遊嵌するリング状のヨークを設け、前記磁石から前記ヨーク及び前記潤滑部を経由して前記磁石に戻る磁気回路が形成され、前記磁気回路により前記潤滑部を構成するボールと前記外輪との間及び前記ボールと内輪との間に前記潤滑性磁性流体が保持されるとともに、前記ヨークと、前記ヨークと間隙を有して配設された前記回転軸又は前記内輪との間に、前記ボールの転動により発生するミスト及びパーティクルを前記間隙に形成された磁気によりトラップするマグネットトラップである磁気空間が形成されることを特徴とするころがり軸受。

【請求項2】

回転軸を磁性材料から形成し、潤滑性磁性流体を潤滑部に保持するところの磁気回路を、磁石、ヨーク、回転軸、及びころがり軸受の内輪、ボール、外輪の間で形成することを特徴とする請求項１記載のころがり軸受。

【請求項3】

回転軸を磁性材料又は非磁性材料から形成し、潤滑性磁性流体を潤滑部に保持するところの磁気回路を、磁石、ヨーク、及びころがり軸受の内輪、ボール、外輪の間で形成することを特徴とする請求項１記載のころがり軸受。

【請求項4】

ヨークの断面形状がＩ字状であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載のころがり軸受。

【請求項5】

ヨークの断面形状がＬ字状であって、該Ｌ字状の垂直部分が磁石に接し、水平部分は回転軸の表面に対向するように配設されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載のころがり軸受。

【請求項6】

Ｌ字状のヨークの水平部分の回転軸の表面に対向する面に凹凸部が形成されることを特徴とする請求項５記載のころがり軸受。

【請求項7】

リング状のヨークの磁石に面する側に膨出部を設け、該膨出部のころがり軸受の外輪側に開口する筒状又は矩形状の凹部を円周方向に複数設け、該凹部に磁石を嵌入させることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項記載のころがり軸受。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ころがり軸受、特に、半導体、ＦＰＤ及び太陽電池などの製造装置における真空場で使用されるのに好適な磁性流体を利用したころがり軸受に関するものである。

【背景技術】

【0002】

半導体製造装置等においては、例えば、真空ポンプによって高真空状態に保持された反応室内にウエハを配置して反応ガスを導入してＣＶＤ法等によって薄膜の形成を行なっている。反応室内でのワークの搬送は気密状態のままで行う必要があり、そのための搬送機構においては、反応室内においてワークを実際に把持するアーム部分と、反応室の外部からアーム部分に動力を伝達するための駆動機構との間が気密状態で完全に仕切られている必要がある。また、反応室の側は塵等の発生を極力抑える必要がある。このために、反応室内のアーム部分の駆動機構は摩耗粉、潤滑剤のミスト等が発生しない機構が望ましい。

【0003】

上記のような半導体製造装置等にあっては、例えば、図１０に示すような磁性流体シール装置が使用されている。この磁性流体シール装置は、一対の磁極片としてのポールピース１０２，１０３と、この一対のポールピース１０２，１０３に挟まれた磁力発生手段としての磁石１０４と、で構成される磁気回路形成手段を用いている。そして、ハウジング１１２に一対のポールピース１０２，１０３が密封性を向上させるＯリング１０５，１０６を介して装着され、ポールピース１０２，１０３と磁石１０４と磁性流体１０７と磁性材製である軸１１１とで磁気回路を形成して、磁性流体１０７をポールピース１０２，１０３と軸１１１に形成された複数の環状突起先端との間に保持して密封対象側である真空側を真空状態に保持する密封機能を備えるものである（以下、「従来技術１」という。）。

【0004】

そして、このような磁性流体シール装置１０１の大気側に、軸受部としてのベアリング１１０が配置されている。このベアリング１１０は、一般にベアリング１１０から発生するダストが嫌われて、磁性流体シール装置１０１の大気側に配置される。ベアリング１１０には、アンギュラベアリング等が用いられ、このベアリング１１０の潤滑には、グリースを使用することが多い。

【0005】

しかし、上記従来技術１では、グリースは、一般にベースオイルに増稠剤を混合したものであり、多少ならずとも油分離は起こしてしまう。この状況は、温度が高くなる程顕著となり、図１０のように軸受が片持ちタイプの場合、分離したオイルがベアリング１１０から流れ出し、磁性流体１０７中に混入し、磁性流体１０７の劣化が生じ、耐圧性及び真空性に悪影響を及ぼし磁性流体シール装置１０１の寿命を短くする問題があった（以下「第１の問題」という。）。
また、分離したオイルがベアリング１１０から大気側に流れ出しドライ状態となることから、トルクが大きくなり、最悪の場合ベアリングが壊れることもある。さらに、軸受にグリースを足す場合には、装置を分解する必要があり煩雑な作業を強いられることになる。
一方、軸受を真空側に配置した両持ちタイプの磁性流体シール装置などにあっては、片持ちタイプと同様に第１の問題があり、さらに気泡や水分が真空中に放出され真空チャンバー内の真空の質を低下させたり、圧力変動が起こり問題視されている（以下「第２の問題」という。）。

【0006】

上記第１の問題に鑑み、大気側のポールピースの上面に、ハウジング側に下方へ凹むオイル受け部を備え、ベアリングでグリースが多少ならずとも油分離を起こし、分離したオイルがベアリングから流れ出した場合に、ベアリングの下部にあるオイル受け部に溜め、オイルが磁性流体中に混入することを防止するようにした装置が知られている（以下「従来技術２」という。例えば、特許文献１参照。）。

【0007】

また、上記第２の問題に鑑み、図１１に示すように、仕切り壁１２０により気密状態で仕切られた真空側と大気側との間で回転力等の動力を伝達するための回転伝達装置に関して、回転出力軸１２１を回転自在に支持している第１および第２のボールベアリング１１３、１１４の潤滑剤として、グリースの代わりに磁性流体を用いたものが知られている（以下「従来技術３」という。例えば、特許文献２参照。）。この従来技術３は、第１および第２のボールベアリング１１３、１１４の外輪の間に挟まれた円環状の第１のスペーサ１１５と内輪の間に挟まれた円環状の第２のスペーサ１１６と、円環状段面１２２ａと、ナット１１７とによって、第１および第２のボールベアリング１１３、１１４の外輪及び内輪の軸線方向の位置を規定し、磁気回路を構成するために、第１のスペーサ１１５はフェライト系あるいはマルテンサイト系ステンレス等の強磁性体から形成し、また、軸線方向の端がＮ極、Ｓ極となるように着磁し、さらに、回転出力軸１２１の少なくとも軸部分１２２は磁性体から形成し、これに加えて、ボールベアリング１１３、１１４も一般的に使用されている金属製の磁性体とし、第２のスペーサ１１６を非磁性体とし、ボールベアリング１１３、１１４の接触部分の周囲を磁性流体で覆われた状態に形成するようにしたものである。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0008】

【特許文献1】特開２００３−２５４４４６号公報

【特許文献2】特開平１１−１６６５９７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0009】

上記従来技術２においては、オイルの混入が防止された磁性流体には劣化が生じず、耐圧性及び真空性に影響が及ばず、磁性流体シール装置の長寿命化が図れるという効果はあるが、真空中の場合、オイル受け部に溜められたオイルに含まれている気泡や水分が真空中に放出され真空チャンバー内の真空の質を低下させるという問題があった。
また、上記従来技術３のように、磁石を用いた磁気回路により潤滑性磁性流体を固定するものではボールベアリングの接触部分で発生する微小な摩耗粉等のパーティクルが少なくなると期待されていたが、実際に試験してみると、図８および９に示すように、潤滑剤としてグリースを用いた場合に比べてパーティクル発生量がかなり多い。
ただし、この試験では、潤滑剤がグリースの場合、軸受に公知のシールドを設けてパーティクルを発生し難くしている一方、潤滑剤が磁性流体の場合、軸受にシールドを設けず、さらに磁力の弱い磁石を用いて（弱磁場）、パーティクルの発生し易い環境に設定した。

【0010】

本発明は上記のような問題を解決するためになされたものであって、ころがり軸受の潤滑剤として潤滑性磁性流体を用い、磁石を用いた磁気回路により潤滑性磁性流体を固定するものにおいて、ころがり軸受の少なくとも一側にマグネットトラップを設けることにより、ミストおよびパーティクルの発生を防止し、真空側の真空の質の低下及び圧力変動の防止、または、磁性流体シール装置の劣化の防止、あるいは、グリース使用による高温時の垂れおよび高トルク化の問題の解消を図ることを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0011】

上述の目的を達成するために本発明のころがり軸受は、第１に、回転力等の動力を伝達するための動力伝達装置に使用されるころがり軸受において、該ころがり軸受の潤滑部を潤滑する潤滑性磁性流体を前記潤滑部に保持するための磁石をころがり軸受の外輪の少なくとも一側に設け、さらに、該磁石の前記外輪と反対側に、磁性材料からなり、回転軸に遊嵌するリング状のヨークを設けることを特徴としている。
上記第１の特徴により、ミストおよびパーティクルの発生を防止し、真空側の真空の質の低下及び圧力変動の防止、または、磁性流体シール装置の劣化の防止、あるいは、グリース使用による高温時の垂れおよび高トルク化の問題の解消を図ることができる。

【0012】

また、本発明のころがり軸受は、第２に、第１の特徴において、回転軸を磁性材料から形成し、潤滑性磁性流体を潤滑部に保持するところの磁気回路を、磁石、ヨーク、回転軸及びころがり軸受の内輪、ボール、外輪の間で形成することを特徴としている。
上記第２の特徴により、磁気回路の形成が十分且つ容易にできる。

【0013】

また、本発明のころがり軸受は、第３に、第１の特徴において、回転軸を磁性材料又は非磁性材料から形成し、潤滑性磁性流体を潤滑部に保持するところの磁気回路を、磁石、ヨーク、及びころがり軸受の内輪、ボール、外輪の間で形成することを特徴としている。
上記第３の特徴により、回転軸の材料が磁性材料に限定されないという利点がある。

【0014】

また、本発明のころがり軸受は、第４に、第１乃至第３のいずれかの特徴において、ヨークの断面形状がＩ字状であることを特徴としている。
上記第４の特徴により、ヨークの製造が容易にできる。

【0015】

また、本発明のころがり軸受は、第５に、第１乃至第３のいずれかの特徴において、ヨークの断面形状がＬ字状であって、該Ｌ字状の垂直部分が磁石に接し、水平部分は回転軸の表面に対向するように配設されることを特徴としている。
また、本発明のころがり軸受は、第６に、第５の特徴において、Ｌ字状のヨークの水平部分の回転軸の表面に対向する面に凹凸部が形成されることを特徴としている。
上記第５および第６の特徴により、パーティクル等を極めて効率よくトラップすることができる。

【0016】

また、本発明のころがり軸受は、第７に、第１乃至第６のいずれかの特徴において、リング状のヨークの磁石に面する側に膨出部を設け、該膨出部のころがり軸受の外輪側に開口する筒状又は矩形状の凹部を円周方向に複数設け、該凹部に磁石を嵌入させることを特徴としている。
上記第７の特徴により、ヨークを寸法精度良く製造すれば磁石の寸法精度を要求するまでもなく、簡単な構造でころがり軸受を寸法精度良く設置することができ、また、既存のころがり軸受にも容易に適用することができる。

【発明の効果】

【0017】

本発明のころがり軸受は、以下のような優れた効果を奏する。
（１）ころがり軸受の潤滑部を潤滑する潤滑性磁性流体を前記潤滑部に保持するための磁石をころがり軸受の外輪の少なくとも一側に設け、さらに、該磁石の前記外輪と反対側に、磁性材料からなり、回転軸に遊嵌するリング状のヨークを設けることにより、ミストおよびパーティクルの発生を防止し、真空側の真空の質の低下及び圧力変動の防止、または、磁性流体シール装置の劣化の防止、あるいは、グリース使用による高温時の垂れおよび高トルク化の問題の解消を図ることができる。
（２）回転軸を磁性材料から形成し、潤滑性磁性流体を潤滑部に保持するところの磁気回路を、磁石、ヨーク、回転軸及びころがり軸受の内輪、ボール、外輪の間で形成することにより、磁気回路の形成が十分且つ容易にできる。
（３）回転軸を磁性材料又は非磁性材料から形成し、潤滑性磁性流体を潤滑部に保持するところの磁気回路を、磁石、ヨーク、及びころがり軸受の内輪、ボール、外輪の間で形成することにより、回転軸の材料が磁性材料に限定されないという利点がある。

【0018】

（４）ヨークの断面形状をＩ字状とすることにより、ヨークの製造が容易にできる。
（５）ヨークの断面形状がＬ字状であって、該Ｌ字状の垂直部分が磁石に接し、水平部分は回転軸の表面に対向するように配設されること、および、Ｌ字状のヨークの水平部分の回転軸の表面に対向する面に凹凸部が形成されることにより、パーティクル等を極めて効率よくトラップすることができる。
（６）リング状のヨークの磁石に面する側に膨出部を設け、該膨出部のころがり軸受の外輪側に開口する筒状又は矩形状の凹部を円周方向に複数設け、該凹部に磁石を嵌入させることにより、ヨークを寸法精度良く製造すれば磁石の寸法精度を要求するまでもなく、簡単な構造でころがり軸受を寸法精度良く設置することができ、また、既存のころがり軸受にも容易に適用することができる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】本発明の実施形態１に係るころがり軸受を、磁性流体シールを備えた軸受装置に適用した例を示す正面断面図である。

【図2】本発明の実施形態１に係るころがり軸受を、磁性流体シールのない軸受装置に適用した例を示す正面断面図である。

【図3】本発明の実施形態１に係るころがり軸受を説明するためのもので、（ａ）は、ころがり軸受の一方側にマグネットトラップを設けた場合の正面断面図、（ｂ）は、ころがり軸受の両側にマグネットトラップを設けた場合の正面断面図である。

【図4】本発明の実施形態２に係るころがり軸受を説明するための正面断面図である。

【図5】本発明の実施形態３に係るころがり軸受を説明するための正面断面図である。

【図6】本発明の実施形態４に係るころがり軸受を説明するためのものであって、（ａ）は正面断面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図である。

【図7】本発明の実施形態５に係るころがり軸受を説明するための正面断面図である。

【図8】通常のころがり軸受において潤滑剤としてグリースを用いた場合と、潤滑剤として磁性流体を用い、磁石を用いた磁気回路により磁性流体を固定した場合との１時間当たりのパーティクルの発生量を測定した図である。

【図9】通常のころがり軸受において潤滑剤としてグリースを用いた場合、潤滑剤として磁性流体を用い、磁石を用いた磁気回路により磁性流体を固定した場合、および、潤滑剤として磁性流体を用い、磁石を用いた磁気回路により磁性流体を固定するとともに、本発明によるマグネットラップ（磁石及びヨーク）を装着した場合における、時間経過に伴う１時間当たりのパーティクルの発生量を測定した図である。

【図10】従来技術１を示す正面断面図である。

【図11】従来技術３を示す正面断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0020】

本発明のころがり軸受を実施するための形態を図面を参照しながら詳細に説明するが、本発明はこれに限定されて解釈されるものではなく、本発明の範囲を逸脱しない限りにおいて、当業者の知識に基づいて、種々の変更、修正、改良を加えうるものである。

【0021】

〔実施の形態１〕
図１は、本発明の実施形態１に係るころがり軸受を、磁性流体シールを備えた軸受装置に適用した例を示す正面断面図であり、図２は、本発明の実施形態１に係るころがり軸受を、磁性流体シールのない軸受装置に適用した例を示す正面断面図である。また、図３は、本発明の実施形態１に係るころがり軸受２０を説明するための正面断面図である。
図１及び図２においては、左側が真空側、右側が大気側である場合について説明するが、本発明のころがり軸受は、両側が大気−大気、あるいは、真空−真空であっても適用できることはいうまでもない。

【0022】

図１において、軸受装置は、ハウジング２と回転軸１との間に装着されて、ハウジング２と回転軸１との間をシールするととも回転軸１を回転自在に支持するものにであって、ハウジング２内の中央部に磁性流体シール３を配置するとともに該磁性流体シール３の両側にころがり軸受２０、２０を配置し、該真空側のころがり軸受２０の外輪２１又は内輪２２と磁性流体シール３との間、及び、大気側のころがり軸受２０の外輪２１と磁性流体シール３との間には非磁性材料からなるスペーサ４を介在させてなるものである。

【0023】

ハウジング２の内周側の左端には段部５が形成され、該段部５にころがり軸受２０が当接され、右側に向かって順に、スペーサ４、磁性流体シール３、スペーサ４およびころがり軸受２０が配置され、押えリング６およびボルト７により段部５に押し付けられるようにして固定される。
一方、回転軸１には、リテイニングリング８が大気側のころがり軸受２０の位置に対応してに設けられ、該ころがり軸受２０の内輪２２を位置決めする。磁性流体シール３は、マグネット９と、その両側に配置されたポールピース１０、１０とより構成される。ポールピース１０、１０に対向する回転軸１の外周面には、複数の凸部１１が形成されている。また、ポールピース１０、１０の外周面にはＯリング１２が装着され、ハウジング２の内周面との間をシールしている。

【0024】

図２の軸受装置は、ハウジング２と回転軸１との間に装着されて、ハウジング２と回転軸１との間をシールするととも回転軸１を回転自在に支持するものにであって、ハウジング２内の中央部に非磁性材料からなるスペーサ１３を配置するとともに該スペーサ１３の両側にころがり軸受２０、２０を配置したものである。ハウジング２の内周側の左端には段部５が形成され、該段部５にころがり軸受２０が当接され、右側に向かって順に、スペーサ１３およびころがり軸受２０が配置され、押えリング６およびボルト７により段部５に押し付けられるようにして固定される。
一方、回転軸１には、大気側のころがり軸受に対応する位置にリテイニングリング８が設けられ、該のころがり軸受２０の内輪２２が位置決めされている。

【0025】

図１及び図２において、本発明の実施形態１に係るころがり軸受２０は、玉軸受あるいはローラ軸受等の転動体のころがりを利用した軸受であり、外輪２１がハウジング２に固定され、内輪２２が回転軸１に固定される。外輪２１と内輪２２との間にはボール２３が嵌入されている。
また、真空側のころがり軸受２０の外輪２１の真空側側面、及び、大気側のころがり軸受２０の外輪２１の大気側には、それぞれ磁石２４が設けられ、さらに、該それぞれの磁石２４の外輪２１と反対側に、磁性材料からなり、回転軸１に遊嵌するリング状のヨーク２５が設けられる。図１において、それぞれのころがり軸受２０の真空側及び大気側に磁石２４及びヨーク２５より構成されるマグネットトラップを設けることにより真空室及び大気中にパーティクルの流出を防止することができる。図１の場合、マグネットトラップを、それぞれのころがり軸受２０の片側にしか設けていないのはマグネットトラップを設けていない側には磁性流体シール３が設けられ、磁性流体を保持しているポールピース１０と回転軸１の複数の凸部１１との間でパーティクルがトラップされるからである。ただし、ころがり軸受２０に用いる潤滑性磁性流体と磁性流体シールの磁性流体が異なり、相互に混入を防止する必要がある場合には、それぞれのころがり軸受２０の両側にマグネットトラップを設けるのが望ましい。また、図２において、それぞれのころがり軸受２０の真空側及び大気側にしかマグネットトラップを設けていないのは、２つのころがり軸受の距離が離れており、パーティクルが真空側及び大気側に流出しようとしても、両端のマグネットトラップでトラップされ流出できないからである。このように、マグネットトラップをころがり軸受２０の片側あるいは両側のいずれにに設けるかは設計的に決められる事項である。
ころがり軸受２０の潤滑剤としては、グリースの代わりに、潤滑性磁性流体２６が用いられ、被潤滑部分に対する潤滑が行われる。被潤滑部分の潤滑を長期間に亘って適切に行うために、潤滑性磁性流体を被潤滑部分に保持するための磁気回路を形成する必要がある。
磁気回路の形成のため、本実施の形態においては回転軸１は磁性体から形成され、ころがり軸受２０の外輪２１、内輪２２およびボール２３も一般的に使用されている金属製であり、磁性体である。

【0026】

磁性流体としては、大別して、水ベース磁性流体、炭化水素油ベース磁性流体及びふっ素油ベース磁性流体の３種類あるが、本発明のころがり軸受２０では、蒸気圧が低く、高温・高真空中において蒸発しにくい炭化水素油ベース磁性流体及びふっ素油ベース磁性流体を用いている。
そのため、本発明においては、炭化水素油ベース磁性流体及びふっ素油ベース磁性流体を、特に、潤滑性磁性流体と呼ぶこととする。
また、磁石２４としては、例えば、金属又は磁石粉を充填した有機材料等からなる永久磁石が用いられる。

【0027】

図３は、図１及び図２に装着されたころがり軸受２０を説明するためのものであって、（ａ）は、ころがり軸受の一方側に磁石２４及びヨーク２５からなるマグネットトラップを設けた場合の正面断面図、（ｂ）は、ころがり軸受の両側に磁石２４及びヨーク２５からなるマグネットトラップを設けた場合の正面断面図である。
回転軸１は磁性体から形成され、ころがり軸受２０の外輪２１、内輪２２およびボール２３も磁性体であり、矢印で示す方向に磁気回路が形成される。すなわち、永久磁石である磁石２４から、ヨーク２５、回転軸１、内輪２２、ボール２３、外輪２１を経由して再び磁石２４に戻る磁気回路が形成される。このため、ボール２３と外輪２１との間、および、ボール２３と内輪２２との間には、潤滑性磁性流体２６が保持される。

【0028】

ヨーク２５は、回転軸１に遊嵌されるように、回転軸１の径より少し大きい内径を有するリング状をしており、その断面形状はＬ字状をなし、磁石２４に接する部分はＬ字の垂直部分２５−１であり、回転軸１の表面に対向する部分はＬ字の水平部分２５−２であり、該水平部分２５−２は内輪２２に向かって延びている。
このヨーク２５は、磁石２４の真空側、すなわち、ボール２３より真空側に配置されるため、ボール２３の転動により磁性流体などのパーティクル等が発生しても、ヨーク２５によりトラップし、真空側へのパーティクルの侵入を防止するものである。ヨーク２５と回転軸１の表面との間にはわずかな間隙があり、この間隙を通ってパーティクルが真空側に侵入することが考えられるが、ヨーク２５の水平部分２５−２と回転軸１の表面との間には磁気回路が形成されているため、パーティクルは効率よくトラップされ、真空側に侵入することはできない。

【0029】

〔実施の形態２〕
図４は、本発明の実施形態２に係るころがり軸受２０を説明するための正面断面図である。
実施形態２に係るころがり軸受２０は、基本構造は実施の形態１と同じであり、図４において、図４と同じ符号は図４の場合と同じ部材を指している。以下、実施の形態１と相違する部分について主に説明する。

【0030】

図４において、リング状のヨーク２５は、実施の形態１と同じく断面形状はＬ字状をなし、磁石２４に接する部分はＬ字の垂直部分２５−１であり、回転軸１の表面に対向する部分はＬ字の水平部分２５−２であり、該水平部分２５−２は内輪２２に向かって延びている。
図４（ａ）のものは、ヨーク２５の水平部分２５−２の回転軸１の表面に対向する面に鋸刃状の凹凸部２７が形成されている。
また、図４（ｂ）のものは、ヨーク２５の水平部分２５−２の回転軸１の表面に対向する面に角ネジ状の凹凸部２８が形成されている。
回転軸１の表面に対向する部分はＬ字の水平部分２５−２の回転軸１の表面に対向する面に鋸刃状の凹凸部２７または角ネジ状の凹凸部２８が形成されることにより、効率的にパーティクルをトラップすることができる。

【0031】

〔実施の形態３〕
図５は、本発明の実施形態３に係るころがり軸受２０を説明するための正面断面図である。
実施形態３に係るころがり軸受２０は、基本構造は実施の形態１と同じであり、図５において、図４と同じ符号は図４の場合と同じ部材を指している。
図５において、リング状のヨーク２９は、その断面形状はＩ字状をなしている。
そのため、ヨーク２９の製造が容易である。

【0032】

〔実施の形態４〕
図６は、本発明の実施形態４に係るころがり軸受２０を説明するためのものであって、（ａ）は正面断面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
実施形態４に係るころがり軸受２０は、基本構造は実施の形態３と同じであり、図６において、図５と同じ符号は図５の場合と同じ部材を指している。
図６において、リング状のヨーク３０は、実施の形態３と同じくその断面形状はＩ字状をなしている。ヨーク３０の磁石２４に面する側に膨出部３１を設け、該膨出部３１のころがり軸受の外輪側に開口する筒状又は矩形状の凹部３２を円周方向に複数設け、該凹部３２にそれぞれ円筒状の磁石３３を嵌入させている。
ヨーク３０により磁石３３を保持する構造とすることにより、ヨーク３０を寸法精度良く製造すれば磁石３３の寸法精度を要求するまでもなく、簡単な構造でころがり軸受２０を寸法精度良く設置することができ、また、既存のころがり軸受にも容易に適用することができる。

【0033】

〔実施の形態５〕
図７は、本発明の実施形態５に係るころがり軸受２０を説明するための正面断面図である。
実施形態５に係るころがり軸受２０は、基本構造は実施の形態１と同じであり、図７において、図４と同じ符号は図４の場合と同じ部材を指している。以下、実施の形態１と相違する部分について主に説明する。

【0034】

図７において、潤滑性磁性流体を被潤滑部分に保持するための磁気回路は、矢印で示すように形成される。すなわち、磁気回路は、永久磁石である磁石２４から、ヨーク２５、内輪２２、ボール２３、外輪２１を経由して再び磁石２４に戻る経路に形成される。このため、回転軸１は非磁性材料から製作されるか、または、リング状のヨーク２５の回転軸１の表面に対向する水平部分２５−２が、回転軸１の表面から離間するように形成される。
このため、回転軸１の材料が磁性材料に限定されないという利点がある。

【0035】

図８は、通常のころがり軸受において潤滑剤としてグリースを用いた場合と、潤滑剤として磁性流体を用い、磁石を用いた磁気回路により磁性流体を固定した場合（以下、「磁性流体でマグネットトラップなしの場合」という。）との１時間当たりのパーティクルの発生量を測定したものである。
なお、この測定試験は、磁気回路により磁性流体を固定した場合におけるマグネットトラップのトラップ効果を確認するため、あえて、磁場を弱く設定し、パーティクルの発生し易い状態を作り出して行ったものである。
直径２５ｍｍのベアリングを５０ｒｐｍ〜３００ｒｐｍの範囲で回転させて測定した結果、１時間当たり、０．１μｍ以上のパーティクルの発生数は、回転数が大きくなるにつれ多くなるが、いずれの回転数においても、磁性流体でマグネットトラップなしの場合の方がグリースを用いた場合に比べパーティクルの発生数は多い。

【0036】

図９は、通常のころがり軸受において潤滑剤としてグリースを用いた場合と、磁性流体でマグネットトラップなしの場合、および、潤滑剤として磁性流体を用い、磁石を用いた磁気回路により磁性流体を固定するとともに、本発明によるリング状のヨーク（マグネットトラップ）を装着した場合（以下「磁性流体でマグネットトラップありの場合」という。）における、時間経過に伴う１時間当たりのパーティクルの発生量を測定したものである。なお、測定には、直径２５ｍｍのベアリングを用い、３００ｒｐｍで回転させた。
なお、この測定試験も、磁気回路により磁性流体を固定した場合におけるマグネットトラップのトラップ効果を確認するため、あえて、磁場を弱く設定し、パーティクルの発生し易い状態を作り出して行ったものである。
また、図９（ａ）及び（ｂ）は同じ測定結果を示すものであるが、図９（ｂ）は、磁性流体でマグネットトラップありの場合及びグリースを用いた場合のパーティクルの発生数を見やすくするため、片対数のグラフにしている。
図９（ａ）をみると、磁性流体でマグネットトラップなしの場合、１時間当たりのパーティクルの発生数は、経過時間に関係なく、断然多い。また、通常のころがり軸受において潤滑剤としてグリースを用いた場合、磁性流体でマグネットトラップなしの場合にくらべて、１時間当たりのパーティクルの発生数は約８分の一程度と少ないが、１２時間経過の前後において発生数が突然多くなっており、その他の少ない時間帯においても１時間当たり約１０００個程度発生していることがわかる。

【0037】

これに対して、磁性流体でマグネットトラップありの場合には、図９（ｂ）から分かるように、運転開始直後に１時間当たり約５００個程度発生しているが、時間経過とともに急速に低下し、数時間後には１時間当たり数個程度まで減少し、その後は、ほとんど発生していない。
この測定結果から、本発明のリング状のヨーク（マグネットトラップ）を装着したころがり軸受においては、ヨークによるパーティクルのトラップが確実に行われていることがわかる。

【符号の説明】

【0038】

１ 回転軸
２ ハウジング
３ 磁性流体シール
４ スペーサ
５ 段部
６ 押えリング
７ ボルト
８ リテイニングリング
９ マグネット
１０ ポールピース
１１ 凸部
１２ Ｏリング
１３ スペーサ
２０ ころがり軸受
２１ 外輪
２２ 内輪
２３ ボール
２４ 磁石
２５ ヨーク
２６ 潤滑性磁性流体
２７ 鋸刃状の凹凸部
２８ 角ネジ状の凹凸部
２９ ヨーク
３０ ヨーク
３１ 膨出部
３２ 凹部
３３ 磁石

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】